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1. 发明专利

TWI682058B 閥裝置、流量調整方法、流體控制裝置、流量控制方法、半導體製造裝置及半導體製造方法有权
简体标题：阀设备、流量调整方法、流体控制设备、流量控制方法、半导体制造设备及半导体制造方法
公开(公告)号：TWI682058B
公开(公告)日：2020-01-11
申请号：TW107133324
申请日：2018-09-21
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：近藤研太 , KONDO, KENTA , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 佐藤秀信 , SATO, HIDENOBU , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/52 , H01L21/306 , F16K13/02 , F16K7/14 , G05D7/06 , G01L9/08

2. 发明专利

TWI691703B 流體供給線的異常診斷方法有权
简体标题：流体供给线的异常诊断方法
公开(公告)号：TWI691703B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：TW107141873
申请日：2018-11-23
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：丹野竜太郎 , TANNO, RYUTARO , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 原田章弘 , HARADA, AKIHIRO , 鈴木裕也 , SUZUKI, YUYA , 松田博 , MATSUDA, TAKAHIRO , 米華克典 , KOMEHANA, KATSUNORI , 落石将彦 , OCHIISHI, MASAHIKO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06

3. 发明专利

TWI690669B 閥裝置、使用此閥裝置的流體控制裝置及半導體製造裝置有权
简体标题：阀设备、使用此阀设备的流体控制设备及半导体制造设备
公开(公告)号：TWI690669B
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW107141361
申请日：2018-11-21
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：渡辺一誠 , WATANABE, KAZUNARI , 執行耕平 , SHIGYOU, KOHEI , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 松田博 , MATSUDA, TAKAHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： F16K31/12

4. 发明专利

TWI642855B 下段構件的固定裝置及具備該下段構件的固定裝置之流體控制裝置有权
简体标题：下段构件的固定设备及具备该下段构件的固定设备之流体控制设备
公开(公告)号：TWI642855B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW104101621
申请日：2015-01-19
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：相川獻治 , AIKAWA, KENJI , 松田隆博 , MATSUDA, TAKAHIRO
IPC分类号： F16B21/08 , F16B5/06

5. 发明专利

TWI688722B 流體控制裝置、接頭塊體、半導體製造方法、平面顯示器的製造方法及太陽能面板的製造方法有权
简体标题：流体控制设备、接头块体、半导体制造方法、平面显示器的制造方法及太阳能皮肤的制造方法
公开(公告)号：TWI688722B
公开(公告)日：2020-03-21
申请号：TW106120614
申请日：2017-06-20
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：相川献治 , AIKAWA, KENJI , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 中川一 , NAKAGAWA, HAJIME , 松田博 , MATSUDA, TAKAHIRO , 原田章弘 , HARADA, AKIHIRO
IPC分类号： F16L41/08 , F16L49/00 , G05D7/03

6. 发明专利

TWI683072B 流路組件及閥裝置有权
简体标题：流路组件及阀设备
公开(公告)号：TWI683072B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：TW107138283
申请日：2018-10-30
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：渡辺一誠 , WATANABE, KAZUNARI , 執行耕平 , SHIGYOU, KOHEI , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 松田博 , MATSUDA, TAKAHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： F16K7/16 , F16K31/02

7. 发明专利

TW201921447A 接合塊及其製造方法审中-公开
简体标题：接合块及其制造方法
公开(公告)号：TW201921447A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107129728
申请日：2018-08-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：相川献治 , AIKAWA, KENJI , 渡辺一誠 , WATANABE, KAZUNARI , 稲田敏之 , INADA, TOSHIYUKI , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455
摘要：提供可實現小型化且不使用焊接來製造的接合塊。本發明的接合塊具有：塊本體(10)；以及閉塞構件(50)，是裝設於形成在塊本體(10)的長度方向的另一端側的凹部(15)，本發明的接合塊具有：密封機構，是具有形成在塊本體(10)的對向面(15b)的環狀凸起(13)，藉由環狀凸起(13)在第1流路(12c)的開口(12p)的周圍陷入另一方的端面(50e)來將塊本體(10)和閉塞構件(50)之間予以密封；堵縫部(16)，是將閉塞構件(50)往塊本體(10)的對向面(15b)推壓且形成在塊本體(10)，以及卡合部(EN)，是由凹部(15)的內周部(15a)和卡合於此的閉塞構件(50)的外周部(51)所形成，藉由堵縫部(16)和卡合部(EN)，來分擔將密封機構的圓環狀凸起(13)推壓於另一方的端面(50e)的推壓力。
简体摘要：提供可实现小型化且不使用焊接来制造的接合块。本发明的接合块具有：块本体(10)；以及闭塞构件(50)，是装设于形成在块本体(10)的长度方向的另一端侧的凹部(15)，本发明的接合块具有：密封机构，是具有形成在块本体(10)的对向面(15b)的环状凸起(13)，借由环状凸起(13)在第1流路(12c)的开口(12p)的周围陷入另一方的端面(50e)来将块本体(10)和闭塞构件(50)之间予以密封；堵缝部(16)，是将闭塞构件(50)往块本体(10)的对向面(15b)推压且形成在块本体(10)，以及卡合部(EN)，是由凹部(15)的内周部(15a)和卡合于此的闭塞构件(50)的外周部(51)所形成，借由堵缝部(16)和卡合部(EN)，来分担将密封机构的圆环状凸起(13)推压于另一方的端面(50e)的推压力。

