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1. 发明专利

TW201533824A 晶圓檢測方法及軟體审中-公开
简体标题：晶圆检测方法及软件
公开(公告)号：TW201533824A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW104104837
申请日：2015-02-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：曲力林格阿夏福 , SCHLEZINGER, ASAF , 史達普馬克思J , STOPPER, MARKUS J.
IPC分类号： H01L21/66 , H01T15/00
摘要：本發明實施例一般係關於用於檢測晶圓的方法。在矽磚被切片成複數個裸晶圓後，拍攝各晶圓的二維(2D)光發光(PL)圖像，接著晶圓的PL圖像依順序(即依晶圓從矽磚切片下來的順序)被合併以建構矽磚的三維(3D)模型，矽磚的三維模型凸顯(highlight)出矽磚中的相似區域。
简体摘要：本发明实施例一般系关于用于检测晶圆的方法。在硅砖被切片成复数个裸晶圆后，拍摄各晶圆的二维(2D)光发光(PL)图像，接着晶圆的PL图像依顺序(即依晶圆从硅砖切片下来的顺序)被合并以建构硅砖的三维(3D)模型，硅砖的三维模型凸显(highlight)出硅砖中的相似区域。

2. 发明专利

TWI685041B 晶圓檢測方法及軟體有权
简体标题：晶圆检测方法及软件
公开(公告)号：TWI685041B
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：TW104104837
申请日：2015-02-12
申请人：美國應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：曲力林格阿夏福 , SCHLEZINGER, ASAF , 史達普馬克思J , STOPPER, MARKUS J.
IPC分类号： H01L21/66 , H01T15/00

3. 发明专利

TWI586963B 線性檢查系統有权
简体标题：线性检查系统
公开(公告)号：TWI586963B
公开(公告)日：2017-06-11
申请号：TW104118365
申请日：2015-06-05
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：施勒岑杰阿薩夫 , SCHLEZINGER, ASAF , 鍾聲德 , ZHONG, SHENGDE
IPC分类号： G01N35/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/64 , G01N21/6489 , G01N21/95 , G01N2201/0612 , G01R31/2601 , G01R31/44 , H02S50/00 , H02S50/10 , H02S50/15

4. 发明专利

TWI518936B 太陽能生產線之度量與偵測套組有权
简体标题：太阳能生产线之度量与侦测套组
公开(公告)号：TWI518936B
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：TW099103383
申请日：2010-02-04
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：曲力林格阿夏福 , SCHLEZINGER, ASAF , 費伊麥可R , FREI, MICHEL R. , 王大鵬 , WANG, DAPENG , 蘇太菲 , SU, TZAY-FA , 斯維丹可薇琪 , SVIDENKO, VICKY , 馬克梭德卡希夫 , MAQSOOD, KASHIF
IPC分类号： H01L31/18 , G01N21/88
CPC分类号： H01L31/188 , H01L31/022466 , Y02E10/50

5. 发明专利

TW201946856A 高速旋轉分類器中的基板傾斜控制审中-公开
简体标题：高速旋转分类器中的基板倾斜控制
公开(公告)号：TW201946856A
公开(公告)日：2019-12-16
申请号：TW108113361
申请日：2019-04-17
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：施勒岑杰阿薩夫 , SCHLEZINGER, ASAF , 史達普馬克思J , STOPPER, MARKUS J.
IPC分类号： B65G49/06 , B65G53/42 , B65G57/08 , H01L31/18
摘要：本案揭露了一種用於分類複數個基板的設備和方法。該設備包括分類單元、可旋轉支撐件、複數個夾持器及空氣噴嘴，分類單元能夠支撐複數個箱，可旋轉支撐件設置在分類單元內，可旋轉支撐件可繞旋轉軸旋轉，複數個夾持器在相對於旋轉軸的共同半徑上耦接到可旋轉支撐件，當該可旋轉支撐件旋轉時，夾持器經定位以沿著該等箱上方的一路徑行進，當被分類的基板由該等夾持器中的一個夾持器釋放到複數個箱中的一箱中時，該空氣噴嘴經配置以將該被分類的基板相對於該箱中的一堆疊的基板重新定向。
简体摘要：本案揭露了一种用于分类复数个基板的设备和方法。该设备包括分类单元、可旋转支撑件、复数个夹持器及空气喷嘴，分类单元能够支撑复数个箱，可旋转支撑件设置在分类单元内，可旋转支撑件可绕旋转轴旋转，复数个夹持器在相对于旋转轴的共同半径上耦接到可旋转支撑件，当该可旋转支撑件旋转时，夹持器经定位以沿着该等箱上方的一路径行进，当被分类的基板由该等夹持器中的一个夹持器释放到复数个箱中的一箱中时，该空气喷嘴经配置以将该被分类的基板相对于该箱中的一堆栈的基板重新定向。

