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1. 发明专利

TWI329604B 基板載具 SUBSTRATE CARRIER 有权
简体标题：基板载具 SUBSTRATE CARRIER
公开(公告)号：TWI329604B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：TW093132340
申请日：2004-10-26
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修富勒 , 傑佛里金 , 馬丁福布斯 , 馬克史密斯 , 麥克薩布卡
IPC分类号： B65D
摘要：一種在半導體晶圓處理操作期間運輸矽半導體晶圓之載具，包括有一裝載盒、一門和一凸緣，該凸緣係建構成可與一機器結合，使得該載具可被該機器提舉。一上升座板連接該凸緣至該容器，使得該凸緣上的負載被傳送至一該裝載盒頂部以外之裝載盒部分，以避免該裝載盒扭曲，以維持該裝載盒和該門之間的密封完整性。
简体摘要：一种在半导体晶圆处理操作期间运输硅半导体晶圆之载具，包括有一装载盒、一门和一凸缘，该凸缘系建构成可与一机器结合，使得该载具可被该机器提举。一上升座板连接该凸缘至该容器，使得该凸缘上的负载被发送至一该装载盒顶部以外之装载盒部分，以避免该装载盒扭曲，以维持该装载盒和该门之间的密封完整性。

2. 发明专利

TWI381478B 附有底板之前開口基板容器有权
简体标题：附有底板之前开口基板容器
公开(公告)号：TWI381478B
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW093133979
申请日：2004-11-08
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：約翰伯恩斯 , JOHN BURNS , 馬修富勒 , MATTHEW A. FULLER , 傑佛里金 , JEFFERY J. KING , 馬丁福布斯 , MARTIN L. FORBES , 馬克史密斯 , MARK V. SMITH
IPC分类号： H01L21/68

3. 发明专利

TWI333924B 基板容器、自其上分散靜電之方法及其製造方法 SUBSTRATE CONTAINER, METHOD OF DISSIPATING STATIC ELECTRICITY THEREFROM, AND METHOD OF MAKING THE SAME 失效
简体标题：基板容器、自其上分散静电之方法及其制造方法 SUBSTRATE CONTAINER, METHOD OF DISSIPATING STATIC ELECTRICITY THEREFROM, AND METHOD OF MAKING THE SAME
公开(公告)号：TWI333924B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：TW093133978
申请日：2004-11-08
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修富勒 , 傑佛里金 , 馬丁福布斯 , 馬克史密斯
IPC分类号： B65D
摘要：一種可分散靜電荷的基板載具，其具有由包覆成型(overmold)而在實質上一體成型之容器內的導電網格或網路。該網格係電性接連接於底部且接地之底座。該載具可更包括大致透明的側壁與導電支撐架，用以保持所儲存之大致在軸向對齊的基板。
简体摘要：一种可分散静电荷的基板载具，其具有由包复成型(overmold)而在实质上一体成型之容器内的导电网格或网络。该网格系电性接连接于底部且接地之底座。该载具可更包括大致透明的侧壁与导电支撑架，用以保持所存储之大致在轴向对齐的基板。

4. 发明专利

TWI366547B 附有門致動式晶圓限制之晶圓容器 WAFER CONTAINER WITH DOOR ACTUATED WAFER RESTRAINT 有权
简体标题：附有门致动式晶圆限制之晶圆容器 WAFER CONTAINER WITH DOOR ACTUATED WAFER RESTRAINT
公开(公告)号：TWI366547B
公开(公告)日：2012-06-21
申请号：TW093135027
申请日：2004-11-16
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修富勒 , 傑佛里金 , 馬丁福布斯 , 馬克史密斯
IPC分类号： B65G , H01L
摘要：一種用以固持晶圓的容器，其包括殼體部分，殼體部分具有頂部、底部、一對相對之側邊部、後部及門框所界定的相對前開口。門係密封地接合於門框以關閉前開口。容器更包括殼體內的晶圓限制系統，其包括固定晶圓限制手段及可動晶圓限制手段。可動晶圓限制手段係可藉由接合門與門框及解除其接合而選擇性地定位，且被定位以在門與門框解除接合時，可使晶圓被插入容器或自容器移除，並且可與固定晶圓限制手段配合以在門與門框接合時，限制容器內的晶圓。
简体摘要：一种用以固持晶圆的容器，其包括壳体部分，壳体部分具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及门框所界定的相对前开口。门系密封地接合于门框以关闭前开口。容器更包括壳体内的晶圆限制系统，其包括固定晶圆限制手段及可动晶圆限制手段。可动晶圆限制手段系可借由接合门与门框及解除其接合而选择性地定位，且被定位以在门与门框解除接合时，可使晶圆被插入容器或自容器移除，并且可与固定晶圆限制手段配合以在门与门框接合时，限制容器内的晶圆。

