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    • 7. 发明专利
    • 微細凹凸構造轉印用鑄模
    • 微细凹凸构造转印用铸模
    • TW201313428A
    • 2013-04-01
    • TW101121831
    • 2012-06-18
    • 旭化成股份有限公司ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA
    • 古池潤KOIKE, JUN
    • B29C33/38B29C33/58H01L21/027
    • G03F7/0002B29C33/424B82Y10/00B82Y40/00
    • 本發明提供一種具有高脫模性並且轉印材之塗敷性亦良好之微細凹凸構造轉印用鑄模。本發明之微細凹凸構造轉印用鑄模(110)包括:基材;圖案部(111),其係於基材之一主表面上之一部分形成有向被處理體轉印之微細凹凸構造;非圖案部(112),其係一主表面內之除轉印區域以外之未形成微細凹凸構造之區域;及障壁區域(114),其係於圖案部(111)與非圖案部之間,以至少一部分與圖案部(111)鄰接之方式設置。圖案部(111)及障壁區域(114)包含複數個凹部。又,於圖案部(111)之平均粗糙因數Rf1與障壁區域(114)之平均粗糙因數Rf2之間,Rf1>Rf2之關係成立,並且於圖案部(111)之區域之平均開口率Ar1與障壁區域(114)之平均開口率Ar2之間,Ar1>Ar2之關係成立。
    • 本发明提供一种具有高脱模性并且转印材之涂敷性亦良好之微细凹凸构造转印用铸模。本发明之微细凹凸构造转印用铸模(110)包括:基材;图案部(111),其系于基材之一主表面上之一部分形成有向被处理体转印之微细凹凸构造;非图案部(112),其系一主表面内之除转印区域以外之未形成微细凹凸构造之区域;及障壁区域(114),其系于图案部(111)与非图案部之间,以至少一部分与图案部(111)邻接之方式设置。图案部(111)及障壁区域(114)包含复数个凹部。又,于图案部(111)之平均粗糙因子Rf1与障壁区域(114)之平均粗糙因子Rf2之间,Rf1>Rf2之关系成立,并且于图案部(111)之区域之平均开口率Ar1与障壁区域(114)之平均开口率Ar2之间,Ar1>Ar2之关系成立。