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    • 5. 发明专利
    • 固態攝影元件
    • 固态摄影组件
    • TW200629533A
    • 2006-08-16
    • TW094137786
    • 2005-10-28
    • 尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION
    • 釜下敦
    • H01LH04N
    • H01L21/3221H01L27/14603H01L27/14698H01L27/14806
    • 本發明係一種在矽基板形成複數個具備有光電轉換部及排出部之像素之固態攝影元件。光電轉換部係按照入射光儲存相應量之電荷,排出部將光電轉換部儲存之電荷作為像素訊號並輸出。又,於矽基板表面之半導體元件區域,各像素分別形成有吸氣區域。又,在吸氣區域中將受體型雜質擴散成,使吸氣區域在1個像素內所占之面積比率、與吸氣區域中每單位面積包含之受體型雜質原子數之乘積,為3×10^6【μm^–2】以上。該3×10^6【μm^–2】係根據實驗資料而得之可確實降低暗電流之數值。
    • 本发明系一种在硅基板形成复数个具备有光电转换部及排出部之像素之固态摄影组件。光电转换部系按照入射光存储相应量之电荷,排出部将光电转换部存储之电荷作为像素信号并输出。又,于硅基板表面之半导体组件区域,各像素分别形成有吸气区域。又,在吸气区域中将受体型杂质扩散成,使吸气区域在1个像素内所占之面积比率、与吸气区域中每单位面积包含之受体型杂质原子数之乘积,为3×10^6【μm^–2】以上。该3×10^6【μm^–2】系根据实验数据而得之可确实降低暗电流之数值。