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    • 4. 发明专利
    • 閘閥的安裝構造
    • 闸阀的安装构造
    • TW201920870A
    • 2019-06-01
    • TW107124732
    • 2018-07-18
    • 日商SMC股份有限公司SMC CORPORATION
    • 下田洋己SHIMODA, HIROMI小川浩司OGAWA, HIROSHI
    • F16K51/02H01L21/67
    • 本發明的課題為提供一種在兩個腔室間安裝複數的閘閥時,可確保更優異之氣密性的閘閥的安裝構造。   其解決手段為將閥箱的各突壁(25、26)在形成於鄰接的閘閥(10)的閥箱(11)間之固定用空間(24)中,固定於腔室(5)的閥固定機構(32),係由:在固定用空間的中央固定於腔室的支撐構件(33),及配置在其兩側的一對桿構件(37)所構成,一對桿構件分別從固定用空間的中央朝兩端的開口依序具有支點部(37a)、作用點部(37b)及力點部(37c),力點部在支點部支撐於支撐構件的狀態藉著固定用操作螺栓(40)加力,在作用點部與力點部的雙方,將閥箱的突壁朝向腔室推壓。
    • 本发明的课题为提供一种在两个腔室间安装复数的闸阀时,可确保更优异之气密性的闸阀的安装构造。   其解决手段为将阀箱的各突壁(25、26)在形成于邻接的闸阀(10)的阀箱(11)间之固定用空间(24)中,固定于腔室(5)的阀固定机构(32),系由:在固定用空间的中央固定于腔室的支撑构件(33),及配置在其两侧的一对杆构件(37)所构成,一对杆构件分别从固定用空间的中央朝两端的开口依序具有支点部(37a)、作用点部(37b)及力点部(37c),力点部在支点部支撑于支撑构件的状态借着固定用操作螺栓(40)加力,在作用点部与力点部的双方,将阀箱的突壁朝向腔室推压。
    • 8. 发明专利
    • 調芯裝置
    • 调芯设备
    • TW201608650A
    • 2016-03-01
    • TW104113533
    • 2015-04-28
    • SMC股份有限公司SMC CORPORATION
    • 下田洋己SHIMODA, HIROMI西川武志NISHIKAWA, TAKESHI石辺二朗ISHIBE, JIRO
    • H01L21/52H01L21/68
    • 本發明提供一種調芯裝置,具備具有既簡單且合理之設計構造的旋轉限制機構。 旋轉限制機構,是具有:接合框架,其係包圍調芯構件之周圍;及一對第1嵌合部,其係形成於該接合框架之X軸方向之相對的位置;及一對第2嵌合部,其係形成於該接合框架之Y軸方向之相對的位置;及一對X軸銷,其係沿著X軸方向而形成於裝置本體,且個別地嵌合於前述一對第1嵌合部;以及一對Y軸銷,其係沿著Y軸方向而形成於前述調芯構件,且個別地嵌合於前述一對第2嵌合部,前述銷為圓柱狀之銷,前述嵌合部之內壁,係具有傾斜面,該傾斜面是使其橫寬朝向前述銷之前端部側逐漸地擴大,並且在該傾斜面之端部具有前述銷所抵接的抵接部。
    • 本发明提供一种调芯设备,具备具有既简单且合理之设计构造的旋转限制机构。 旋转限制机构,是具有:接合框架,其系包围调芯构件之周围;及一对第1嵌合部,其系形成于该接合框架之X轴方向之相对的位置;及一对第2嵌合部,其系形成于该接合框架之Y轴方向之相对的位置;及一对X轴销,其系沿着X轴方向而形成于设备本体,且个别地嵌合于前述一对第1嵌合部;以及一对Y轴销,其系沿着Y轴方向而形成于前述调芯构件,且个别地嵌合于前述一对第2嵌合部,前述销为圆柱状之销,前述嵌合部之内壁,系具有倾斜面,该倾斜面是使其横宽朝向前述销之前端部侧逐渐地扩大,并且在该倾斜面之端部具有前述销所抵接的抵接部。