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    • 3. 发明专利
    • 以雷射加工方式製作微溝槽之方法及其裝置
    • 以激光加工方式制作微沟槽之方法及其设备
    • TW200738385A
    • 2007-10-16
    • TW095113514
    • 2006-04-14
    • 微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
    • 謝淑品 HSIEH, SHU PIN林茂盛葉源益 YEH, YUAN YI林昌緯 LIN, CHANG WEI熊介銘
    • B23K
    • 一種以雷射加工方式製作微溝槽之方法,包括下列步驟:製備包含有至少一透光區域之光罩,而該透光區域之輪廓係依據欲蝕刻之微溝槽而開設;將該光罩對準於一加工件之預設加工表面;以一雷射產生器發射雷射光;以一雷射調制裝置調制該雷射光束之照射面積;將調制後之雷射光束透過該光罩之透光區域投射出,而產生一蝕刻雷射光束投射向該加工件之預設加工表面;以該蝕刻雷射光束對該加工件之預設加工表面進行蝕刻;同時以一位移驅動機構驅動該光罩與該加工件以一預定方向及一預定位移速率進行同步位移,以在該預設加工表面形成微溝槽。
    • 一种以激光加工方式制作微沟槽之方法,包括下列步骤:制备包含有至少一透光区域之光罩,而该透光区域之轮廓系依据欲蚀刻之微沟槽而开设;将该光罩对准于一加工件之默认加工表面;以一激光产生器发射激光光;以一激光调制设备调制该激光光束之照射面积;将调制后之激光光束透过该光罩之透光区域投射出,而产生一蚀刻激光光束投射向该加工件之默认加工表面;以该蚀刻激光光束对该加工件之默认加工表面进行蚀刻;同时以一位移驱动机构驱动该光罩与该加工件以一预定方向及一预定位移速率进行同步位移,以在该默认加工表面形成微沟槽。