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1. 发明专利

TWI641157B 室裝置及加熱方法有权
简体标题：室设备及加热方法
公开(公告)号：TWI641157B
公开(公告)日：2018-11-11
申请号：TW103125691
申请日：2014-07-28
申请人：日商東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
发明人：佐保田勉 , SAHODA, TSUTOMU , 升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 宮本英典 , MIYAMOTO, HIDENORI , 菊地右文 , KIKUCHI, YUBUN
IPC分类号： H01L31/0525 , B05D3/02

2. 发明专利

TWI665148B 基板剝離裝置及基板剝離方法有权
简体标题：基板剥离设备及基板剥离方法
公开(公告)号：TWI665148B
公开(公告)日：2019-07-11
申请号：TW105107599
申请日：2016-03-11
申请人：日商東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
发明人：菊地浩之 , KIKUCHI, HIROYUKI , 高瀬真治 , TAKASE, SHINJI , 升芳明 , MASU, YOSHIAKI
IPC分类号： B65H41/00 , H05K3/00

3. 发明专利

TW201903826A 基板加熱裝置、基板處理系統及基板加熱方法审中-公开
简体标题：基板加热设备、基板处理系统及基板加热方法
公开(公告)号：TW201903826A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW107100601
申请日：2018-01-08
申请人：日商東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
发明人：加藤茂 , KATO, SHIGERU , 佐保田勉 , SAHODA, TSUTOMU , 山谷謙一 , YAMAYA, KENICHI , 升芳明 , MASU, YOSHIAKI
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
摘要：本發明的基板加熱裝置包含：腔室，在內部形成有能夠容納塗佈了溶液的基板的容納空間；減壓部，能夠將前述容納空間的氣氛減壓；基板加熱部，配置在前述基板的一側及另一側的至少一方，並且能夠加熱前述基板；和腔室加熱部，能夠加熱前述腔室的內表面的至少一部分。
简体摘要：本发明的基板加热设备包含：腔室，在内部形成有能够容纳涂布了溶液的基板的容纳空间；减压部，能够将前述容纳空间的气氛减压；基板加热部，配置在前述基板的一侧及另一侧的至少一方，并且能够加热前述基板；和腔室加热部，能够加热前述腔室的内表面的至少一部分。

4. 发明专利

TWI466219B 塗佈裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI466219B
公开(公告)日：2014-12-21
申请号：TW098120469
申请日：2009-06-18
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
发明人：升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 加藤茂 , KATO, SHIGERU , 菊地浩之 , KIKUCHI, HIROYUKI
IPC分类号： H01L21/677 , G03F7/16

5. 发明专利

TWI444321B 塗佈裝置、基板的收授方法以及塗佈方法有权
简体标题：涂布设备、基板的收授方法以及涂布方法
公开(公告)号：TWI444321B
公开(公告)日：2014-07-11
申请号：TW097125309
申请日：2008-07-04
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
发明人：升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 清水昭宏 , SHIMIZU, AKIHIRO , 坂卷拓治 , SAKAMAKI, TAKUJI
IPC分类号： B65G49/06 , B05C13/00 , B05D3/00 , B65G51/03 , H01L21/677

6. 发明专利

TWI402626B 塗佈裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI402626B
公开(公告)日：2013-07-21
申请号：TW096118216
申请日：2007-05-22
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. , 達摩股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 宮本英典 , MIYAMOTO, HIDENORI , 池尻浩一 , IKEJIRI, KOUICHI , 曽根康博 , SONE, YASUHIRO
IPC分类号： G03F7/16

7. 发明专利

TWI481540B 塗佈裝置及塗佈方法有权
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TWI481540B
公开(公告)日：2015-04-21
申请号：TW098119238
申请日：2009-06-09
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. , 龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 高瀨真治 , TAKASE, SHINJI , 清水昭宏 , SHIMIZU, AKIHIRO , 谷本恒夫 , TANIMOTO, TSUNEO , 立間直伸 , TATSUMA, NAONOBU
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/67 , H01L21/027

8. 发明专利

TW201423279A 塗佈裝置审中-公开
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TW201423279A
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：TW103106044
申请日：2009-04-16
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
发明人：升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 山口和伸 , YAMAGUCHI, KAZUNOBU , 楫間淳生 , KAJIMA, ATSUO
IPC分类号： G03F7/16 , B65G49/06
摘要：該塗佈裝置，具備有：在藉由基板搬運部搬運基板的同時，將液狀體塗佈於該基板的塗佈部；上述塗佈部，具有吐出上述液狀體的噴嘴，並且具備有：將上述塗佈部朝向上述基板搬運方向或與基板搬運方向相反的方向移動至，作業者可對上述噴嘴進行接取的區域的移動機構。上述塗佈裝置，也可取代在上述塗佈部具備有上述移動機構的方式，而在上述基板搬運部具備有變更機構。該變更機構，可變更成：形成用以對上述噴嘴進行接取用的作業者進入空間的空間形成狀態、與搬運上述基板的基板搬運狀態。
简体摘要：该涂布设备，具备有：在借由基板搬运部搬运基板的同时，将液状体涂布于该基板的涂布部；上述涂布部，具有吐出上述液状体的喷嘴，并且具备有：将上述涂布部朝向上述基板搬运方向或与基板搬运方向相反的方向移动至，作业者可对上述喷嘴进行接取的区域的移动机构。上述涂布设备，也可取代在上述涂布部具备有上述移动机构的方式，而在上述基板搬运部具备有变更机构。该变更机构，可变更成：形成用以对上述喷嘴进行接取用的作业者进入空间的空间形成状态、与搬运上述基板的基板搬运状态。

9. 发明专利

TWI388377B 旋轉杯式塗佈裝置有权
简体标题：旋转杯式涂布设备
公开(公告)号：TWI388377B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW094121009
申请日：2005-06-23
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. , 達摩股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：山口和伸 , YAMAGUCHI, KAZUNOBU , 佐保田勉 , SAHODA, TSUTOMU , 升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 山本夕記 , YAMAMOTO, YUKI
IPC分类号： B05C11/08

10. 发明专利

TWI571316B 塗布裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI571316B
公开(公告)日：2017-02-21
申请号：TW101109697
申请日：2012-03-21
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
发明人：升芳明 , MASU, YOSHIAKI
IPC分类号： B05C5/02 , B05C11/00 , H01L21/027
CPC分类号： B05B15/52

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