8. 发明专利

TW201537043A 下段構件的固定裝置及具備該下段構件的固定裝置之流體控制裝置审中-公开
简体标题：下段构件的固定设备及具备该下段构件的固定设备之流体控制设备
公开(公告)号：TW201537043A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW104101621
申请日：2015-01-19
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：相川獻治 , AIKAWA, KENJI , 松田隆博 , MATSUDA, TAKAHIRO
IPC分类号： F16B21/09 , F16B21/00
CPC分类号： F16B21/086 , F16B5/0642 , F16K27/00 , F16K27/003
摘要：提供一種無需固定用的工具且削減用在固定上所耗費的時間勞力之下段構件的固定裝置及具備該下段構件的固定裝置之流體控制裝置。下段構件2的貫通孔11係由在上面開口的大徑部11a與大徑部11a的下側相連且在下面開口的小徑部11b所構成。固定構件14係由被插入於下段構件2的貫通孔11的大徑部11a內之頭部21、被插入於下段構件2的貫通孔11的小徑部11b內之上側軸部22、及上端部被插入於支持構件51的貫通孔16之下側軸部23所構成。在下側軸部23設有卡合凸部29，其卡合於支持構件51的貫通孔16的下側開口緣部以防止固定構件14從支持構件51脫落。
简体摘要：提供一种无需固定用的工具且削减用在固定上所耗费的时间劳力之下段构件的固定设备及具备该下段构件的固定设备之流体控制设备。下段构件2的贯通孔11系由在上面开口的大径部11a与大径部11a的下侧相连且在下面开口的小径部11b所构成。固定构件14系由被插入于下段构件2的贯通孔11的大径部11a内之头部21、被插入于下段构件2的贯通孔11的小径部11b内之上侧轴部22、及上端部被插入于支持构件51的贯通孔16之下侧轴部23所构成。在下侧轴部23设有卡合凸部29，其卡合于支持构件51的贯通孔16的下侧开口缘部以防止固定构件14从支持构件51脱落。

9. 发明专利

TWI689674B 閥、閥的異常診斷方法及電腦程式有权
简体标题：阀、阀的异常诊断方法及电脑进程
公开(公告)号：TWI689674B
公开(公告)日：2020-04-01
申请号：TW107141683
申请日：2018-11-22
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：丹野竜太郎 , TANNO, RYUTARO , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 原田章弘 , HARADA, AKIHIRO , 鈴木裕也 , SUZUKI, YUYA , 松田 , MATSUDA, TAKAHIRO , 米華克典 , KOMEHANA, KATSUNORI , 落石将彦 , OCHIISHI, MASAHIKO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： F16K27/00 , G05D16/20 , G05D7/06

10. 发明专利

TWI676759B 流體供給線路及動作解析系統有权
简体标题：流体供给线路及动作解析系统
公开(公告)号：TWI676759B
公开(公告)日：2019-11-11
申请号：TW107134120
申请日：2018-09-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：丹野竜太郎 , TANNO, RYUTARO , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 原田章弘 , HARADA, AKIHIRO , 鈴木裕也 , SUZUKI, YUYA , 松田 , MATSUDA, TAKAHIRO , 米華克典 , KOMEHANA, KATSUNORI , 落石将彦 , OCHIISHI, MASAHIKO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： F16L41/02 , H01L21/02 , H01L21/3065

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