专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

TW201701379A 接合裝置及接合方法审中-公开
简体标题：接合设备及接合方法
公开(公告)号：TW201701379A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105104932
申请日：2016-02-19
申请人：捷進科技有限公司 , FASFORD TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：牧浩 , MAKI, HIROSHI , 坂本秀章 , SAKAMOTO, HIDEAKI , 山本啓太 , YAMAMOTO, KEITA
IPC分类号： H01L21/60 , H01L21/68 , H01L23/48
摘要：本發明，係提供一種修正拾取攝像機與安裝攝像機間的姿勢偏差，並在安裝位置中進行定位精度高的接合裝置及接合方法。本發明，係以具有基準標記的接合頭，使晶粒吸附保持於偏離吸附保持晶粒的夾頭之中心位置的位置，並接合於安裝位置，在吸附保持的位置及安裝位置上，以各自的攝像手段對基準標記進行拍攝，根據各自之攝像的結果，檢測各自之攝像手段相對於接合頭的位置偏差與旋轉角偏差，根據各自的檢測結果，修正相對於前述安裝位置之前述接合頭的第3位置偏差與第3旋轉角偏差中至少第3旋轉角偏差的一方。
简体摘要：本发明，系提供一种修正十取摄像机与安装摄像机间的姿势偏差，并在安装位置中进行定位精度高的接合设备及接合方法。本发明，系以具有基准标记的接合头，使晶粒吸附保持于偏离吸附保持晶粒的夹头之中心位置的位置，并接合于安装位置，在吸附保持的位置及安装位置上，以各自的摄像手段对基准标记进行拍摄，根据各自之摄像的结果，检测各自之摄像手段相对于接合头的位置偏差与旋转角偏差，根据各自的检测结果，修正相对于前述安装位置之前述接合头的第3位置偏差与第3旋转角偏差中至少第3旋转角偏差的一方。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式