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1. 发明专利

TWI696887B 光罩檢查裝置以及光罩檢查方法有权
简体标题：光罩检查设备以及光罩检查方法
公开(公告)号：TWI696887B
公开(公告)日：2020-06-21
申请号：TW108113290
申请日：2019-04-17
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：岸本良 , KISHIMOTO, RYO , 山本真吾 , YAMAMOTO, SHINGO , 中島直人 , NAKASHIMA, NAOTO
IPC分类号： G03F1/84 , G03F1/26

2. 发明专利

TWI664402B 相位差測定裝置及相位差測定方法有权
简体标题：相位差测定设备及相位差测定方法
公开(公告)号：TWI664402B
公开(公告)日：2019-07-01
申请号：TW107118746
申请日：2018-05-31
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：岸本良 , KISHIMOTO, RYO , 山本真吾 , YAMAMOTO, SHINGO
IPC分类号： G01J9/02

3. 发明专利

TW202030545A 模型資料生成方法、圖案測定方法、補正圖案資料生成方法及模型資料生成裝置审中-公开
简体标题：模型数据生成方法、图案测定方法、补正图案数据生成方法及模型数据生成设备
公开(公告)号：TW202030545A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108141224
申请日：2019-11-13
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：岸本良 , KISHIMOTO, RYO , 山本真吾 , YAMAMOTO, SHINGO , 中島直人 , NAKASHIMA, NAOTO
IPC分类号： G03F1/36
摘要：本發明提供一種有助於光強度分佈之算出精度之提昇之模型資料生成方法。模型資料係以離散值表示透過光罩之圖案之光之分佈。該模型資料係輸入至算出經由既定光學系統之光之強度分佈的影像模擬器。模型資料生成法包含以既定函數之截止頻率成為該離散值之空間解析度之倒數之四分之一以下的方式生成模型資料之步驟。既定函數係將模型資料中包含之光之強度分佈之強度變化部分所沿著之波形相互連結而得之函數。
简体摘要：本发明提供一种有助于光强度分布之算出精度之提升之模型数据生成方法。模型数据系以离散值表示透过光罩之图案之光之分布。该模型数据系输入至算出经由既定光学系统之光之强度分布的影像仿真器。模型数据生成法包含以既定函数之截止频率成为该离散值之空间分辨率之倒数之四分之一以下的方式生成模型数据之步骤。既定函数系将模型数据中包含之光之强度分布之强度变化部分所沿着之波形相互链接而得之函数。

4. 发明专利

TW202004333A 光罩檢查裝置以及光罩檢查方法审中-公开
简体标题：光罩检查设备以及光罩检查方法
公开(公告)号：TW202004333A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108113290
申请日：2019-04-17
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：岸本良 , KISHIMOTO, RYO , 山本真吾 , YAMAMOTO, SHINGO , 中島直人 , NAKASHIMA, NAOTO
IPC分类号： G03F1/84 , G03F1/26
摘要：提供一種光罩檢查裝置，係能檢測更適用於測量的繞射圖案。光罩檢查裝置1係測量相位偏移遮罩80的相位偏移部8b的圖案特性。光罩檢查裝置1係具備有保持部90、照射部10、細縫遮罩24、傅立葉轉換透鏡25以及第一光學感測器27。保持部90係保持相位偏移遮罩80。照射部10係對包含有透光部8a與相位偏移部8b的區域照射光線。細縫遮罩24係具有細縫24a，並配置於已透過透光部8a的寬度方向中的一部分以及相位偏移部8b的寬度方向中的整體之光線通過細縫24a之位置。傅立葉轉換透鏡25係被射入有已通過細縫24a的光線。第一光學感測器27係以複數個時序檢測來自傅立葉轉換透鏡25的光線的繞射圖案。
简体摘要：提供一种光罩检查设备，系能检测更适用于测量的绕射图案。光罩检查设备1系测量相位偏移遮罩80的相位偏移部8b的图案特性。光罩检查设备1系具备有保持部90、照射部10、细缝遮罩24、傅里叶转换透镜25以及第一光学传感器27。保持部90系保持相位偏移遮罩80。照射部10系对包含有透光部8a与相位偏移部8b的区域照射光线。细缝遮罩24系具有细缝24a，并配置于已透过透光部8a的宽度方向中的一部分以及相位偏移部8b的宽度方向中的整体之光线通过细缝24a之位置。傅里叶转换透镜25系被射入有已通过细缝24a的光线。第一光学传感器27系以复数个时序检测来自傅里叶转换透镜25的光线的绕射图案。

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