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1. 发明专利

TWI444321B 塗佈裝置、基板的收授方法以及塗佈方法有权
简体标题：涂布设备、基板的收授方法以及涂布方法
公开(公告)号：TWI444321B
公开(公告)日：2014-07-11
申请号：TW097125309
申请日：2008-07-04
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
发明人：升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 清水昭宏 , SHIMIZU, AKIHIRO , 坂卷拓治 , SAKAMAKI, TAKUJI
IPC分类号： B65G49/06 , B05C13/00 , B05D3/00 , B65G51/03 , H01L21/677

2. 发明专利

TWI481540B 塗佈裝置及塗佈方法有权
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TWI481540B
公开(公告)日：2015-04-21
申请号：TW098119238
申请日：2009-06-09
申请人：東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. , 龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：升芳明 , MASU, YOSHIAKI , 高瀨真治 , TAKASE, SHINJI , 清水昭宏 , SHIMIZU, AKIHIRO , 谷本恒夫 , TANIMOTO, TSUNEO , 立間直伸 , TATSUMA, NAONOBU
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/67 , H01L21/027

3. 发明专利

TWI348396B 塗佈裝置及塗佈方法 COATING APPLICATOR AND METHOD OF COATING 有权
简体标题：涂布设备及涂布方法 COATING APPLICATOR AND METHOD OF COATING
公开(公告)号：TWI348396B
公开(公告)日：2011-09-11
申请号：TW097129425
申请日：2008-08-01
申请人：東京應化工業股份有限公司
发明人：升芳明 , 清水昭宏 , 加藤茂
IPC分类号： B05C , B65G
摘要：本發明要提供一種塗佈裝置及塗佈方法，是具備有：使基板浮起來進行搬運的基板搬運部、以及於上述基板搬運部一面進行搬運一面對上述基板的表面塗佈液狀體的塗佈部，的塗佈裝置，具備有：設置於上述基板搬運部，用來控制上述基板的浮起高度的氣體噴出手段及吸引手段、以及流量控制手段，該流量控制手段係使從上述氣體噴出手段所噴出的氣體的流量與從上述吸引手段所吸引的氣體的流量，以成為包含大致±5%程度的誤差使認可為相同的流量之方式來控制上述氣體的流量。
简体摘要：本发明要提供一种涂布设备及涂布方法，是具备有：使基板浮起来进行搬运的基板搬运部、以及于上述基板搬运部一面进行搬运一面对上述基板的表面涂布液状体的涂布部，的涂布设备，具备有：设置于上述基板搬运部，用来控制上述基板的浮起高度的气体喷出手段及吸引手段、以及流量控制手段，该流量控制手段系使从上述气体喷出手段所喷出的气体的流量与从上述吸引手段所吸引的气体的流量，以成为包含大致±5%程度的误差使认可为相同的流量之方式来控制上述气体的流量。

4. 发明专利

TWI361727B 塗佈裝置及塗佈方法 COATING APPARATUS AND COATING METHOD 有权
简体标题：涂布设备及涂布方法 COATING APPARATUS AND COATING METHOD
公开(公告)号：TWI361727B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：TW097125898
申请日：2008-07-09
申请人：東京應化工業股份有限公司
发明人：升芳明 , 清水昭宏
IPC分类号： B05C , G03F , H01L , B65G
摘要：本發明的塗佈裝置，是具備有：使基板浮起來進行搬運的基板搬運部、及具有在藉由該基板搬運部搬運基板的同時對上述基板塗佈液狀體的噴嘴的塗佈部，在上述塗佈部，設置有：對於上述噴嘴分別壓送上述液狀體的複數的泵浦。
简体摘要：本发明的涂布设备，是具备有：使基板浮起来进行搬运的基板搬运部、及具有在借由该基板搬运部搬运基板的同时对上述基板涂布液状体的喷嘴的涂布部，在上述涂布部，设置有：对于上述喷嘴分别压送上述液状体的复数的泵浦。

