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1. 发明专利

TW201409000A 液體材料有無檢測方法审中-公开
简体标题：液体材料有无检测方法
公开(公告)号：TW201409000A
公开(公告)日：2014-03-01
申请号：TW102121879
申请日：2013-06-20
申请人：大陽日酸股份有限公司 , TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION
发明人：鈴木克昌 , SUZUKI, KATSUMASA
IPC分类号： G01F9/00
CPC分类号： G01N11/02 , G01F23/0076 , G01N35/1016
摘要：本發明之目的在於提供一種不依存於液體材料之黏性，可確實地檢測液體材料貯存容器內所貯存之液體材料的有無，且可抑制起因於對使用對象的液體材料供給不足所致之製程不良的液體材料有無檢測方法；本發明之液體材料有無檢測方法係包含：使用將液體材料貯存容器內之液體材料供給至緩衝槽的第1液體材料供給管路所配置之液體流量計，連續地測定流動於第1液體材料供給管路的流體流量之流量測定步驟；以及依據液體流量計所測定之流體的流量，檢測出液體材料貯存容器內之液體材料A的有無之液體材料有無檢測步驟。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种不依存于液体材料之黏性，可确实地检测液体材料贮存容器内所贮存之液体材料的有无，且可抑制起因于对使用对象的液体材料供给不足所致之制程不良的液体材料有无检测方法；本发明之液体材料有无检测方法系包含：使用将液体材料贮存容器内之液体材料供给至缓冲槽的第1液体材料供给管路所配置之液体流量计，连续地测定流动于第1液体材料供给管路的流体流量之流量测定步骤；以及依据液体流量计所测定之流体的流量，检测出液体材料贮存容器内之液体材料A的有无之液体材料有无检测步骤。

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