5. 发明专利

TWI333923B 附有凸輪閉鎖機構之晶圓容器及門 WAFER CONTAINER AND DOOR WITH CAM LATCHING MECHANISM 失效
简体标题：附有凸轮闭锁机构之晶圆容器及门 WAFER CONTAINER AND DOOR WITH CAM LATCHING MECHANISM
公开(公告)号：TWI333923B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：TW093135026
申请日：2004-11-16
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修富勒 , 傑佛里金 , 馬丁福布斯 , 馬克史密斯
IPC分类号： B65D
摘要：一種固持單一晶圓用之容器，該容器包括具有閉鎖機構的門，其具有凸輪，凸輪具有一對自其側向延伸的相對翼部。該凸輪可選擇性地在第一支持位置與第二支持位置之間旋轉地切換，其中，在第一支持位置處，翼部係完全位於門殼體內以使門與門框接合及解除接合，而在第二支持位置處，翼部係自門殼體向外側向延伸以在門接合於門框時，能夠接合於門框的閉鎖凹槽內。凸輪翼部可在其上包括傾斜部分，以在凸輪自第一支持位置旋轉至第二支持位置時，拉引門使其與門框更緊密地接合。又，閉鎖機構更可包括彈簧，其係設置以提供偏壓力將閉鎖機構推向第一及第二支持位置；以及緩制動阻尼彈簧(soft-stop dampening springs)，其在第一及第二支持位置使凸輪以受控制的方式減速，並吸收由凸輪碰撞至門底座上之固定止擋部時所產生的震動。
简体摘要：一种固持单一晶圆用之容器，该容器包括具有闭锁机构的门，其具有凸轮，凸轮具有一对自其侧向延伸的相对翼部。该凸轮可选择性地在第一支持位置与第二支持位置之间旋转地切换，其中，在第一支持位置处，翼部系完全位于门壳体内以使门与门框接合及解除接合，而在第二支持位置处，翼部系自门壳体向外侧向延伸以在门接合于门框时，能够接合于门框的闭锁凹槽内。凸轮翼部可在其上包括倾斜部分，以在凸轮自第一支持位置旋转至第二支持位置时，拉引门使其与门框更紧密地接合。又，闭锁机构更可包括弹簧，其系设置以提供偏压力将闭锁机构推向第一及第二支持位置；以及缓制动阻尼弹簧(soft-stop dampening springs)，其在第一及第二支持位置使凸轮以受控制的方式减速，并吸收由凸轮碰撞至门底座上之固定止挡部时所产生的震动。

6. 发明专利

TWI376008B 晶圓載具門以及包含此門的晶圓載具及晶圓容器 WAFER CARRIER DOOR,AND WAFER CARRIER AND WAFER CONTAINER COMPRISING THE SAME 有权
简体标题：晶圆载具门以及包含此门的晶圆载具及晶圆容器 WAFER CARRIER DOOR,AND WAFER CARRIER AND WAFER CONTAINER COMPRISING THE SAME
公开(公告)号：TWI376008B
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW093133976
申请日：2004-11-08
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修富勒 , 傑佛里金 , 馬丁福布斯 , 馬克史密斯
IPC分类号： H01L
摘要：一種晶圓載具門，其具有內門部分與外門部分。內門部分具有大致連續之內部表面。外門部分延伸覆蓋至少內門部分之一部分。外門部分具有複數個形成於其中的孔。外門部分係被裝附於內門部分上。
简体摘要：一种晶圆载具门，其具有内门部分与外门部分。内门部分具有大致连续之内部表面。外门部分延伸覆盖至少内门部分之一部分。外门部分具有复数个形成于其中的孔。外门部分系被装附于内门部分上。