5. 发明专利

TWI348398B 塗佈裝置及塗佈裝置的清潔方法 A SPREADING DEVICE AND A METHOD FOR CLEANING A SPREADING DEVICE 有权
简体标题：涂布设备及涂布设备的清洁方法 A SPREADING DEVICE AND A METHOD FOR CLEANING A SPREADING DEVICE
公开(公告)号：TWI348398B
公开(公告)日：2011-09-11
申请号：TW097131004
申请日：2008-08-14
申请人：東京應化工業股份有限公司
发明人：升芳明 , 清水昭宏 , 加藤茂
IPC分类号： B05C , H01L
摘要：本發明提供一種塗佈裝置及塗佈裝置的清潔方法，能使塗佈裝置的作業效率提升，且可使作業空間達到節省空間化。該裝置，是具備有：使基板浮起來進行搬運的基板搬運部、以及一面藉由該基板搬運部進行搬運，一面對上述基板塗佈液狀體的塗佈部之塗佈裝置，是具備有：在上述基板搬運部設置複數個，可進行氣體的噴出及吸引的孔部；以及將從上述複數的孔部噴出氣體的噴出模式與從上述複數的孔部進行吸引的吸引模式進行切換的控制手段。
简体摘要：本发明提供一种涂布设备及涂布设备的清洁方法，能使涂布设备的作业效率提升，且可使作业空间达到节省空间化。该设备，是具备有：使基板浮起来进行搬运的基板搬运部、以及一面借由该基板搬运部进行搬运，一面对上述基板涂布液状体的涂布部之涂布设备，是具备有：在上述基板搬运部设置复数个，可进行气体的喷出及吸引的孔部；以及将从上述复数的孔部喷出气体的喷出模式与从上述复数的孔部进行吸引的吸引模式进行切换的控制手段。

6. 发明专利

TW201008856A 塗佈裝置及塗佈方法 COATING APPARATUS AND COATING METHOD 审中-公开
简体标题：涂布设备及涂布方法 COATING APPARATUS AND COATING METHOD
公开(公告)号：TW201008856A
公开(公告)日：2010-03-01
申请号：TW098119238
申请日：2009-06-09
申请人：東京應化工業股份有限公司 , 龍雲股份有限公司
发明人：升芳明 , 高瀨真治 , 清水昭宏 , 谷本恒夫 , 立間直伸
IPC分类号： B65G , H01L
摘要：在基板搬運部設置有搬運機構，該搬運機構，具有用來保持基板的保持部，且在保持基板的狀態將其進行搬運；具備有將該基板按壓於保持部的輔助機構，所以除了搬運機構的保持部之外，也能藉由輔助機構來保持基板。因此，能夠更堅固地保持基板，藉此能抑制基板的偏移情形。且可防止因為基板的偏移導致的不良塗佈情形，可將基板搬運部上保持潔淨。
简体摘要：在基板搬运部设置有搬运机构，该搬运机构，具有用来保持基板的保持部，且在保持基板的状态将其进行搬运；具备有将该基板按压于保持部的辅助机构，所以除了搬运机构的保持部之外，也能借由辅助机构来保持基板。因此，能够更坚固地保持基板，借此能抑制基板的偏移情形。且可防止因为基板的偏移导致的不良涂布情形，可将基板搬运部上保持洁净。

7. 发明专利

TWI351321B 塗佈裝置 COATING APPLICATOR 有权
简体标题：涂布设备 COATING APPLICATOR
公开(公告)号：TWI351321B
公开(公告)日：2011-11-01
申请号：TW097122281
申请日：2008-06-13
申请人：東京應化工業股份有限公司
发明人：升芳明 , 清水昭宏
IPC分类号： B05C
摘要：本發明的塗佈裝置，是具有：使基板浮起來進行搬運的基板搬運部、對於藉由上述基板搬運部所搬運中的上述基板來塗佈液狀體的塗佈部、以及具有，當上述塗佈部的預備吐出動作時從上述塗佈部塗佈上述液狀體的大致平面的預備吐出面的預備吐出部。
简体摘要：本发明的涂布设备，是具有：使基板浮起来进行搬运的基板搬运部、对于借由上述基板搬运部所搬运中的上述基板来涂布液状体的涂布部、以及具有，当上述涂布部的预备吐出动作时从上述涂布部涂布上述液状体的大致平面的预备吐出面的预备吐出部。

