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    • 6. 发明专利
    • 自動對準之鰭型可程式記憶胞 SELF ALIGNED FIN-TYPE PROGRAMMABLE MEMORY CELL
    • 自动对准之鳍型可进程记忆胞 SELF ALIGNED FIN-TYPE PROGRAMMABLE MEMORY CELL
    • TW201140899A
    • 2011-11-16
    • TW099127790
    • 2010-08-19
    • 旺宏電子股份有限公司國際商業機器股份有限公司
    • 龍翔瀾林仲漢布雷杜斯克 馬修J
    • H01L
    • H01L45/1666H01L27/2409H01L27/2454H01L27/2472H01L45/04H01L45/06H01L45/085H01L45/124H01L45/142H01L45/144H01L45/146H01L45/147H01L45/1691
    • 本發明的特徵為一記憶胞具有一底電極與一存取裝置電性耦接、一頂電極及一L形記憶材料元件與底電極和頂電極電性耦接。一種記憶陣列包括上述之記憶胞陣列,其與存取裝置陣列電性耦接。本發明的再一目的為提供一種製造一具有記憶胞之記憶陣列的方法,包含:提供一底電極陣列於一存取裝置陣列之上且與其電性耦接,該存取裝置與字元線電性耦接;形成一介電支持層於該底電極陣列之上,該介電支持層具有一上表面;形成一空洞穿過該介電支持層,定義一具有側壁的介電支持結構且裸露鄰接該側壁的該底電極之表面;形成一記憶材料薄膜於該介電支持結構之上及該空洞中;沈積一介電間隔物層於該記憶材料薄膜之上;由該介電側壁間隔物層形成一介電側壁間隔物,且一記憶材料結構具有一通常為水平基底部分於該介電側壁間隔物之下及一通常為垂直部分於該介電側壁間隔物與該介電支持結構的側壁之間;形成一介電填充層;平坦該介電填充層以裸露該記憶材料結構之該垂直部分的上方端點;沈積一頂電極材料於該平坦化之介電填充層之上;以及由該頂電極材料形成一頂電極及由該記憶材料結構形成一記憶材料元件。
    • 本发明的特征为一记忆胞具有一底电极与一存取设备电性耦接、一顶电极及一L形记忆材料组件与底电极和顶电极电性耦接。一种记忆数组包括上述之记忆胞数组,其与存取设备数组电性耦接。本发明的再一目的为提供一种制造一具有记忆胞之记忆数组的方法,包含:提供一底电极数组于一存取设备数组之上且与其电性耦接,该存取设备与字符线电性耦接;形成一介电支持层于该底电极数组之上,该介电支持层具有一上表面;形成一空洞穿过该介电支持层,定义一具有侧壁的介电支持结构且裸露邻接该侧壁的该底电极之表面;形成一记忆材料薄膜于该介电支持结构之上及该空洞中;沉积一介电间隔物层于该记忆材料薄膜之上;由该介电侧壁间隔物层形成一介电侧壁间隔物,且一记忆材料结构具有一通常为水平基底部分于该介电侧壁间隔物之下及一通常为垂直部分于该介电侧壁间隔物与该介电支持结构的侧壁之间;形成一介电填充层;平坦该介电填充层以裸露该记忆材料结构之该垂直部分的上方端点;沉积一顶电极材料于该平坦化之介电填充层之上;以及由该顶电极材料形成一顶电极及由该记忆材料结构形成一记忆材料组件。