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1. 发明专利

TW201447957A 用於對物體的表面成像的方法與裝置审中-公开
简体标题：用于对物体的表面成像的方法与设备
公开(公告)号：TW201447957A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103123161
申请日：2009-08-28
申请人：應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
发明人：沙翰艾瑪 , SHOHAM, AMIR , 聖德班遜 , SENDER, BENZION , 理曼艾隆 , LITMAN, ALON
IPC分类号： H01J37/28 , G01N23/04
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/2208 , G01N23/2251 , H01J37/222 , H01J2237/221 , H01J2237/24495 , H01J2237/2809 , H01J2237/2823
摘要：一種用於對表面成像的方法，其包括用初始帶電粒子束以第一掃描速率掃描該表面的第一區域，以便從該第一區域產生第一二次帶電粒子束；以及用該初始帶電粒子束以比該第一掃描速率快的第二掃描速率掃描該表面的第二區域，以便從該第二區域產生第二二次帶電粒子束。該方法還包括在設置成產生回應該束的信號的檢測器處接收該第一二次帶電粒子束和該第二二次帶電粒子束；以及回應該信號形成該第一區域和該第二區域的圖像。
简体摘要：一种用于对表面成像的方法，其包括用初始带电粒子束以第一扫描速率扫描该表面的第一区域，以便从该第一区域产生第一二次带电粒子束；以及用该初始带电粒子束以比该第一扫描速率快的第二扫描速率扫描该表面的第二区域，以便从该第二区域产生第二二次带电粒子束。该方法还包括在设置成产生回应该束的信号的检测器处接收该第一二次带电粒子束和该第二二次带电粒子束；以及回应该信号形成该第一区域和该第二区域的图像。

2. 发明专利

TW201839380A 用於配置檢查系統的電腦化方法、電腦程式產品和檢查系統审中-公开
简体标题：用于配置检查系统的电脑化方法、电脑进程产品和检查系统
公开(公告)号：TW201839380A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107110830
申请日：2018-03-29
申请人：以色列商應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD.
发明人：修翰阿米爾 , SHOHAM, AMIR , 多伊夫伊多 , DOLEV, IDO , 西莫維奇亞里夫 , SIMOVITCH, YARIV
IPC分类号： G01N21/66 , G01N21/95 , H01L21/66
摘要：一種電腦程式產品、用於配置檢查系統的電腦化方法、和檢查系統。檢查系統可以包括：圖像採集模組，包括照明光學器件和收集光學器件；控制器；和處理器。圖像採集模組可經佈置以獲取對象片段的一組第一圖像。在檢查系統配置有屬於第一組偏振配置的不同偏振配置時獲取所述一組第一圖像中的不同第一圖像。處理器可經佈置以確定在物件片段內的不同點的偏振參數；其中所述確定基於所述一組第一圖像和所述不同偏振配置；和基於不同點的偏振參數計算物件片段的一組第二圖像，在檢查系統根據屬於第二組偏振配置的不同偏振配置而被配置時將會獲取所述一組第二圖像。
简体摘要：一种电脑进程产品、用于配置检查系统的电脑化方法、和检查系统。检查系统可以包括：图像采集模块，包括照明光学器件和收集光学器件；控制器；和处理器。图像采集模块可经布置以获取对象片段的一组第一图像。在检查系统配置有属于第一组偏振配置的不同偏振配置时获取所述一组第一图像中的不同第一图像。处理器可经布置以确定在对象片段内的不同点的偏振参数；其中所述确定基于所述一组第一图像和所述不同偏振配置；和基于不同点的偏振参数计算对象片段的一组第二图像，在检查系统根据属于第二组偏振配置的不同偏振配置而被配置时将会获取所述一组第二图像。

3. 发明专利

TWI514435B 用於對物體的表面成像的方法與裝置有权
简体标题：用于对物体的表面成像的方法与设备
公开(公告)号：TWI514435B
公开(公告)日：2015-12-21
申请号：TW103123161
申请日：2009-08-28
申请人：應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
发明人：沙翰艾瑪 , SHOHAM, AMIR , 聖德班遜 , SENDER, BENZION , 理曼艾隆 , LITMAN, ALON
IPC分类号： H01J37/28 , G01N23/04
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/2208 , G01N23/2251 , H01J37/222 , H01J2237/221 , H01J2237/24495 , H01J2237/2809 , H01J2237/2823

4. 发明专利

TWI453782B 用於對物體的表面成像的方法與裝置有权
简体标题：用于对物体的表面成像的方法与设备
公开(公告)号：TWI453782B
公开(公告)日：2014-09-21
申请号：TW098129098
申请日：2009-08-28
申请人：應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
发明人：沙翰艾瑪 , SHOHAM, AMIR , 聖德班遜 , SENDER, BENZION , 理曼艾隆 , LITMAN, ALON
IPC分类号： H01J37/28 , G01N23/04
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/2208 , G01N23/2251 , H01J37/222 , H01J2237/221 , H01J2237/24495 , H01J2237/2809 , H01J2237/2823

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