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    • 5. 发明专利
    • 被氟化之金剛烷衍生物
    • 被氟化之金刚烷衍生物
    • TW200422280A
    • 2004-11-01
    • TW092135070
    • 2003-12-11
    • 旭硝子股份有限公司 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
    • 岡添隆 OKAZOE, TAKASHI渡邊邦夫 WATANABE, KUNIO伊藤昌宏 ITO, MASAHIRO室谷英介 MUROTANI, EISUKE
    • C07C
    • C07C69/753C07C35/52C07C69/708C07C2603/74
    • 本發明係提供一種具有優良耐蝕刻性,且適用於製造微影術用材料等之被氟化的金剛烷衍生物用之新穎化合物。即,本發明係提供下列式(3)所示化合物及下列式(4)所示化合物A(–G–Q–R)n(3)A^f(–G^f–Q–R^f)n(4)式中記號如下所示。A:金剛烷中n個氫原子成為鍵結手之n價基,且未成為鍵結手之氫原子可受烷基取代。R:含氟1價有機基。n:1以上4以下之整數。G:–CH2–或單鍵。Q:–COO–或–OCO–。A^f:鍵結於金剛烷之碳原子的n個氫原子成為鍵結手之n價基,且未成為鍵結手之氫原子可受烷基取代的基(A)中,至少1個形成C–H鍵之氫原子受氟原子取代的基。R^f:含氟1價有機基。G^f:–CF2–或單鍵。
    • 本发明系提供一种具有优良耐蚀刻性,且适用于制造微影术用材料等之被氟化的金刚烷衍生物用之新颖化合物。即,本发明系提供下列式(3)所示化合物及下列式(4)所示化合物A(–G–Q–R)n(3)A^f(–G^f–Q–R^f)n(4)式中记号如下所示。A:金刚烷中n个氢原子成为键结手之n价基,且未成为键结手之氢原子可受烷基取代。R:含氟1价有机基。n:1以上4以下之整数。G:–CH2–或单键。Q:–COO–或–OCO–。A^f:键结于金刚烷之碳原子的n个氢原子成为键结手之n价基,且未成为键结手之氢原子可受烷基取代的基(A)中,至少1个形成C–H键之氢原子受氟原子取代的基。R^f:含氟1价有机基。G^f:–CF2–或单键。