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1. 发明专利

TW201544917A 光學積分器审中-公开
简体标题：光学积分器
公开(公告)号：TW201544917A
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW104128315
申请日：2010-03-10
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：川邊喜雄 , KAWABE,YOSHIO
IPC分类号： G03F7/20 , G02B27/09
CPC分类号： G03F7/70083 , G03F7/70075
摘要：根據來自光源的光而對被照射面進行照明的照明光學系統中使用的光學積分器包括：第1複眼光學系統，在光源與被照射面之間的光程中，具有在與被照射面成光學共軛的位置處並列配置的多個第1光學組件(61a、61b、61c)；以及第2複眼光學系統，在第1複眼光學系統與被照射面之間的光程中，具有以與多個第1光學組件相對應的方式而並列配置的多個第2光學組件。多個第1光學組件中的至少一個第1光學組件、與不同於該至少一個第1光學組件的其他第1光學組件、在照明光學系統的光軸或與該光軸平行的軸周圍的姿勢彼此不同。
简体摘要：根据来自光源的光而对被照射面进行照明的照明光学系统中使用的光学积分器包括：第1复眼光学系统，在光源与被照射面之间的光程中，具有在与被照射面成光学共轭的位置处并列配置的多个第1光学组件(61a、61b、61c)；以及第2复眼光学系统，在第1复眼光学系统与被照射面之间的光程中，具有以与多个第1光学组件相对应的方式而并列配置的多个第2光学组件。多个第1光学组件中的至少一个第1光学组件、与不同于该至少一个第1光学组件的其他第1光学组件、在照明光学系统的光轴或与该光轴平行的轴周围的姿势彼此不同。

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