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1. 发明专利

TW201820372A 自電荷載體產生空間抽取電荷載體之裝置审中-公开
简体标题：自电荷载体产生空间抽取电荷载体之设备
公开(公告)号：TW201820372A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106138451
申请日：2017-11-07
申请人：德商梅耶博格(德國)股份有限公司 , MEYER BURGER (GERMANY) AG
发明人：艾倫斯坦法蘭克 , ALLENSTEIN, FRANK , 盧卡阿方斯 , LUCA, ALFONZ , 史托博瑞可 , STOBER, RICO
IPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08
摘要：本發明係關於一種用於自一電荷載體產生空間抽取電荷載體之裝置，其包括含有用於使該等電荷載體通過之至少一個開口之一第一電極，其中該開口在該第一電極之一第一表面中具有一第一表面面積，該第一表面面積小於該開口在該第一電極之一第二表面中之一第二表面面積。在此情形中，該第一表面係背對該電荷載體產生空間的該第一電極之表面，且該第二表面係面向該電荷載體產生空間的該第一電極之表面。該第一電極至少在毗鄰於該至少一個開口之橫向區域中係導電的，且在用於在該裝置之操作期間使電荷載體沿粒子放電方向加速離開該電荷載體產生空間的該裝置之所有電極中，該第一電極係位於沿該粒子放電方向距該電荷載體產生空間最小距離處之電極。
简体摘要：本发明系关于一种用于自一电荷载体产生空间抽取电荷载体之设备，其包括含有用于使该等电荷载体通过之至少一个开口之一第一电极，其中该开口在该第一电极之一第一表面中具有一第一表面面积，该第一表面面积小于该开口在该第一电极之一第二表面中之一第二表面面积。在此情形中，该第一表面系背对该电荷载体产生空间的该第一电极之表面，且该第二表面系面向该电荷载体产生空间的该第一电极之表面。该第一电极至少在毗邻于该至少一个开口之横向区域中系导电的，且在用于在该设备之操作期间使电荷载体沿粒子放电方向加速离开该电荷载体产生空间的该设备之所有电极中，该第一电极系位于沿该粒子放电方向距该电荷载体产生空间最小距离处之电极。

2. 发明专利

TW201737284A 自電荷載體產生區域抽取電荷載體之裝置及操作此裝置之方法审中-公开
简体标题：自电荷载体产生区域抽取电荷载体之设备及操作此设备之方法
公开(公告)号：TW201737284A
公开(公告)日：2017-10-16
申请号：TW105110950
申请日：2016-04-07
申请人：梅耶博格(德國)股份有限公司 , MEYER BURGER (GERMANY) AG
发明人：邁喬基姆 , MAI, JOACHIM , 盧卡阿方斯 , LUCA, ALFONZ , 薩爾斯泰瑪爾吉特 , SARSTEDT, MARGIT
IPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08
摘要：本發明係關於一種用於自一電荷載體產生區域抽取電荷載體之裝置，其具有用於抽取電荷載體之至少一電極配置，其中該至少一電極配置包括具有對應開口之至少一第一柵極及一第二柵極。該第一柵極及該第二柵極分別含有至少一第一導電柵極區域，其中該第一柵極之該至少一第一柵極區域形成於一第一層中且該第二柵極之該至少一第一柵極區域形成於一第二層中。該第一層及該第二層沿粒子發射方向連續安置於該電極配置內且沿該粒子發射方向彼此相隔一第一距離，其中該第一柵極之該至少一第一柵極區域在該第一層中形成一第一導電層部分。此外，一第二導電層部分安置於該第一層中，該第二導電層部分與該第一層部分電絕緣。該第二層部分由該第一柵極或該第二柵極之至少一第二導電柵極區域形成且該第二層部分導電地連接至該第二柵極之該至少一第一柵極區域。因此，根據本發明之用於抽取電荷載體之裝置藉助於可修改抽取電荷載體之一粒子束之粒子束特性而構成一電可切換抽取柵極配置。
简体摘要：本发明系关于一种用于自一电荷载体产生区域抽取电荷载体之设备，其具有用于抽取电荷载体之至少一电极配置，其中该至少一电极配置包括具有对应开口之至少一第一栅极及一第二栅极。该第一栅极及该第二栅极分别含有至少一第一导电栅极区域，其中该第一栅极之该至少一第一栅极区域形成于一第一层中且该第二栅极之该至少一第一栅极区域形成于一第二层中。该第一层及该第二层沿粒子发射方向连续安置于该电极配置内且沿该粒子发射方向彼此相隔一第一距离，其中该第一栅极之该至少一第一栅极区域在该第一层中形成一第一导电层部分。此外，一第二导电层部分安置于该第一层中，该第二导电层部分与该第一层部分电绝缘。该第二层部分由该第一栅极或该第二栅极之至少一第二导电栅极区域形成且该第二层部分导电地连接至该第二栅极之该至少一第一栅极区域。因此，根据本发明之用于抽取电荷载体之设备借助于可修改抽取电荷载体之一粒子束之粒子束特性而构成一电可切换抽取栅极配置。

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