8. 发明专利

TWI353894B 塗佈裝置及塗佈方法 A SPREADING DEVICE AND A METHOD FOR SPREADING LIQUID 有权
简体标题：涂布设备及涂布方法 A SPREADING DEVICE AND A METHOD FOR SPREADING LIQUID
公开(公告)号：TWI353894B
公开(公告)日：2011-12-11
申请号：TW097131431
申请日：2008-08-18
申请人：東京應化工業股份有限公司
发明人：升芳明 , 清水昭宏
IPC分类号： B05C
摘要：本發明提供可以抑制塗佈於基板的液狀體之高黏度化，抑制塗佈部之乾燥的塗佈裝置及塗佈方法。
該裝置具備：使基板浮起而搬送的基板搬送部、及藉由該基板搬送部持續搬送而對前述基板塗佈液狀體的塗佈部之塗佈裝置，具備：被設置於前述塗佈部，吐出前述液狀體之噴嘴、及前述基板搬送部之中在對應於前述噴嘴的區域設置複數個，進行供使前述基板浮起之用的氣體噴出之氣體噴出孔；前述噴嘴，係以在其前端俯視時重疊的前述氣體噴出孔的數目成為最少的方式被配置。
简体摘要：本发明提供可以抑制涂布于基板的液状体之高黏度化，抑制涂布部之干燥的涂布设备及涂布方法。该设备具备：使基板浮起而搬送的基板搬送部、及借由该基板搬送部持续搬送而对前述基板涂布液状体的涂布部之涂布设备，具备：被设置于前述涂布部，吐出前述液状体之喷嘴、及前述基板搬送部之中在对应于前述喷嘴的区域设置复数个，进行供使前述基板浮起之用的气体喷出之气体喷出孔；前述喷嘴，系以在其前端俯视时重叠的前述气体喷出孔的数目成为最少的方式被配置。

9. 发明专利

TWI348448B 基板之搬送塗布裝置及基板之搬送處理方法有权
简体标题：基板之搬送涂布设备及基板之搬送处理方法
公开(公告)号：TWI348448B
公开(公告)日：2011-09-11
申请号：TW097107141
申请日：2008-02-29
申请人：東京應化工業股份有限公司
发明人：升芳明 , 清水昭宏
IPC分类号： B65G , B05C
摘要：【課題】提供可大幅地縮短單位工時(Tact Time)的
基板之搬送塗布裝置。
【解決手段】從藉由搬送機構14的墊14a保持處理
後的基板W1，藉由搬送機構13的墊13a保持了未處理的基板W2的狀態，搬送機構13、14係移動於圖中右側，處理後的基板W1係朝向交接的位置、未處理的基板W2係向塗布處理部S2浮上搬送。接著，在塗布處理部S2於未處理的基板W2表面塗布塗布液時，搬送機構14係返回定位位置，保持接下來的未處理的基板W3。接著，搬送機構13係將已結束塗布處理的基板W2搬送至基板搬出部S3，搬送機構14係將未處理的基板W3搬送至塗布處理部S2之處。之後，搬送機構13、14係移動至圖中右側，處理後的基板W2係朝向交接位置，未處理的基板W3係向塗布處理部S2浮上搬送。
简体摘要：【课题】提供可大幅地缩短单位工时(Tact Time)的基板之搬送涂布设备。【解决手段】从借由搬送机构14的垫14a保持处理后的基板W1，借由搬送机构13的垫13a保持了未处理的基板W2的状态，搬送机构13、14系移动于图中右侧，处理后的基板W1系朝向交接的位置、未处理的基板W2系向涂布处理部S2浮上搬送。接着，在涂布处理部S2于未处理的基板W2表面涂布涂布液时，搬送机构14系返回定位位置，保持接下来的未处理的基板W3。接着，搬送机构13系将已结束涂布处理的基板W2搬送至基板搬出部S3，搬送机构14系将未处理的基板W3搬送至涂布处理部S2之处。之后，搬送机构13、14系移动至图中右侧，处理后的基板W2系朝向交接位置，未处理的基板W3系向涂布处理部S2浮上搬送。

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