6. 发明专利

TW201602580A 線性檢查系統审中-公开
简体标题：线性检查系统
公开(公告)号：TW201602580A
公开(公告)日：2016-01-16
申请号：TW104118365
申请日：2015-06-05
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：施勒岑杰阿薩夫 , SCHLEZINGER, ASAF , 鍾聲德 , ZHONG, SHENGDE
IPC分类号： G01N35/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/64 , G01N21/6489 , G01N21/95 , G01N2201/0612 , G01R31/2601 , G01R31/44 , H02S50/00 , H02S50/10 , H02S50/15
摘要：本發明之實施例大體而言係關於全面、可擴充基板檢查系統。檢查系統包括多個測量單元，該等測量單元經調適以檢查、偵測或量測基板之一或更多個特徵，該等特徵包括厚度、電阻率、鋸痕、幾何形狀、污點、卷屑、微裂紋、晶體分數及光致發光。可使用檢查系統識別基板上的缺陷，並在將基板處理成太陽能電池之前評估利用基板生產之太陽能電池之太陽能電池效率。可在傳送軌或輸送器上將基板移送穿過測量單元之間的檢查系統，且隨後基於檢查資料將該等基板分類。
简体摘要：本发明之实施例大体而言系关于全面、可扩充基板检查系统。检查系统包括多个测量单元，该等测量单元经调适以检查、侦测或量测基板之一或更多个特征，该等特征包括厚度、电阻率、锯痕、几何形状、污点、卷屑、微裂纹、晶体分数及光致发光。可使用检查系统识别基板上的缺陷，并在将基板处理成太阳能电池之前评估利用基板生产之太阳能电池之太阳能电池效率。可在发送轨或输送器上将基板移送穿过测量单元之间的检查系统，且随后基于检查数据将该等基板分类。

7. 发明专利

TWI675428B 基板材旋轉裝載器有权
简体标题：基板材旋转装载器
公开(公告)号：TWI675428B
公开(公告)日：2019-10-21
申请号：TW105112264
申请日：2016-04-20
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：史達普馬克思J , STOPPER, MARKUS J. , 施勒岑杰阿薩夫 , SCHLEZINGER, ASAF
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66

8. 实用新型

TWM568493U 自動化的分選單元及檢驗系統有权
简体标题：自动化的分菜单元及检验系统
公开(公告)号：TWM568493U
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：TW106214778
申请日：2017-10-05
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：史達普馬克思J , STOPPER, MARKUS J. , 施勒岑杰阿薩夫 , SCHLEZINGER, ASAF
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673

9. 发明专利

TW201642377A 基板材旋轉裝載器审中-公开
简体标题：基板材旋转装载器
公开(公告)号：TW201642377A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW105112264
申请日：2016-04-20
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：史達普馬克思J , STOPPER, MARKUS J. , 施勒岑杰阿薩夫 , SCHLEZINGER, ASAF
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66
CPC分类号： B65G47/91 , B65G47/04 , H01L21/67736 , H01L21/67766
摘要：本文中公開了用於裝載基板材於檢查站中的方法和裝置。在一個實施方式中，本文中公開了用於基板材檢查站的裝載模組。所述裝載模組包括兩個臂、多個基板材夾持器、兩個可旋轉支撐構件、輸送裝置和至少一個致動器。每個臂具有第一端部和第二端部，其中所述第二端部與所述第一端部相對。每個基板材夾持器設置在每個臂的相應端部。每個可旋轉支撐構件被耦接到所述臂中的相應一個臂。所述輸送裝置設置在所述可旋轉支撐構件之間。所述至少一個致動器被配置成使所述臂圍繞所述可旋轉支撐構件旋轉，以將所述夾持器選擇性地定位在所述輸送裝置上方使由所述夾持器保持的基板材得以被釋放到所述輸送裝置上的位置。
简体摘要：本文中公开了用于装载基板材于检查站中的方法和设备。在一个实施方式中，本文中公开了用于基板材检查站的装载模块。所述装载模块包括两个臂、多个基板材夹持器、两个可旋转支撑构件、输送设备和至少一个致动器。每个臂具有第一端部和第二端部，其中所述第二端部与所述第一端部相对。每个基板材夹持器设置在每个臂的相应端部。每个可旋转支撑构件被耦接到所述臂中的相应一个臂。所述输送设备设置在所述可旋转支撑构件之间。所述至少一个致动器被配置成使所述臂围绕所述可旋转支撑构件旋转，以将所述夹持器选择性地定位在所述输送设备上方使由所述夹持器保持的基板材得以被释放到所述输送设备上的位置。

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