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1. 发明专利

TW200719406A 密封部件及基材處理設備 SEALING PART AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS 审中-公开
简体标题：密封部件及基材处理设备 SEALING PART AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
公开(公告)号：TW200719406A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：TW095120985
申请日：2006-06-13
申请人：日本華爾卡工業股份有限公司 NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD.
发明人：林大輔 HAYASHI, DAISUKE , 村松晃 MURAMATSU, AKIRA
IPC分类号： H01L , F16J
CPC分类号： H01L21/67126 , H01J37/32431 , H01J2237/166
摘要：一種密封部件,它是便宜的且能夠在不需要一雙重密封件原本所需之一預定的密封空間下,以絕佳的密封性被緊固。一密封部件密封一減壓容器之內部,使其與減壓容器外部隔離,在該減壓容器中存在有一高-彈性聚合材料-侵蝕之侵蝕物質,且由一基材處理設備所構成,該基材處理設備在一容置於該減壓容器中之基材上施行預定的處理。該密封部件具有一基本密封構件及一真空密封構件。該基本密封構件係設置在該減壓容器之一內側上,且係耐得住該侵蝕物質。該真空密封構件係由該高-彈性聚合材料所製成,且係設置在該減壓容器之一外側上。至少一保護空間係經過彼此分開之至少部份該基本密封構件及至少部份該真空密封構件所形成。該基本密封構件及該真空密封構件係裝在一起。
简体摘要：一种密封部件,它是便宜的且能够在不需要一双重密封件原本所需之一预定的密封空间下,以绝佳的密封性被紧固。一密封部件密封一减压容器之内部,使其与减压容器外部隔离,在该减压容器中存在有一高-弹性聚合材料-侵蚀之侵蚀物质,且由一基材处理设备所构成,该基材处理设备在一容置于该减压容器中之基材上施行预定的处理。该密封部件具有一基本密封构件及一真空密封构件。该基本密封构件系设置在该减压容器之一内侧上,且系耐得住该侵蚀物质。该真空密封构件系由该高-弹性聚合材料所制成,且系设置在该减压容器之一外侧上。至少一保护空间系经过彼此分开之至少部份该基本密封构件及至少部份该真空密封构件所形成。该基本密封构件及该真空密封构件系装在一起。

2. 发明专利

TW200914755A 複合密封材 COMPOSITE SEALING MATERIAL 审中-公开
简体标题：复合密封材 COMPOSITE SEALING MATERIAL
公开(公告)号：TW200914755A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：TW097135622
申请日：2008-09-17
申请人：日本華爾卡工業股份有限公司 NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD.
发明人：村松晃 MURAMATSU, AKIRA
IPC分类号： F16J , H01L
CPC分类号： F16J15/104
摘要：本發明係提供一種複合密封材,其兼具有真空密封性能、耐電漿性及耐腐蝕氣體性等性能,又即使重複使用,亦並不致造成真空密封性能降低,於使用時亦不會產生金屬微屑,另可適用於半導體製造裝置中普遍被使用之所謂的鳩尾槽,更且如入口栓開閉部等般,即使被用於重複開閉的情形也不致使耐電漿性及耐腐蝕氣體性等性能降低。本發明之複合密封材,其第1密封構件6係由環狀密封本體6A、自密封本體6A之內周側向徑向方向內側突設之環狀凸部6B、及自環狀凸部6B向徑向方向內側突設之嵌合部6C所構成。另於第2密封構件8中設有形狀可與嵌合部6C互補之被嵌合凹部8A,及自被嵌合凹部8A向段差部6D延伸之彎曲部8B。接著,彎曲部8B與密封本體6A之間劃分出容許密封本體6A及彎曲部8B彈性變形之變形緩衝空間。
简体摘要：本发明系提供一种复合密封材,其兼具有真空密封性能、耐等离子性及耐腐蚀气体性等性能,又即使重复使用,亦并不致造成真空密封性能降低,于使用时亦不会产生金属微屑,另可适用于半导体制造设备中普遍被使用之所谓的鸠尾槽,更且如入口栓开闭部等般,即使被用于重复开闭的情形也不致使耐等离子性及耐腐蚀气体性等性能降低。本发明之复合密封材,其第1密封构件6系由环状密封本体6A、自密封本体6A之内周侧向径向方向内侧突设之环状凸部6B、及自环状凸部6B向径向方向内侧突设之嵌合部6C所构成。另于第2密封构件8中设有形状可与嵌合部6C互补之被嵌合凹部8A,及自被嵌合凹部8A向段差部6D延伸之弯曲部8B。接着,弯曲部8B与密封本体6A之间划分出容许密封本体6A及弯曲部8B弹性变形之变形缓冲空间。

