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    • 3. 发明专利
    • 晶圓級封裝凸塊製程 BUMPING PROCESS FOR WATER LEVEL PACKAGE
    • 晶圆级封装凸块制程 BUMPING PROCESS FOR WATER LEVEL PACKAGE
    • TW200419759A
    • 2004-10-01
    • TW092106679
    • 2003-03-25
    • 日月光半導體製造股份有限公司 ADVANCED SEMICONDUCTOR ENGINEERING, INC.
    • 張志煌 CHANG, CHIH-HUANG林千琪 LIN, CHIAN-CHI莊信福 CHUANG, HSIN-FU
    • H01L
    • H01L2224/16225H01L2224/32225H01L2224/73204H01L2224/92125H01L2924/00
    • 一種晶圓級封裝凸塊製程,包括下列步驟。首先,提供一晶圓具有複數個銲墊並分別形成複數個球底金屬層於該等複數個銲墊上。其中,該等複數個球底金屬層之表面分別具有一凹部及一頂部。接著,於晶圓主動表面上之複數個球底金屬層表面形成複數個相對應之光阻層。之後,形成一封膠體於晶圓主動表面上未被光阻層覆蓋之部分,以使封膠體之表面與覆蓋於複數個球底金屬層表面之光阻層表面其平面。再者,移除覆蓋於複數個球底金屬層表面之光阻層,以使封膠體定義出複數個開口,並使該開口暴露出複數個球底金屬層之表面。最後,進行一銲球植入該開口之步驟,並進行一迴銲步驟,以使該等銲球與該等球底金屬層接合。
    • 一种晶圆级封装凸块制程,包括下列步骤。首先,提供一晶圆具有复数个焊垫并分别形成复数个球底金属层于该等复数个焊垫上。其中,该等复数个球底金属层之表面分别具有一凹部及一顶部。接着,于晶圆主动表面上之复数个球底金属层表面形成复数个相对应之光阻层。之后,形成一封胶体于晶圆主动表面上未被光阻层覆盖之部分,以使封胶体之表面与覆盖于复数个球底金属层表面之光阻层表面其平面。再者,移除覆盖于复数个球底金属层表面之光阻层,以使封胶体定义出复数个开口,并使该开口暴露出复数个球底金属层之表面。最后,进行一焊球植入该开口之步骤,并进行一回焊步骤,以使该等焊球与该等球底金属层接合。