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1. 发明专利

TWI645643B 基板搬送方法有权
公开(公告)号：TWI645643B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：TW105120310
申请日：2016-06-28
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：鈴木傑之 , SUZUKI, TAKAYUKI , 川久保大輔 , KAWAKUBO, DAISUKE , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO
IPC分类号： H02J50/05 , H01L21/677 , B25J19/00

2. 发明专利

TW201820516A 真空處理裝置审中-公开
简体标题：真空处理设备
公开(公告)号：TW201820516A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106137868
申请日：2017-11-02
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 鈴木傑之 , SUZUKI, TAKEYUKI , 武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO , 中尾裕利 , NAKAO, HIROTOSHI , 佐藤誠一 , SATO, SEIICHI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683 , C23C14/56
摘要：提供設置面積小的真空處理裝置。在真空槽(12)的內部配置升降板(15)，且將基板保持裝置(27)配置在升降板(15)而可升降移動。在位於升降板(15)作升降移動的升降區域(12b)的側方的處理區域(12a)內設置上方側處理裝置(40)及下方側處理裝置(50)，藉由上方側移動裝置(35)及下方側移動裝置(36)，使基板保持裝置(27)通過處理區域(12a)內，藉由收授裝置(37)，在上方側移動裝置(35)或下方側移動裝置(36)與升降板(15)之間，進行基板保持裝置(27)的收授。由於可在上方側與下方側進行真空處理，因此真空處理裝置(10)的設置面積小。
简体摘要：提供设置面积小的真空处理设备。在真空槽(12)的内部配置升降板(15)，且将基板保持设备(27)配置在升降板(15)而可升降移动。在位于升降板(15)作升降移动的升降区域(12b)的侧方的处理区域(12a)内设置上方侧处理设备(40)及下方侧处理设备(50)，借由上方侧移动设备(35)及下方侧移动设备(36)，使基板保持设备(27)通过处理区域(12a)内，借由收授设备(37)，在上方侧移动设备(35)或下方侧移动设备(36)与升降板(15)之间，进行基板保持设备(27)的收授。由于可在上方侧与下方侧进行真空处理，因此真空处理设备(10)的设置面积小。

3. 发明专利

TW201720598A 附靜電吸盤搬送機器人之控制系統审中-公开
简体标题：附静电吸盘搬送机器人之控制系统
公开(公告)号：TW201720598A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW105116661
申请日：2016-05-27
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：鈴木傑之 , SUZUKI, TAKAYUKI , 川久保大輔 , KAWAKUBO, DAISUKE , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO
IPC分类号： B25J9/00 , H01L21/677
CPC分类号： B25J15/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/90
摘要：將在具備有對於工件而實施特定之處理的複數之處理室之處理裝置中而於處理室間將工件作靜電吸附並搬送的附靜電吸盤搬送機器人之控制系統，構成為能夠以良好之回應性來使靜電吸盤動作。本發明之搬送機器人之控制系統，係具備有：機器人控制手段(Rc)，係被可自由通訊地而與對於處理裝置之動作作統籌控制的統籌控制手段(Mc)作連接，並因應於從統籌控制手段而來之控制訊號而對於搬送機器人(Tr)之動作作控制；和靜電吸盤控制手段(Cc)，係對相對於靜電吸盤之工件(W)的靜電吸附或解除作控制。靜電吸盤控制手段，係構成為對於統籌控制手段和機器人控制手段之間的通訊內容作監視，並基於此監視之通訊內容來對於由靜電吸盤所致之工件的靜電吸附或解除作控制。
简体摘要：将在具备有对于工件而实施特定之处理的复数之处理室之处理设备中而于处理室间将工件作静电吸附并搬送的附静电吸盘搬送机器人之控制系统，构成为能够以良好之回应性来使静电吸盘动作。本发明之搬送机器人之控制系统，系具备有：机器人控制手段(Rc)，系被可自由通信地而与对于处理设备之动作作统筹控制的统筹控制手段(Mc)作连接，并因应于从统筹控制手段而来之控制信号而对于搬送机器人(Tr)之动作作控制；和静电吸盘控制手段(Cc)，系对相对于静电吸盘之工件(W)的静电吸附或解除作控制。静电吸盘控制手段，系构成为对于统筹控制手段和机器人控制手段之间的通信内容作监视，并基于此监视之通信内容来对于由静电吸盘所致之工件的静电吸附或解除作控制。

