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    • 4. 发明专利
    • 光波導互連件
    • 光波导互连件
    • TW201640164A
    • 2016-11-16
    • TW105114929
    • 2016-05-13
    • 康寧公司CORNING INCORPORATED
    • 陳平CHEN, PING黃昇HUANG, SHENG李明軍LI, MING-JUN
    • G02B6/13G02B6/24G02B6/42
    • G02B6/26G02B6/13
    • 一種用於製造光波導互連件的方法可包括以下步驟:提供基板,藉由將加工雷射光束導引到基板表面中而照射部分的基板之內部體積,從而定義了當作光學組件的一或更多個表面、藉由將加工雷射光束導引到基板表面中而在內部體積中形成嵌入式波導,及利用蝕刻劑而將覆蓋在所定義的表面上的基板內部體積之弱化部分蝕刻掉。光學組件及波導可經對齊以彼此光學連通,使得輸入光束可撞擊第一光學組件的所定義之表面,通過波導,並撞擊第二光學組件的所定義之表面。
    • 一种用于制造光波导互连件的方法可包括以下步骤:提供基板,借由将加工激光光束导引到基板表面中而照射部分的基板之内部体积,从而定义了当作光学组件的一或更多个表面、借由将加工激光光束导引到基板表面中而在内部体积中形成嵌入式波导,及利用蚀刻剂而将覆盖在所定义的表面上的基板内部体积之弱化部分蚀刻掉。光学组件及波导可经对齐以彼此光学连通,使得输入光束可撞击第一光学组件的所定义之表面,通过波导,并撞击第二光学组件的所定义之表面。