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1. 发明专利

TW201417954A 化學機械研磨刷具封裝及封裝、運輸、保護化學機械研磨刷具之方法审中-公开
简体标题：化学机械研磨刷具封装及封装、运输、保护化学机械研磨刷具之方法
公开(公告)号：TW201417954A
公开(公告)日：2014-05-16
申请号：TW102135292
申请日：2013-09-30
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：道寧派翠克 , DOERING, PATRICK , 特瑞歐大衛 , TRIO, DAVID , 帕代爾欽坦 , PATEL, CHINTAN , 貝傑特里奇查斯特L , BEJTLICH, CHESTER L. , 弗羅曼克里斯多福 , VROMAN, CHRISTOPHER , 伍德白德里H , WOOD, BRADLEY H. , 尼可拉斯馬修B , NICHOLAS, MATTHEW B.
IPC分类号： B24B55/00
CPC分类号： B65D77/0426 , B65B5/04 , B65B55/00 , B65B2220/16 , B65B2220/18 , B65D85/00
摘要：本發明提供一種封裝一化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部以及一對端部連接部。該方法包含：以一液體弄濕該刷具；以一撓性片材覆蓋該圓柱形刷具部，該撓性片材圍繞該圓柱形部之表面延伸並嚙合該圓柱形部之該表面；使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件；將該被弄濕之刷具插入一剛性聚合物管狀運輸容器中，並將該等端部連接部支撐於該聚合物管中；以及提供一額外之外部自支撐封裝。
简体摘要：本发明提供一种封装一化学机械研磨刷具之方法，该化学机械研磨刷具具有一圆柱形刷具部以及一对端部连接部。该方法包含：以一液体弄湿该刷具；以一挠性片材覆盖该圆柱形刷具部，该挠性片材围绕该圆柱形部之表面延伸并啮合该圆柱形部之该表面；使各该端部连接部分别啮合一端部支撑件；将该被弄湿之刷具插入一刚性聚合物管状运输容器中，并将该等端部连接部支撑于该聚合物管中；以及提供一额外之外部自支撑封装。

2. 发明专利

TW201408562A 大直徑晶圓包裝系統审中-公开
简体标题：大直径晶圆包装系统
公开(公告)号：TW201408562A
公开(公告)日：2014-03-01
申请号：TW102116043
申请日：2013-05-06
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 尼可拉斯馬修B , NICHOLAS, MATTHEW B.
IPC分类号： B65D85/90
CPC分类号： B65D71/0096 , B65D81/056 , B65D81/058 , H01L21/67369
摘要：一種用於運送一晶圓容器之包裝系統，該包裝系統包含一第一共形間隔緩衝墊及一第二共形間隔緩衝墊。該第一緩衝墊包含一本體部，該本體部界定一實質連續之起伏內表面，該實質連續之起伏內表面包含一大致平面之中心突出部及複數個大致平面之非中心表面，該大致平面之中心突出部被設置成由一晶圓容器之一前壁之一中心凹槽接納，該等大致平面之非中心表面被設置成接納該晶圓容器之前壁之互補表面。該第二共形間隔緩衝墊包含一本體部，該本體部界定一實質連續之起伏內表面，該起伏內表面包含一中心平面、複數個第一突出部、及複數個第二突出部，該等第一突出部被設置成由該晶圓容器之一後壁之複數個第一凹槽接納，且該等第二突出部被設置成由該晶圓容器之後壁之複數個第二凹槽接納。
简体摘要：一种用于运送一晶圆容器之包装系统，该包装系统包含一第一共形间隔缓冲垫及一第二共形间隔缓冲垫。该第一缓冲垫包含一本体部，该本体部界定一实质连续之起伏内表面，该实质连续之起伏内表面包含一大致平面之中心突出部及复数个大致平面之非中心表面，该大致平面之中心突出部被设置成由一晶圆容器之一前壁之一中心凹槽接纳，该等大致平面之非中心表面被设置成接纳该晶圆容器之前壁之互补表面。该第二共形间隔缓冲垫包含一本体部，该本体部界定一实质连续之起伏内表面，该起伏内表面包含一中心平面、复数个第一突出部、及复数个第二突出部，该等第一突出部被设置成由该晶圆容器之一后壁之复数个第一凹槽接纳，且该等第二突出部被设置成由该晶圆容器之后壁之复数个第二凹槽接纳。

3. 发明专利

TWI590913B 化學機械硏磨刷具封裝及封裝、運輸、保護化學機械研磨刷具之方法有权
简体标题：化学机械研磨刷具封装及封装、运输、保护化学机械研磨刷具之方法
公开(公告)号：TWI590913B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：TW102135292
申请日：2013-09-30
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：道寧派翠克 , DOERING, PATRICK , 特瑞歐大衛 , TRIO, DAVID , 帕代爾欽坦 , PATEL, CHINTAN , 貝傑特里奇查斯特L , BEJTLICH, CHESTER L. , 弗羅曼克里斯多福 , VROMAN, CHRISTOPHER , 伍德白德里H , WOOD, BRADLEY H. , 尼可拉斯馬修B , NICHOLAS, MATTHEW B.
IPC分类号： B24B37/34 , B65D85/00
CPC分类号： B65D77/0426 , B65B5/04 , B65B55/00 , B65B2220/16 , B65B2220/18 , B65D85/00

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