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    • 7. 发明专利
    • 薄膜太陽電池之加工裝置及薄膜太陽電池之加工方法
    • 薄膜太阳电池之加工设备及薄膜太阳电池之加工方法
    • TW201642488A
    • 2016-12-01
    • TW105112978
    • 2016-04-26
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 山田充YAMADA, MITSURU木下知子KINOSHITA, TOMOKO中谷郁祥NAKATANI, IKUYOSHI
    • H01L31/18H01L31/042
    • Y02E10/50Y02P70/521
    • 本發明係提供一種有助於縮短形成劃線所需之時間之薄膜太陽電池之加工裝置、及薄膜太陽電池之加工方法。 本發明之薄膜太陽電池之加工裝置包括:載台,其係供載置形成有中間層23之基板10;刀具,其係於中間層23形成劃線30;頭,其係將刀具按壓至中間層23;掃描機構,其係藉由使頭相對於載台相對移動而使刀具進行掃描;及控制裝置,其係控制頭及掃描機構之動作。控制裝置係藉由按壓刀具而形成劃線30之加工開始點30X,且於形成加工開始點30X後,一邊維持按壓刀具之狀態一邊使刀具進行掃描,藉此於中間層23形成劃線30,且使形成加工開始點30X時按壓刀具之力即按壓力,強於形成劃線30時之按壓力。
    • 本发明系提供一种有助于缩短形成划线所需之时间之薄膜太阳电池之加工设备、及薄膜太阳电池之加工方法。 本发明之薄膜太阳电池之加工设备包括:载台,其系供载置形成有中间层23之基板10;刀具,其系于中间层23形成划线30;头,其系将刀具按压至中间层23;扫描机构,其系借由使头相对于载台相对移动而使刀具进行扫描;及控制设备,其系控制头及扫描机构之动作。控制设备系借由按压刀具而形成划线30之加工开始点30X,且于形成加工开始点30X后,一边维持按压刀具之状态一边使刀具进行扫描,借此于中间层23形成划线30,且使形成加工开始点30X时按压刀具之力即按压力,强于形成划线30时之按压力。