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1. 发明专利

TWI394953B 探針卡有权
简体标题：探针卡
公开(公告)号：TWI394953B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：TW097127267
申请日：2008-07-18
申请人：日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
发明人：山田佳男 , YAMADA, YOSHIO , 中山浩志 , NAKAYAMA, HIROSHI , 井沼毅 , INUMA, TSUYOSHI , 赤尾崇 , AKAO, TAKASHI
IPC分类号： G01R1/067 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R1/06722 , G01R1/07371

2. 发明专利

TWI383154B 探針卡有权
简体标题：探针卡
公开(公告)号：TWI383154B
公开(公告)日：2013-01-21
申请号：TW097108991
申请日：2008-03-14
申请人：日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
发明人：山田佳男 , YAMADA, YOSHIO , 中山浩志 , NAKAYAMA, HIROSHI , 長屋光浩 , NAGAYA, MITSUHIRO , 井沼毅 , INUMA, TSUYOSHI , 赤尾崇 , AKAO, TAKASHI
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07314 , G01R1/07371

3. 发明专利

TWI334487B 探針卡 PROBE CARD 有权
简体标题：探针卡 PROBE CARD
公开(公告)号：TWI334487B
公开(公告)日：2010-12-11
申请号：TW096120475
申请日：2007-06-07
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：佐佐木俊輔 , 井沼毅 , 山田佳男 , 長屋光浩 , 赤尾崇 , 中山浩志
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07378
摘要：本發明提供可容易地以低成本實現空間轉換件之剛性提升的探針卡。為了達成該目的而具備：平板狀之配線基板11，係具有對應產生檢查用信號之電路構造的配線圖案；中介件13，係積層在配線基板11，而中繼配線基板11之配線；空間轉換件14，係積層在中介件13並由接著劑19固定，而轉換由中介件13所中繼之配線的間隔，並使該配線露出至對向於中介件13之側的相反側之表面；以及探針頭15，係積層於空間轉換件14，且收容保持複數個探針。
简体摘要：本发明提供可容易地以低成本实现空间转换件之刚性提升的探针卡。为了达成该目的而具备：平板状之配线基板11，系具有对应产生检查用信号之电路构造的配线图案；中介件13，系积层在配线基板11，而中继配线基板11之配线；空间转换件14，系积层在中介件13并由接着剂19固定，而转换由中介件13所中继之配线的间隔，并使该配线露出至对向于中介件13之侧的相反侧之表面；以及探针头15，系积层于空间转换件14，且收容保持复数个探针。

4. 发明专利

TWI377635B 探針卡 PROBE CARD 有权
简体标题：探针卡 PROBE CARD
公开(公告)号：TWI377635B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：TW095145094
申请日：2006-12-05
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：中山浩志 , 長屋光浩 , 山田佳男
IPC分类号： H01L , G01R
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/07378
摘要：本發明之目的在於提供一種無論具有配線圖案之基板有無變形，仍可提高平面度及平行度之各精確度的探針卡。為了此目的，本發明之探針卡係具備：複數個探針，由導電性材料所構成，用以接觸半導體晶圓而進行電信號之輸入或輸出；探針頭，收容並保持上述複數個探針；基板，具有與產生檢查用信號之電路構造相對應的配線圖案；補強構件，裝設在上述基板以補強上述基板；中介件(interposer)，疊層在上述基板以中繼上述基板之配線；空間轉換件(space transformer)，其疊層在上述中介件及上述探針頭之間，用以轉換由上述中介件所中繼之配線的間隔以露出於與上述探針頭相對之側的表面；及複數個第1柱(post)構件，從上述基板之表面即疊層有上述中介件之部分的表面貫穿該基板而埋設，且具有比上述基板之板厚還大的高度。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种无论具有配线图案之基板有无变形，仍可提高平面度及平行度之各精确度的探针卡。为了此目的，本发明之探针卡系具备：复数个探针，由导电性材料所构成，用以接触半导体晶圆而进行电信号之输入或输出；探针头，收容并保持上述复数个探针；基板，具有与产生检查用信号之电路构造相对应的配线图案；补强构件，装设在上述基板以补强上述基板；中介件(interposer)，叠层在上述基板以中继上述基板之配线；空间转换件(space transformer)，其叠层在上述中介件及上述探针头之间，用以转换由上述中介件所中继之配线的间隔以露出于与上述探针头相对之侧的表面；及复数个第1柱(post)构件，从上述基板之表面即叠层有上述中介件之部分的表面贯穿该基板而埋设，且具有比上述基板之板厚还大的高度。

