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1. 发明专利

TW202027208A 基板處理裝置、搬運模組及連結模組审中-公开
简体标题：基板处理设备、搬运模块及链接模块
公开(公告)号：TW202027208A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108142671
申请日：2019-11-25
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：髙山祐一 , TAKAYAMA, YUICHI , 橋本光治 , HASHIMOTO, KOJI , 菊本憲幸 , KIKUMOTO, NORIYUKI
IPC分类号： H01L21/677
摘要：本發明提供一種可增設處理單元，且使搬運機器人之維護容易之技術。第1處理模組3A具有處理單元SP1～SP6及第1交接部PS1。將移載傳送設備區段2配置於第1處理模組3A之－X側，對第1交接部PS1供給基板W。搬運模組3T係配置於第1處理模組3A之+X側，具有將基板W自第1交接部PS1向+X方向搬出，並搬入至處理單元SP1～SP6之第1搬運機器人CR1。搬運模組3T具有維護室302T。於維護室302T內，設置設有第1搬運機器人CR1之基台部41之第1地板部FL1，及配置於第1地板部FL1之+Y側之第2地板部FL2。於較第2地板部FL2更靠+Y側，設置使維護室302T之內側與外部連通之出入口部303T。
简体摘要：本发明提供一种可增设处理单元，且使搬运机器人之维护容易之技术。第1处理模块3A具有处理单元SP1～SP6及第1交接部PS1。将移载发送设备区段2配置于第1处理模块3A之－X侧，对第1交接部PS1供给基板W。搬运模块3T系配置于第1处理模块3A之+X侧，具有将基板W自第1交接部PS1向+X方向搬出，并搬入至处理单元SP1～SP6之第1搬运机器人CR1。搬运模块3T具有维护室302T。于维护室302T内，设置设有第1搬运机器人CR1之基台部41之第1地板部FL1，及配置于第1地板部FL1之+Y侧之第2地板部FL2。于较第2地板部FL2更靠+Y侧，设置使维护室302T之内侧与外部连通之出入口部303T。

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