7. 发明专利

TWI363027B 具有一輔助晶圓限制系統之晶圓容器 WAFER CONTAINER WITH SECONDARY WAFER RESTRAINT SYSTEM 有权
简体标题：具有一辅助晶圆限制系统之晶圆容器 WAFER CONTAINER WITH SECONDARY WAFER RESTRAINT SYSTEM
公开(公告)号：TWI363027B
公开(公告)日：2012-05-01
申请号：TW094140995
申请日：2005-11-22
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修A 福樂 , 傑佛瑞J 金 , 馬丁L 福伯司 , 馬克V 史密斯
IPC分类号： B65D
摘要：一種在遭受衝擊時提供一改良晶圓限制效果之晶圓容器，在本發明之實施例中，一輔助晶圓限制結構界定複數個凹口，該限制結構插置於相對的晶圓限制件之間，晶圓限制件設於晶圓容器之容器門上，該等凹口可由一個或多個交會於接合點之收歛邊緣或收歛面所界定，該接合點之設置係對齊相對之晶圓限制件之晶圓接受部，因此當容器門完全密封於容器周緣時，晶圓之邊緣部份接觸該接合點。在此位置，任何對於容器的衝擊所造成之晶圓垂直位移會使晶圓接觸收歛面或收歛邊緣，進而限制上述位移。該輔助晶圓限制結構係設置於主要晶圓限制的鄰近相對指部之間，以限制晶圓在支撐點間的偏斜，藉此可防止晶圓跳脫支撐點，甚而產生溝槽間之交叉錯置。
简体摘要：一种在遭受冲击时提供一改良晶圆限制效果之晶圆容器，在本发明之实施例中，一辅助晶圆限制结构界定复数个凹口，该限制结构插置于相对的晶圆限制件之间，晶圆限制件设于晶圆容器之容器门上，该等凹口可由一个或多个交会于接合点之收敛边缘或收敛面所界定，该接合点之设置系对齐相对之晶圆限制件之晶圆接受部，因此当容器门完全密封于容器周缘时，晶圆之边缘部份接触该接合点。在此位置，任何对于容器的冲击所造成之晶圆垂直位移会使晶圆接触收敛面或收敛边缘，进而限制上述位移。该辅助晶圆限制结构系设置于主要晶圆限制的邻近相对指部之间，以限制晶圆在支撑点间的偏斜，借此可防止晶圆跳脱支撑点，甚而产生沟槽间之交叉错置。

8. 发明专利

TWI348449B 附有減振閉鎖機構之晶圓容器及門 WAFER CONTAINER AND DOOR WITH VIBRATION DAMPENING LATCHING MECHANISM 有权
简体标题：附有减振闭锁机构之晶圆容器及门 WAFER CONTAINER AND DOOR WITH VIBRATION DAMPENING LATCHING MECHANISM
公开(公告)号：TWI348449B
公开(公告)日：2011-09-11
申请号：TW093133977
申请日：2004-11-08
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修富勒 , 傑佛里金 , 馬丁福布斯 , 馬克史密斯
IPC分类号： B65G , H01L , B65D
摘要：一種容器，用以固持複數個軸向對齊且大致平行間隔配置的晶圓，該容器包括殼體部分，其具有頂部、底部、一對相對之側邊部、後部及前開口。殼體內至少設有一晶圓支撐器，而在殼體底部依著運動學上的耦合。容器具有可密封關閉前開口的門，其包括底座及底座上可動的閉鎖機構。閉鎖機構包括可選擇性旋轉的凸輪，以在第一支持位置與第二支持位置之間切換閉鎖機構；以及至少一振動阻尼器，其可緩衝閉鎖機構於第一及第二支持位置間切換時所產生的振動。
简体摘要：一种容器，用以固持复数个轴向对齐且大致平行间隔配置的晶圆，该容器包括壳体部分，其具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及前开口。壳体内至少设有一晶圆支撑器，而在壳体底部依着运动学上的耦合。容器具有可密封关闭前开口的门，其包括底座及底座上可动的闭锁机构。闭锁机构包括可选择性旋转的凸轮，以在第一支持位置与第二支持位置之间切换闭锁机构；以及至少一振动阻尼器，其可缓冲闭锁机构于第一及第二支持位置间切换时所产生的振动。

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