5. 发明专利

TWI365988B 探針卡 PROBE CARD 有权
简体标题：探针卡 PROBE CARD
公开(公告)号：TWI365988B
公开(公告)日：2012-06-11
申请号：TW095145092
申请日：2006-12-05
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：中山浩志 , 長屋光浩 , 山田佳男
IPC分类号： G01R , H01L
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/07371
摘要：一種探針卡，可確實地進行基板與空間轉換器的電性連接，且可容易以低成本進行維修。本探針卡係具備：複數個探針，係與半導體晶圓接觸以進行電性信號的輸入或輸出；探針頭，係收容保持前述複數個探針；基板，係具有對應於產生檢查用信號之電路構造的配線圖案；補強構件，係裝設於前述基板以補強前述基板；中介件，係具有於軸線方向伸縮自如的複數個連接端子，以及將前述複數個連接端子個別收容的複數個孔部之外罩，且該中介件係層疊於前述基板並中繼前述基板的配線；以及空間轉換器，係夾在於前述中介件及前述探針頭之間而被層疊，且將藉由前述中介件所中繼之配線的間隔予以變換並顯露於與前述探針頭相對向之側的表面。
简体摘要：一种探针卡，可确实地进行基板与空间转换器的电性连接，且可容易以低成本进行维修。本探针卡系具备：复数个探针，系与半导体晶圆接触以进行电性信号的输入或输出；探针头，系收容保持前述复数个探针；基板，系具有对应于产生检查用信号之电路构造的配线图案；补强构件，系装设于前述基板以补强前述基板；中介件，系具有于轴线方向伸缩自如的复数个连接端子，以及将前述复数个连接端子个别收容的复数个孔部之外罩，且该中介件系层叠于前述基板并中继前述基板的配线；以及空间转换器，系夹在于前述中介件及前述探针头之间而被层叠，且将借由前述中介件所中继之配线的间隔予以变换并显露于与前述探针头相对向之侧的表面。

6. 发明专利

TWI355704B 測試卡 PROBE CARD 有权
简体标题：测试卡 PROBE CARD
公开(公告)号：TWI355704B
公开(公告)日：2012-01-01
申请号：TW095149161
申请日：2006-12-27
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：山田佳男 , 中山浩志 , 長屋光浩 , 藺牟田正吾
IPC分类号： H01L , G01R
CPC分类号： G01R1/07378 , G01R1/44 , G01R31/2863 , G01R31/2874
摘要：本發明提供一種無論檢查時的溫度環境為何皆可使探針確實地接觸在接觸對象之測試卡。為了達成該目的而構成為具備：複數個探針，係由導電性材料構成，用以接觸前述半導體晶圓所具有的電極焊墊，以進行電氣訊號之輸入或輸出；探針頭，係收容保持前述複數個探針；基板，係具有對應於前述電路構造的配線圖案；以及間隔變換器，係層積在前述探針頭，用於變更前述基板所具有的前述配線圖案之間隔且進行中繼，並具有對應該中繼之配線而設在與前述探針頭相對側表面的電極焊墊；前述探針之兩端係於具有檢查前述半導體晶圓時的最低溫度和最高溫度之平均溫度的環境下，接觸前述半導體晶圓及前述間隔變換器各自具有的前述電極墊之中央部附近。
简体摘要：本发明提供一种无论检查时的温度环境为何皆可使探针确实地接触在接触对象之测试卡。为了达成该目的而构成为具备：复数个探针，系由导电性材料构成，用以接触前述半导体晶圆所具有的电极焊垫，以进行电气信号之输入或输出；探针头，系收容保持前述复数个探针；基板，系具有对应于前述电路构造的配线图案；以及间隔变换器，系层积在前述探针头，用于变更前述基板所具有的前述配线图案之间隔且进行中继，并具有对应该中继之配线而设在与前述探针头相对侧表面的电极焊垫；前述探针之两端系于具有检查前述半导体晶圆时的最低温度和最高温度之平均温度的环境下，接触前述半导体晶圆及前述间隔变换器各自具有的前述电极垫之中央部附近。

7. 发明专利

TWI335633B 導電性接觸元件固持具及導電性接觸元件單元 CONDUCTIVE CONTACT ELEMENT HOLDER AND CONDUCTIVE CONTACT ELEMENT UNIT 失效
简体标题：导电性接触组件固持具及导电性接触组件单元 CONDUCTIVE CONTACT ELEMENT HOLDER AND CONDUCTIVE CONTACT ELEMENT UNIT
公开(公告)号：TWI335633B
公开(公告)日：2011-01-01
申请号：TW095148899
申请日：2006-12-26
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：中山浩志 , 長屋光浩
IPC分类号： H01L , G01R
CPC分类号： G01R1/07314 , G01R1/0483 , G01R1/06722
摘要：本發明提供一種提升絕緣層之耐蝕性，且耐久性亦佳之導電性接觸元件固持具及導電性接觸元件單元。為達成上述目的，本發明係具備有：具有收納對電路構造進行信號之輸出入的信號用導電性接觸元件的第1開口部、及收納對前述電路構造進行接地電位供給之接地用導電性接觸元件的第2開口部的固持具基板；被插入前述第1開口部以保持前述信號用導電性接觸元件之第1保持構件；以及由絕緣性材料所形成，且被覆前述固持具基板之至少一方表面的絕緣被膜。
简体摘要：本发明提供一种提升绝缘层之耐蚀性，且耐久性亦佳之导电性接触组件固持具及导电性接触组件单元。为达成上述目的，本发明系具备有：具有收纳对电路构造进行信号之输出入的信号用导电性接触组件的第1开口部、及收纳对前述电路构造进行接地电位供给之接地用导电性接触组件的第2开口部的固持具基板；被插入前述第1开口部以保持前述信号用导电性接触组件之第1保持构件；以及由绝缘性材料所形成，且被覆前述固持具基板之至少一方表面的绝缘被膜。

