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1. 发明专利

TWI585890B 基板處理系統及處理基板之方法有权
简体标题：基板处理系统及处理基板之方法
公开(公告)号：TWI585890B
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：TW102131414
申请日：2013-08-30
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：葛羅奧莉微 , GRAW, OLIVER , 克巴羅爾剛 , KOPARAL, ERKAN
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67745 , C23C14/34 , H01L21/67173 , H01L21/67715 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , H01L21/6776

2. 发明专利

TW201428822A 遮蔽元件、使用其之基板處理系統及取出或插入其之方法审中-公开
简体标题：屏蔽组件、使用其之基板处理系统及取出或插入其之方法
公开(公告)号：TW201428822A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：TW102140973
申请日：2013-11-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：林登博克雷波 , LINDENBERG, RALPH , 克巴羅爾剛 , KOPARAL, ERKAN
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/677
CPC分类号： H01J37/3441 , C23C14/042 , C23C14/50 , C23C14/564 , C23C14/568 , C23C16/042 , C23C16/4401 , H01J2237/3323 , H01L21/67173 , H01L21/67751 , H01L21/6776
摘要：一種用於自一基板處理系統之一處理腔體取出一遮蔽元件或插入遮蔽元件至處理腔體中之方法係提供。基板處理系統包括處理腔體、一第一遮蔽元件、及一基板傳輸系統。第一遮蔽元件用於排除一材料應用於一基板之數個部分。基板傳輸系統用於傳輸數個基板或數個基板載體至處理腔體內或至處理腔體外。此方法包括藉由基板傳輸系統傳輸第一遮蔽元件。
简体摘要：一种用于自一基板处理系统之一处理腔体取出一屏蔽组件或插入屏蔽组件至处理腔体中之方法系提供。基板处理系统包括处理腔体、一第一屏蔽组件、及一基板传输系统。第一屏蔽组件用于排除一材料应用于一基板之数个部分。基板传输系统用于传输数个基板或数个基板载体至处理腔体内或至处理腔体外。此方法包括借由基板传输系统传输第一屏蔽组件。

3. 发明专利

TW201417208A 基板處理系統及處理基板之方法审中-公开
简体标题：基板处理系统及处理基板之方法
公开(公告)号：TW201417208A
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：TW102131414
申请日：2013-08-30
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：葛羅奧莉微 , GRAW, OLIVER , 克巴羅爾剛 , KOPARAL, ERKAN
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67745 , C23C14/34 , H01L21/67173 , H01L21/67715 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , H01L21/6776
摘要：一種基板處理系統(1000)係提供。基板處理系統包括一前端模組(1100)、一載入模組(1200、1300)、及一處理模組(1400、1500、1600)。此些模組係配置用於沿著一傳輸方向(T)於此些模組之間進行基板傳輸。前端模組、載入模組及處理模組之至少一者包括一傳輸裝置(100)，提供至少兩個獨立的軌道(1112、1122、1215、1225、1315、1325、1412、1422)，用於支撐一基板或基板載體(12、22、32、42)。傳輸裝置(100)之至少兩個軌道(1112、1122、1412、1422)的兩者或多者可在垂直於傳輸方向(T)之一轉換方向(S)中相對於彼此可移動。至少第一載入模組(1200)、第二載入模組(1300)及處理模組(1400、1500、1600)可各包括一雙軌傳輸裝置(100)。
简体摘要：一种基板处理系统(1000)系提供。基板处理系统包括一前端模块(1100)、一加载模块(1200、1300)、及一处理模块(1400、1500、1600)。此些模块系配置用于沿着一传输方向(T)于此些模块之间进行基板传输。前端模块、加载模块及处理模块之至少一者包括一传输设备(100)，提供至少两个独立的轨道(1112、1122、1215、1225、1315、1325、1412、1422)，用于支撑一基板或基板载体(12、22、32、42)。传输设备(100)之至少两个轨道(1112、1122、1412、1422)的两者或多者可在垂直于传输方向(T)之一转换方向(S)中相对于彼此可移动。至少第一加载模块(1200)、第二加载模块(1300)及处理模块(1400、1500、1600)可各包括一双轨传输设备(100)。

4. 发明专利

TWI636493B 取出或插入遮蔽元件之方法有权
简体标题：取出或插入屏蔽组件之方法
公开(公告)号：TWI636493B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：TW102140973
申请日：2013-11-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：林登博克雷波 , LINDENBERG, RALPH , 克巴羅爾剛 , KOPARAL, ERKAN
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/677

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