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1. 发明专利

TW201826324A 陶瓷加熱器审中-公开
简体标题：陶瓷加热器
公开(公告)号：TW201826324A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106126878
申请日：2017-08-09
申请人：日商日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：海野豊 , 竹林央史
IPC分类号： H01L21/02 , H05B3/02 , H05B3/74
摘要：一種陶瓷加熱器，其具有用於裝載晶圓於圓板狀陶瓷板的上表面上之晶圓裝載面。在陶瓷板的內周領域，埋設有一個以上之內周側加熱器元件，在外周領域埋設有一個以上之外周側加熱器元件。陶瓷板中之既定領域的厚度，係小於陶瓷板直徑之3.9%。在此，既定領域係包含內周領域與外周領域的邊界線之領域。
简体摘要：一种陶瓷加热器，其具有用于装载晶圆于圆板状陶瓷板的上表面上之晶圆装载面。在陶瓷板的内周领域，埋设有一个以上之内周侧加热器组件，在外周领域埋设有一个以上之外周侧加热器组件。陶瓷板中之既定领域的厚度，系小于陶瓷板直径之3.9%。在此，既定领域系包含内周领域与外周领域的边界线之领域。

2. 发明专利

TW201827642A 晶圓支撐台审中-公开
简体标题：晶圆支撑台
公开(公告)号：TW201827642A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW107102935
申请日：2018-01-26
申请人：日商日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：前田大樹 , 海野豊
IPC分类号： C23C16/458 , H01L21/673
摘要：晶圓支撐台20包括隔離片40與隔離管42。隔離片40係在電漿產生電極26與加熱器電極30之間在與兩者不接觸之狀態被埋設於陶瓷基體22。隔離管42係與隔離片40以電性連接，並從陶瓷基體22之背面22b被延伸至陶瓷軸24的內部(陶瓷基體22的外部)。電漿產生電極之棒28係在與隔離管42不接觸之狀態被插入隔離管42的內部。加熱器電極30之配線構件31a、32a係在與隔離管42不接觸之狀態被配置於隔離管42的外部。
简体摘要：晶圆支撑台20包括隔离片40与隔离管42。隔离片40系在等离子产生电极26与加热器电极30之间在与两者不接触之状态被埋设于陶瓷基体22。隔离管42系与隔离片40以电性连接，并从陶瓷基体22之背面22b被延伸至陶瓷轴24的内部(陶瓷基体22的外部)。等离子产生电极之棒28系在与隔离管42不接触之状态被插入隔离管42的内部。加热器电极30之配线构件31a、32a系在与隔离管42不接触之状态被配置于隔离管42的外部。

3. 发明专利

TW201616915A 接合構造體审中-公开
简体标题：接合构造体
公开(公告)号：TW201616915A
公开(公告)日：2016-05-01
申请号：TW104119354
申请日：2015-06-16
申请人：日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：海野豊
IPC分类号： H05B3/40 , H05B3/10 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67103 , H01L21/6831 , H05B3/28 , H05B3/283 , H05B3/748 , H05B2203/016
摘要：陶瓷加熱器10，係包括陶瓷構件12、加熱器元件14、連接構件16、外部通電構件18。連接構件16，係使其從陶瓷構件12之中的孔12c之底面到達加熱器元件14之而埋設之圓柱狀的金屬構件。連接構件16，直徑D為3.5~5mm，與加熱器元件14相接之圓形面與圓柱側面之轉角部分16b的曲率半徑R為0.3~1.5mm，比率R/D為0.09~0.30。外部通電構件18，係透過接合層20而與連接構件16接合。藉由此陶瓷加熱器10。可使接合強度較以往高，且可使陶瓷構件12之破損風險降低。
简体摘要：陶瓷加热器10，系包括陶瓷构件12、加热器组件14、连接构件16、外部通电构件18。连接构件16，系使其从陶瓷构件12之中的孔12c之底面到达加热器组件14之而埋设之圆柱状的金属构件。连接构件16，直径D为3.5~5mm，与加热器组件14相接之圆形面与圆柱侧面之转角部分16b的曲率半径R为0.3~1.5mm，比率R/D为0.09~0.30。外部通电构件18，系透过接合层20而与连接构件16接合。借由此陶瓷加热器10。可使接合强度较以往高，且可使陶瓷构件12之破损风险降低。

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