8. 发明专利

TWI389269B 配線基板及探針卡失效
简体标题：配线基板及探针卡
公开(公告)号：TWI389269B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW098106347
申请日：2009-02-27
申请人：日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
发明人：風間俊男 , KAZAMA, TOSHIO , 中山浩志 , NAKAYAMA, HIROSHI , 宮地真也 , MIYAJI, SHINYA , 鈴木恒平 , SUZUKI, KOHEI
IPC分类号： H01L23/15 , G01R1/073
CPC分类号： G01R1/07378 , G01R31/2889 , H05K3/4605 , H05K3/467 , H05K2201/068

9. 发明专利

TWI368742B 導電性觸頭保持器及導電性觸頭單元 ELECTROCONDUCTIVE CONTACTOR HOLDER AND ELECTROCONDUCTIVE CONTACTOR UNIT 有权
简体标题：导电性触头保持器及导电性触头单元 ELECTROCONDUCTIVE CONTACTOR HOLDER AND ELECTROCONDUCTIVE CONTACTOR UNIT
公开(公告)号：TWI368742B
公开(公告)日：2012-07-21
申请号：TW097122997
申请日：2008-06-20
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：中山浩志 , 廣中浩平 , 近藤充博 , 伊藤修 , 須藤昂
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R1/07371
摘要：本發明係提供一種傳送訊號的損失較小，且電性特性優良之導電性觸頭保持器及導電性觸頭單元。為了達成此目的，係具備：絕緣性保持器構件，係由絕緣性材料所形成，並且於不同電路構造間進行電性訊號的輸出入之導電性觸頭，以遍及除了兩端部以外的大致全長呈插通之狀態予以保持；及導電性塊體構件，係由形成為略呈柱狀之導電性材料所形成，並且藉由絕緣性保持器構件保持；導電性塊體構件之互為相反的兩個表面，係從絕緣性保持器構件的表面中使導電性觸頭的兩端部突出之表面露出。
简体摘要：本发明系提供一种发送信号的损失较小，且电性特性优良之导电性触头保持器及导电性触头单元。为了达成此目的，系具备：绝缘性保持器构件，系由绝缘性材料所形成，并且于不同电路构造间进行电性信号的输出入之导电性触头，以遍及除了两端部以外的大致全长呈插通之状态予以保持；及导电性块体构件，系由形成为略呈柱状之导电性材料所形成，并且借由绝缘性保持器构件保持；导电性块体构件之互为相反的两个表面，系从绝缘性保持器构件的表面中使导电性触头的两端部突出之表面露出。

10. 发明专利

TWI353453B 探針卡之平行度調整機構 MECHANISM FOR ADJUSTING THE PARALLELNESS OF A PROBE CARD 有权
简体标题：探针卡之平行度调整机构 MECHANISM FOR ADJUSTING THE PARALLELNESS OF A PROBE CARD
公开(公告)号：TWI353453B
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：TW096127945
申请日：2007-07-31
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：山田佳男 , 中山浩志 , 長屋光浩 , 井沼毅 , 赤尾崇
IPC分类号： G01R , H01L
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R1/07307
摘要：本發明主要的目的係在提供一種探針卡之平行度調整機構，其係即使失去探針卡的安裝基準面與作為檢查對象之晶圓的表面之平行度，亦可使該探針卡所保持之探針一致地與晶圓接觸。為達到此目的，及為了調整保持電性連接作為檢查對象之晶圓31與產生檢查用信號之電路構造之間的複數個探針1之探針卡101相對於晶圓31之平行度，而設置調整螺絲22，該調整螺絲係形成對安裝探針卡101之探針設備201的安裝基準面S1變更探針卡101的傾斜度之傾斜度變更手段的至少一部分。
简体摘要：本发明主要的目的系在提供一种探针卡之平行度调整机构，其系即使失去探针卡的安装基准面与作为检查对象之晶圆的表面之平行度，亦可使该探针卡所保持之探针一致地与晶圆接触。为达到此目的，及为了调整保持电性连接作为检查对象之晶圆31与产生检查用信号之电路构造之间的复数个探针1之探针卡101相对于晶圆31之平行度，而设置调整螺丝22，该调整螺丝系形成对安装探针卡101之探针设备201的安装基准面S1变更探针卡101的倾斜度之倾斜度变更手段的至少一部分。

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