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1. 发明专利

TWI533004B 晶圓檢查裝置及探針卡的預熱方法有权
简体标题：晶圆检查设备及探针卡的预热方法
公开(公告)号：TWI533004B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：TW100132865
申请日：2011-09-13
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：山田浩史 , YAMADA, HIROSHI , 星野貴昭 , HOSHINO, TAKAAKI , 小嶋伸時 , KOJIMA, SHINJI , 三枝健 , SAIGUSA, TAKESHI , 下山寬志 , SHIMOYAMA, HIROSHI
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893

2. 发明专利

TWI534931B 載置台驅動裝置有权
简体标题：载置台驱动设备
公开(公告)号：TWI534931B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW100120704
申请日：2011-06-14
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：有賀剛 , ARUGA, TSUYOSHI , 下山寬志 , SHIMOYAMA, HIROSHI , 山田浩史 , YAMADA, HIROSHI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R31/2887 , H01L21/67242 , H01L21/67748

3. 发明专利

TWI444631B 探測裝置、探測方法及記錄媒體有权
简体标题：探测设备、探测方法及记录媒体
公开(公告)号：TWI444631B
公开(公告)日：2014-07-11
申请号：TW098102604
申请日：2009-01-22
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：矢野和哉 , YANO, KAZUYA , 下山寬志 , SHIMOYAMA, HIROSHI , 鈴木勝 , SUZUKI, MASARU
IPC分类号： G01R31/26 , G01R1/02 , G12B5/00 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R31/2887

4. 发明专利

TWI416654B 載置裝置有权
简体标题：载置设备
公开(公告)号：TWI416654B
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：TW097103966
申请日：2008-02-01
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：下山寬志 , SHIMOYAMA, HIROSHI , 矢野和哉 , YANO, KAZUYA , 鈴木勝 , SUZUKI, MASARU
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2887 , H01L21/682 , Y10S269/90

5. 发明专利

TW201234029A 晶圓檢查裝置及探針卡的預熱方法审中-公开
简体标题：晶圆检查设备及探针卡的预热方法
公开(公告)号：TW201234029A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：TW100132865
申请日：2011-09-13
申请人：東京威力科創股份有限公司
发明人：山田浩史 , 星野貴昭 , 小嶋伸時 , 三枝健 , 下山寬志
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893
摘要：本發明的課題是在於提供一種可削減晶圓檢查裝置的設置空間的同時，可降低設置成本的晶圓檢查裝置。本發明的晶圓檢查裝置(10)是具備：第1晶圓搬送機構(12)，其係以能夠一片一片搬送晶圓的方式設於第1搬送區域(S2)；對準機構(14)，其係於第1搬送區域的端部的對準區域(S3)內，將經由晶圓保持體(15)來利用第1晶圓搬送機構(12)所搬送的晶圓(W)對準於檢查位置；第2晶圓搬送機構(16)，其係於沿著第1搬送區域(S2)及對準區域(S3)的第2搬送區域(S4)內，經由晶圓保持體(15)來搬送晶圓(W)；及複數的檢查室(17)，其係配列於沿著第2搬送區域的檢查區域(S5)，且進行經由晶圓保持體(15)來利用第2晶圓搬送機構(16)所搬送的晶圓(W)的電氣特性檢查，在檢查室(17)是進行對準後的晶圓的電氣特性檢查。
简体摘要：本发明的课题是在于提供一种可削减晶圆检查设备的设置空间的同时，可降低设置成本的晶圆检查设备。本发明的晶圆检查设备(10)是具备：第1晶圆搬送机构(12)，其系以能够一片一片搬送晶圆的方式设于第1搬送区域(S2)；对准机构(14)，其系于第1搬送区域的端部的对准区域(S3)内，将经由晶圆保持体(15)来利用第1晶圆搬送机构(12)所搬送的晶圆(W)对准于检查位置；第2晶圆搬送机构(16)，其系于沿着第1搬送区域(S2)及对准区域(S3)的第2搬送区域(S4)内，经由晶圆保持体(15)来搬送晶圆(W)；及复数的检查室(17)，其系配列于沿着第2搬送区域的检查区域(S5)，且进行经由晶圆保持体(15)来利用第2晶圆搬送机构(16)所搬送的晶圆(W)的电气特性检查，在检查室(17)是进行对准后的晶圆的电气特性检查。

