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3. 发明专利

TW201209090A 半導體、液晶、太陽能電池或有機ＥＬ之製造裝置的耐熱零件用硬化性組成物审中-公开
简体标题：半导体、液晶、太阳能电池或有机ＥＬ之制造设备的耐热零件用硬化性组成物
公开(公告)号：TW201209090A
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：TW100111326
申请日：2011-03-31
申请人：大金工業股份有限公司
发明人：鷲野惠子 , 福岡昌二 , 小西智久 , 角野榮作 , 野口剛
IPC分类号： C08K , C08L , C09K , F16J
CPC分类号： F16J15/102 , C08K3/28 , C08K5/0025 , C08K5/43
摘要：本發明係提供可改善耐熱零件之非全氟彈性體之交聯速度，且可滿足半導體、液晶、太陽能電池或有機EL之製造裝置所用之密封材等所要求特性的耐熱零件。本發明之半導體、液晶、太陽能電池或有機EL之製造裝置之耐熱零件用硬化性組成物，其係含有：(A)偏二氟乙烯與選自由四氟乙烯、六氟丙烯及全氟(烷基乙烯基醚)所成群之至少1種的全氟烯烴與含有氰基、羧基或烷氧基羰基之單體之共聚合物即偏二氟乙烯系彈性體(A1)(但是偏二氟乙烯之共聚合比例超過20莫耳%)、或四氟乙烯40~70莫耳%與丙烯30~60莫耳%與含有氰基、羧基或烷氧基羰基之單體之共聚合物即四氟乙烯-丙烯系彈性體(A2)、及(B)硬化劑、(C)40~330℃下產生氨之化合物、及/或(F)無機氮化物粒子。
简体摘要：本发明系提供可改善耐热零件之非全氟弹性体之交联速度，且可满足半导体、液晶、太阳能电池或有机EL之制造设备所用之密封材等所要求特性的耐热零件。本发明之半导体、液晶、太阳能电池或有机EL之制造设备之耐热零件用硬化性组成物，其系含有：(A)偏二氟乙烯与选自由四氟乙烯、六氟丙烯及全氟(烷基乙烯基醚)所成群之至少1种的全氟烯烃与含有氰基、羧基或烷氧基羰基之单体之共聚合物即偏二氟乙烯系弹性体(A1)(但是偏二氟乙烯之共聚合比例超过20莫耳%)、或四氟乙烯40~70莫耳%与丙烯30~60莫耳%与含有氰基、羧基或烷氧基羰基之单体之共聚合物即四氟乙烯-丙烯系弹性体(A2)、及(B)硬化剂、(C)40~330℃下产生氨之化合物、及/或(F)无机氮化物粒子。

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