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    • 5. 发明专利
    • 發光元件晶圓的加工方法
    • 发光组件晶圆的加工方法
    • TW201628741A
    • 2016-08-16
    • TW104136020
    • 2015-11-02
    • 迪思科股份有限公司DISCO CORPORATION
    • 大島龍司OSHIMA, RYUJI
    • B23C3/00B23B5/00H01L21/304
    • 本發明之課題為在旋削光元件晶圓的透光性成型樹脂時,將旋削後之成型樹脂層表面的平坦度維持在高水準,且追求旋削部磨損量之抑制及加工之高速化。本發明是一種光元件晶圓的加工方法,具有:第1旋削步驟,是使具有切削部之車刀在光元件晶圓的該透光性成型樹脂旋轉並起作用,以對透光性成型樹脂進行粗旋削,該切削部是由含有鑽石之燒結體所形成;及第2旋削步驟,是接著第1旋削步驟,使具有鑽石單結晶的切削部之車刀旋轉並起作用,以旋削透光性成型樹脂而將透光性成型樹脂精加工成為預期厚度。
    • 本发明之课题为在旋削光组件晶圆的透光性成型树脂时,将旋削后之成型树脂层表面的平坦度维持在高水准,且追求旋削部磨损量之抑制及加工之高速化。本发明是一种光组件晶圆的加工方法,具有:第1旋削步骤,是使具有切削部之车刀在光组件晶圆的该透光性成型树脂旋转并起作用,以对透光性成型树脂进行粗旋削,该切削部是由含有钻石之烧结体所形成;及第2旋削步骤,是接着第1旋削步骤,使具有钻石单结晶的切削部之车刀旋转并起作用,以旋削透光性成型树脂而将透光性成型树脂精加工成为预期厚度。