4. 发明专利

TWI427732B 基板搬運裝置及真空處理裝置有权
简体标题：基板搬运设备及真空处理设备
公开(公告)号：TWI427732B
公开(公告)日：2014-02-21
申请号：TW096143038
申请日：2007-11-14
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 川口崇文 , KAWAGUCHI, TAKAFUMI
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： F16J15/54 , B25J9/1065 , B25J18/04 , F16J15/324 , F16J15/40 , H01L21/67742 , Y10T74/20207

5. 发明专利

TWI609751B 附靜電吸盤搬送機器人之控制系統有权
简体标题：附静电吸盘搬送机器人之控制系统
公开(公告)号：TWI609751B
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW105116661
申请日：2016-05-27
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：鈴木傑之 , SUZUKI, TAKAYUKI , 川久保大輔 , KAWAKUBO, DAISUKE , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO
IPC分类号： B25J9/00 , H01L21/677
CPC分类号： B25J15/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/90

6. 发明专利

TW201707339A 非接觸式供電系統审中-公开
简体标题：非接触式供电系统
公开(公告)号：TW201707339A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105120310
申请日：2016-06-28
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：鈴木傑之 , SUZUKI, TAKAYUKI , 川久保大輔 , KAWAKUBO, DAISUKE , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO
IPC分类号： H02J50/05 , H01L21/677 , B25J19/00
CPC分类号： B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/05
摘要：以並不使用另外之通訊機器地而在進行非接觸供電時也能夠進行通訊的方式，來構成非接觸式供電系統。供電系統(PS)，係具備有在一對之電極(5a、5b)之間而被機械性分離之電容器(5)、和被與電容器之其中一方之電極作連接之供電電路單元(6)、以及被與電容器之另外一方之電極作連接之受電電路單元(7)。供電電路單元，係具備有與電容器一同構成串聯共振電路之震盪器(61)、和施加振幅調變之調變器(62)、以及第1控制手段(63)，並將被調變為互為相異之振幅的傳播波供給至電容器之其中一方之電極處。受電電路單元，係具備有整流電路(72)、和將直流電壓選擇性地施加於供電對象電極(4a、4b)處之切換電路(73)、以及第2控制手段(75)。第2控制手段，係基於在供給電力供給用傳播波之期間中所被供給之控制訊號用傳播波，而對於切換電路之動作作控制。
简体摘要：以并不使用另外之通信机器地而在进行非接触供电时也能够进行通信的方式，来构成非接触式供电系统。供电系统(PS)，系具备有在一对之电极(5a、5b)之间而被机械性分离之电容器(5)、和被与电容器之其中一方之电极作连接之供电电路单元(6)、以及被与电容器之另外一方之电极作连接之受电电路单元(7)。供电电路单元，系具备有与电容器一同构成串联共振电路之震荡器(61)、和施加振幅调制之调制器(62)、以及第1控制手段(63)，并将被调制为互为相异之振幅的传播波供给至电容器之其中一方之电极处。受电电路单元，系具备有整流电路(72)、和将直流电压选择性地施加于供电对象电极(4a、4b)处之切换电路(73)、以及第2控制手段(75)。第2控制手段，系基于在供给电力供给用传播波之期间中所被供给之控制信号用传播波，而对于切换电路之动作作控制。

7. 发明专利

TWI540666B 基板搬送方法及基板搬送系統有权
简体标题：基板搬送方法及基板搬送系统
公开(公告)号：TWI540666B
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW100126537
申请日：2011-07-27
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： B65G47/92 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/6831

8. 发明专利

TWI485339B 密封機構及處理裝置有权
简体标题：密封机构及处理设备
公开(公告)号：TWI485339B
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：TW098141481
申请日：2009-12-04
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 山田清隆 , YAMADA, KIYOTAKA
IPC分类号： F16J15/16
CPC分类号： F16J15/324

9. 发明专利

TWI463592B 搬送裝置有权
简体标题：搬送设备
公开(公告)号：TWI463592B
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW097110814
申请日：2008-03-26
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 吾鄉健二 , AGO, KENJI , 淺石隆 , ASAISHI, TAKASHI , 小池土志夫 , KOIKE, TOSHIO
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B25J9/06
CPC分类号： B25J9/107 , B25J9/042 , B25J9/102 , B25J9/104 , H01L21/67742 , Y10T74/20305

10. 发明专利

TWI407529B 基板支持機構有权
简体标题：基板支持机构
公开(公告)号：TWI407529B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW097120891
申请日：2008-06-05
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：武者和博 , MUSHA, KAZUHIRO , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 川口崇文 , KAWAGUCHI, TAKAFUMI , 村上裕彥 , MURAKAMI, HIROHIKO , 中野美尚 , NAKANO, HARUHISA , 江上洋一 , EGAMI, YOUICHI
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6838

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