6. 发明专利

TW201218306A 載置台驅動裝置审中-公开
简体标题：载置台驱动设备
公开(公告)号：TW201218306A
公开(公告)日：2012-05-01
申请号：TW100120704
申请日：2011-06-14
申请人：東京威力科創股份有限公司
发明人：有賀剛 , 下山寬志 , 山田浩史
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R31/2887 , H01L21/67242 , H01L21/67748
摘要： [課題]提供有助於檢查裝置之省空間化及輕量化的載置台驅動裝置。[解決手段]本發明之載置台驅動裝置(20)具備:使檢查室(10)內之載置台(11)在水平方向移動之水平方向驅動機構(21);支撐水平方向驅動機構(21)之基台(22);在檢查室(10)內使用壓縮空氣使載置台(11)從支撐台(12)浮起之載置台浮起機構(例如,空氣軸承)(23);連結水平方向驅動機構(21)和載置台(11)之連結機構(24);和收納水平方向驅動機構(21)及基台(22)的框體(25)。
简体摘要： [课题]提供有助于检查设备之省空间化及轻量化的载置台驱动设备。[解决手段]本发明之载置台驱动设备(20)具备:使检查室(10)内之载置台(11)在水平方向移动之水平方向驱动机构(21);支撑水平方向驱动机构(21)之基台(22);在检查室(10)内使用压缩空气使载置台(11)从支撑台(12)浮起之载置台浮起机构(例如,空气轴承)(23);链接水平方向驱动机构(21)和载置台(11)之链接机构(24);和收纳水平方向驱动机构(21)及基台(22)的框体(25)。

7. 发明专利

TW200944811A 探測裝置、深測方法及記錄媒體审中-公开
简体标题：探测设备、深测方法及记录媒体
公开(公告)号：TW200944811A
公开(公告)日：2009-11-01
申请号：TW098102604
申请日：2009-01-22
申请人：東京威力科創股份有限公司
发明人：矢野和哉 , 下山寬志 , 鈴木勝
IPC分类号： G01R , G12B , H01L
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R31/2887
摘要：提供即使在測量中接觸位置和實際接觸位置之間產生誤差亦可以自動性修正該誤差而確保良好接觸精度，執行信賴性高之測定的探測裝置、探測方法、記憶媒體。其解決手段為若第3量尺（E3）之基準尺（E31）被固定於第3平台（23），並且掃描頭（E32）被固定於第3平台之非可動部，藉由測量性能不變化之第3量尺（E3）測量第3平台（23）之可動部之位置。因此，可檢測出第3平台（23）之接觸位置之移位，可以根據移位量修正Z軸方向之接觸位置。依此，即使由於測量中熱膨脹等使得接觸位置產生誤差，亦可以自動性修正該誤差，可確保探測器（32）和晶圓（W）之電極墊良好之接觸精度，提高電性測量之信賴度。
简体摘要：提供即使在测量中接触位置和实际接触位置之间产生误差亦可以自动性修正该误差而确保良好接触精度，运行信赖性高之测定的探测设备、探测方法、记忆媒体。其解决手段为若第3量尺（E3）之基准尺（E31）被固定于第3平台（23），并且扫描头（E32）被固定于第3平台之非可动部，借由测量性能不变化之第3量尺（E3）测量第3平台（23）之可动部之位置。因此，可检测出第3平台（23）之接触位置之移位，可以根据移位量修正Z轴方向之接触位置。依此，即使由于测量中热膨胀等使得接触位置产生误差，亦可以自动性修正该误差，可确保探测器（32）和晶圆（W）之电极垫良好之接触精度，提高电性测量之信赖度。

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