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2. 发明专利

TW201348511A 鍵入式晶圓載台审中-公开
简体标题：键入式晶圆载台
公开(公告)号：TW201348511A
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW102109244
申请日：2013-03-15
申请人：威科精密儀器公司 , VEECO INSTRUMENTS INC.
发明人：克里斯南珊迪普 , KRISHNAN, SANDEEP , 摩伊肯 , MOY, KENG , 金馬修 , KING, MATTHEW , 克羅門霍克史提芬 , KROMMENHOEK, STEVEN
IPC分类号： C23C16/54
CPC分类号： C23C16/4584 , C23C16/4586 , C23C16/46 , H01L21/6719 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01L21/68792
摘要：本發明提供一種用於化學氣相沉積反應器的結構，該結構理想上包含一反應腔室，其具有：一內側部；一安置在該反應腔室之中的轉軸；以及一晶圓載台，其係以可脫連的方式被安置在該轉軸上，以便繞著其旋轉。該轉軸理想上會有一沿著一縱向旋轉軸延伸的軸桿以及一從該軸桿處向外突出的鍵部。該晶圓載台較佳的係具有：一主體，用以定義相向的頂端表面與底部表面；以及至少一晶圓固持特徵元件，其會被配置成讓晶圓能夠被固持在其中使得該晶圓的一表面裸露在該主體的頂端表面處。該晶圓載台理想上進一步具有：一凹部，從該主體之底部表面處延伸至該主體之中；以及一鍵槽，其會沿著第一橫截軸從該凹部之周圍處向外突出。該軸桿較佳的係被扣接在該凹部之中，而該鍵部較佳的係被扣接在該鍵槽之中。
简体摘要：本发明提供一种用于化学气相沉积反应器的结构，该结构理想上包含一反应腔室，其具有：一内侧部；一安置在该反应腔室之中的转轴；以及一晶圆载台，其系以可脱连的方式被安置在该转轴上，以便绕着其旋转。该转轴理想上会有一沿着一纵向旋转轴延伸的轴杆以及一从该轴杆处向外突出的键部。该晶圆载台较佳的系具有：一主体，用以定义相向的顶端表面与底部表面；以及至少一晶圆固持特征组件，其会被配置成让晶圆能够被固持在其中使得该晶圆的一表面裸露在该主体的顶端表面处。该晶圆载台理想上进一步具有：一凹部，从该主体之底部表面处延伸至该主体之中；以及一键槽，其会沿着第一横截轴从该凹部之周围处向外突出。该轴杆较佳的系被扣接在该凹部之中，而该键部较佳的系被扣接在该键槽之中。

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