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1. 外观设计

TWD143036S 半導體製造機有权
简体标题：半导体制造机
公开(公告)号：TWD143036S
公开(公告)日：2011-10-01
申请号：TW099305861
申请日：2010-11-16
申请人：日立國際電氣股份有限公司
设计人：島田真一 , 野上孝志 , 相澤聰 , 中嶋誠世 , 山田朋之 , 杉浦忍 , 油谷幸則 , 長田光弘
摘要：【物品用途】
本創作的物品是半導體製造機，主要是對於圓盤狀的矽晶圓進行熱氧化、化學蒸鍍(CVD)處理以製造半導體元件的半導體製造機，矽晶圓是以填裝在晶匣的狀態，自晶匣搬入搬出口被搬入到半導體製造機內，處理後的矽晶圓則再度被填裝到晶匣，自晶匣搬入搬出口被搬出到外部。
【創作特點】
如各圖所示，該製造機為一直立式的長方形箱體，由上而下分別具有：透明的視窗部、操作部、晶圓匣載置部、晶圓搬入搬出口、以及晶匣操作/顯示部。其中，操作部會在液晶式的顯示畫面上顯示出觸控式的操作按鈕，而且，在操作部的上方與本體最上段形成透明的視窗部，表現出透明感。
简体摘要：【物品用途】本创作的物品是半导体制造机，主要是对于圆盘状的硅晶圆进行热氧化、化学蒸镀(CVD)处理以制造半导体组件的半导体制造机，硅晶圆是以填装在晶匣的状态，自晶匣搬入搬出口被搬入到半导体制造机内，处理后的硅晶圆则再度被填装到晶匣，自晶匣搬入搬出口被搬出到外部。【创作特点】如各图所示，该制造机为一直立式的长方形箱体，由上而下分别具有：透明的窗口部、操作部、晶圆匣载置部、晶圆搬入搬出口、以及晶匣操作/显示部。其中，操作部会在液晶式的显示画面上显示出触摸式的操作按钮，而且，在操作部的上方与本体最上段形成透明的窗口部，表现出透明感。

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