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2. 发明专利

TW201727188A 厚度測定裝置及厚度測定方法审中-公开
简体标题：厚度测定设备及厚度测定方法
公开(公告)号：TW201727188A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW105141545
申请日：2016-12-15
申请人：大塚電子股份有限公司 , OTSUKA ELECTRONICS CO., LTD.
发明人：豊田一貴 , TOYOTA, KAZUKI , 澤村義巳 , SAWAMURA, YOSHIMI
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/06
摘要：本發明之課題在於提供一種可正確地測定試料之厚度的厚度測定裝置及厚度測定方法。本發明之厚度測定裝置具備：第1透射構件，其具有第1參考面；第2透射構件，其與前述第1透射構件對向設置，並具有第2參考面；第1投光部，其用於經由前述第1參考面將來自光源之光朝位於前述第1透射構件及前述第2透射構件之間之試料照射；第1受光部，其用於接收來自前述第1參考面之反射光，且經由前述第1參考面接收來自前述試料之反射光；第2投光部，其用於經由前述第2參考面將來自光源之光朝前述試料照射；第2受光部，其用於接收來自前述第2參考面之反射光，且經由前述第2參考面接收來自前述試料之反射光；及分光部，其用於將由前述第1受光部接收之反射光、及由前述第2受光部接收之反射光予以分光。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种可正确地测定试料之厚度的厚度测定设备及厚度测定方法。本发明之厚度测定设备具备：第1透射构件，其具有第1参考面；第2透射构件，其与前述第1透射构件对向设置，并具有第2参考面；第1投光部，其用于经由前述第1参考面将来自光源之光朝位于前述第1透射构件及前述第2透射构件之间之试料照射；第1受光部，其用于接收来自前述第1参考面之反射光，且经由前述第1参考面接收来自前述试料之反射光；第2投光部，其用于经由前述第2参考面将来自光源之光朝前述试料照射；第2受光部，其用于接收来自前述第2参考面之反射光，且经由前述第2参考面接收来自前述试料之反射光；及分光部，其用于将由前述第1受光部接收之反射光、及由前述第2受光部接收之反射光予以分光。

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