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    • 2. 发明专利
    • 矽晶製造用芯線固持器
    • 硅晶制造用芯线固持器
    • TW201446648A
    • 2014-12-16
    • TW103112966
    • 2014-04-09
    • 德山股份有限公司TOKUYAMA CORPORATION
    • 相本恭正AIMOTO, YASUMASA井村哲也IMURA, TETSUYA石田晴之ISHIDA, HARUYUKI
    • C01B33/035
    • C01B33/035
    • [主題]本發明之目的係提供一種芯線固持器,使矽晶在矽芯線上氣相成長,促進在回收已成長的矽晶棒之前的期間產生的矽晶棒的下部的徑成長,並能夠有效減少成長時的棒體的倒壞。[解決手段]安裝於依據西門子法的矽晶製造裝置的底板並用以固持矽芯線及對矽芯線通電的芯線固持器3,其具有用以固持該矽芯線的矽芯線插入孔7,在包含從該矽芯線插入孔7的邊緣向外周方向延伸的外緣部的範圍內,形成熱傳導層8,構成該熱傳導層的材質之熱傳導率大於構成芯線固持器的基材9的材質。
    • [主题]本发明之目的系提供一种芯线固持器,使硅晶在硅芯在线气相成长,促进在回收已成长的硅晶棒之前的期间产生的硅晶棒的下部的径成长,并能够有效减少成长时的棒体的倒坏。[解决手段]安装于依据西门子法的硅晶制造设备的底板并用以固持硅芯线及对硅芯线通电的芯线固持器3,其具有用以固持该硅芯线的硅芯线插入孔7,在包含从该硅芯线插入孔7的边缘向外周方向延伸的外缘部的范围内,形成热传导层8,构成该热传导层的材质之热传导率大于构成芯线固持器的基材9的材质。