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    • 1. 发明专利
    • 用於雷射放電管之氣體循環迴路
    • 用于激光放电管之气体循环回路
    • TW201424173A
    • 2014-06-16
    • TW102134364
    • 2013-09-24
    • 愛克西可法國公司EXCICO FRANCE
    • 葛雷特 朱利安GRELLET, JULIEN卻斯坦 尼可拉斯CHASTAN, NICOLAS
    • H01S3/036
    • H01S3/036H01S3/03H01S3/041
    • 本發明係關於用於雷射放電管之一氣體循環迴路,其包含一氣體供應管道及一氣體排放管道,其中該氣體供應管道及/或該氣體排放管道在該雷射放電管之縱向方向上伸長且分別藉由經調適用於該雷射放電管之至少部分上之受控的分別一橫向氣體入口、出口的一入口流分配器、一出口流分配器而連接至該雷射放電管,且其中該入口流分配器及/或該出口流分配器包含複數個各別入口通道或出口通道,該迴路之特徵在於:該氣體供應管道之直徑與該入口通道之直徑之間的比率、及/或該氣體排放管道之直徑與該出口通道之直徑之間的比率為至少2。此外,本發明係關於包含此類氣體循環迴路之一雷射裝置。
    • 本发明系关于用于激光放电管之一气体循环回路,其包含一气体供应管道及一气体排放管道,其中该气体供应管道及/或该气体排放管道在该激光放电管之纵向方向上伸长且分别借由经调适用于该激光放电管之至少部分上之受控的分别一横向气体入口、出口的一入口流分配器、一出口流分配器而连接至该激光放电管,且其中该入口流分配器及/或该出口流分配器包含复数个各别入口信道或出口信道,该回路之特征在于:该气体供应管道之直径与该入口信道之直径之间的比率、及/或该气体排放管道之直径与该出口信道之直径之间的比率为至少2。此外,本发明系关于包含此类气体循环回路之一激光设备。