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    • 2. 发明专利
    • 藉由布儒斯特角下的雙波長偏移進行的非接觸式溫度測量
    • 借由布儒斯特角下的双波长偏移进行的非接触式温度测量
    • TW201805604A
    • 2018-02-16
    • TW106116870
    • 2017-05-22
    • 應用材料股份有限公司APPLIED MATERIALS, INC.
    • 馬菲特 舍朵瑞PMOFFITT, THEODORE P.阿普瓦 南滿APURVA, NAMAN
    • G01J5/08G01J3/10G01J3/28
    • G01K11/125
    • 本文中所揭露的實施例關於具有一基板監測系統的一熱處理腔室。在一個實施例中,本文中揭露了一種溫度監測系統。該溫度監測系統包括:一外殼及一窗口,該外殼及該窗口定義一內部容積;一或更多個光源;一攝影機;一偏振器;一準直器;一第一鏡;及一第二鏡。該一或更多個光源安置在該內部容積中。該攝影機被配置為捕捉一或更多個光束的複數個訊框。該偏振器安置在該一或更多個光束的一光路徑中。該第一鏡被配置為反射由該準直器朝一基板的一底面引導的光,使得該光束產生等於一布儒斯特角的一入射角。該第二鏡被配置為向該攝影機引導該一或更多個光束。
    • 本文中所揭露的实施例关于具有一基板监测系统的一热处理腔室。在一个实施例中,本文中揭露了一种温度监测系统。该温度监测系统包括:一外壳及一窗口,该外壳及该窗口定义一内部容积;一或更多个光源;一摄影机;一偏振器;一准直器;一第一镜;及一第二镜。该一或更多个光源安置在该内部容积中。该摄影机被配置为捕捉一或更多个光束的复数个讯框。该偏振器安置在该一或更多个光束的一光路径中。该第一镜被配置为反射由该准直器朝一基板的一底面引导的光,使得该光束产生等于一布儒斯特角的一入射角。该第二镜被配置为向该摄影机引导该一或更多个光束。