3. 发明专利

TW200610911A 複合密封材料 COMPOSITE SEAL MATERIAL 审中-公开
简体标题：复合密封材料 COMPOSITE SEAL MATERIAL
公开(公告)号：TW200610911A
公开(公告)日：2006-04-01
申请号：TW094115493
申请日：2005-05-13
申请人：日本華爾卡工業股份有限公司 NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD.
发明人：小林幸雄 KOBAYASHI, YUKIO , 村松晃 MURAMATSU, AKIRA
IPC分类号： F16J , C09K
CPC分类号： F16J15/062 , F16J15/104 , F16J15/166
摘要：一種複合密封材料，可適用於所謂的「鳩尾槽」，同時具有真空密封性能、耐電漿性以及耐腐蝕性氣體等的性能，又，即使反覆使用，真空密封性能亦不降低，在使用時不產生金屬粒子，而且製造容易且可便宜製造。複合密封材料，係在壓接複合密封材料10之際，壓接第1密封構件20的第1密封部30的膨脹出部28而賦予密封性之同時，經由第1密封構件20的第1延伸出部38，押壓第2密封構件24的第2延伸出部36於密封槽12的開口部16側，壓接第2密封部34上面34a而賦予密封性而構成。
简体摘要：一种复合密封材料，可适用于所谓的“鸠尾槽”，同时具有真空密封性能、耐等离子性以及耐腐蚀性气体等的性能，又，即使反复使用，真空密封性能亦不降低，在使用时不产生金属粒子，而且制造容易且可便宜制造。复合密封材料，系在压接复合密封材料10之际，压接第1密封构件20的第1密封部30的膨胀出部28而赋予密封性之同时，经由第1密封构件20的第1延伸出部38，押压第2密封构件24的第2延伸出部36于密封槽12的开口部16侧，压接第2密封部34上面34a而赋予密封性而构成。

4. 发明专利

TW200730750A 複合密封材 COMPOSITE SEALING MATERIAL 审中-公开
简体标题：复合密封材 COMPOSITE SEALING MATERIAL
公开(公告)号：TW200730750A
公开(公告)日：2007-08-16
申请号：TW096105175
申请日：2007-02-13
申请人：日本華爾卡工業股份有限公司 NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD.
发明人：村松晃 MURAMATSU, AKIRA
IPC分类号： F16J
CPC分类号： F16J15/104 , F16J15/062 , F16J15/166 , F16J15/3284
摘要：一種複合密封材10,係具備:配置於密封槽2的外周側之由彈性構件所成之第1密封構件6以及配置於上述密封槽2的內周側之由較上述第1密封構件6更為硬質之材料所成之第2密封構件8,且第1密封構件6在自其厚度方向之略中間部的直徑內側向其直徑內方突出地形成橫方向凸部12,且第2密封構件8由其兩端部的凸緣部14、16以及連接該等凸緣部14、16間的略直線狀內壁部分18形成為字狀之剖面,在將第1密封構件6與第2密封構件8組裝為一體的狀態下,在橫方向凸部12與第2密封構件8之略直線狀內壁部分18間,確保一空間20為其特徵者。
简体摘要：一种复合密封材10,系具备:配置于密封槽2的外周侧之由弹性构件所成之第1密封构件6以及配置于上述密封槽2的内周侧之由较上述第1密封构件6更为硬质之材料所成之第2密封构件8,且第1密封构件6在自其厚度方向之略中间部的直径内侧向其直径内方突出地形成横方向凸部12,且第2密封构件8由其两端部的凸缘部14、16以及连接该等凸缘部14、16间的略直线状内壁部分18形成为字状之剖面,在将第1密封构件6与第2密封构件8组装为一体的状态下,在横方向凸部12与第2密封构件8之略直线状内壁部分18间,确保一空间20为其特征者。

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