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1. 发明专利

TW200504914A 晶圓偏心矯正卡匣审中-公开
简体标题：晶圆偏心矫正卡匣
公开(公告)号：TW200504914A
公开(公告)日：2005-02-01
申请号：TW092120372
申请日：2003-07-25
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 嘉晶電子股份有限公司
发明人：王偉正 , 黃耀明 , 洪建中 , 游欽宏 , 練福人 , 李玉麟 , 林榮延 , 汪培昇 , 范鈞淵 , 潘泰甫
IPC分类号： H01L
摘要：一種晶圓偏心矯正卡匣，係用於晶圓輸送之設備中，以提供晶圓置放的中心位置偏移之矯正的功能，該晶圓偏心矯正卡匣包括一蓋板、複數個第一晶圓矯正板、複數個第二晶圓矯正板、複數個間隔環。一底桿與一底板以及第一卡匣底座與第二卡匣底座。該晶圓偏心矯正卡匣，係將真空吸附裝置吸放晶圓過程中，所產生之晶圓置放的中心位置偏移予以矯正，一方面可提供機械手臂間轉接之功能，使真空吸附裝置與晶圓底部之接觸式之大氣機械手臂作雙向之傳輸，另一方面可使卡匣承載室(Load Lock Chamber)具有儲放大量處理前及處理後之晶圓的功能，俾機械手臂於適當之時機再行存取晶圓。
简体摘要：一种晶圆偏心矫正卡匣，系用于晶圆输送之设备中，以提供晶圆置放的中心位置偏移之矫正的功能，该晶圆偏心矫正卡匣包括一盖板、复数个第一晶圆矫正板、复数个第二晶圆矫正板、复数个间隔环。一底杆与一底板以及第一卡匣底座与第二卡匣底座。该晶圆偏心矫正卡匣，系将真空吸附设备吸放晶圆过程中，所产生之晶圆置放的中心位置偏移予以矫正，一方面可提供机械手臂间转接之功能，使真空吸附设备与晶圆底部之接触式之大气机械手臂作双向之传输，另一方面可使卡匣承载室(Load Lock Chamber)具有储放大量处理前及处理后之晶圆的功能，俾机械手臂于适当之时机再行存取晶圆。

2. 发明专利

TW200414390A 半導體製程設備晶圓位置檢知方法 METHOD FOR DETECTING THE POSITION OF A WAFER DURING MANUFACTURE PROCESS 审中-公开
简体标题：半导体制程设备晶圆位置检知方法 METHOD FOR DETECTING THE POSITION OF A WAFER DURING MANUFACTURE PROCESS
公开(公告)号：TW200414390A
公开(公告)日：2004-08-01
申请号：TW092101780
申请日：2003-01-28
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 嘉晶電子股份有限公司
发明人：潘泰甫 , 洪建中 , 黃耀明 , 汪培昇 , 范鈞淵 , 林菀松 , 王偉正 , 游欽宏 , 林榮延 , 李玉麟
IPC分类号： H01L
摘要：一種利用精密位置偵測器，例如利用雷射型光學偵測器作為晶圓位置偵測器，將此一位置偵測器擺置在腔室的外面，來偵測晶圓(wafer)在製程反應腔(processchamber)或其它腔室(如晶圓傳送腔，晶圓儲存腔)內晶圓之確實位置的方法。本發明的目的在於避免由於晶圓擺放的位置不正確，而造成後續的晶圓製程中晶圓產品產生不良的特性變遷(如：厚度，阻值，結構，密度等物理或化學等特性的改變)。此外，本發明之方法可在下列狀況下：例如晶圓在一系列的製程過程中由於擺放位置的不正確，導致不正常傳送時，做出及時預警處理動作，避免後續製程嚴重問題之發生。
简体摘要：一种利用精密位置侦测器，例如利用激光型光学侦测器作为晶圆位置侦测器，将此一位置侦测器摆置在腔室的外面，来侦测晶圆(wafer)在制程反应腔(processchamber)或其它腔室(如晶圆发送腔，晶圆存储腔)内晶圆之确实位置的方法。本发明的目的在于避免由于晶圆摆放的位置不正确，而造成后续的晶圆制程中晶圆产品产生不良的特性变迁(如：厚度，阻值，结构，密度等物理或化学等特性的改变)。此外，本发明之方法可在下列状况下：例如晶圆在一系列的制程过程中由于摆放位置的不正确，导致不正常发送时，做出及时预警处理动作，避免后续制程严重问题之发生。

3. 发明专利

TW200503141A 正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置审中-公开
简体标题：正面吸附式晶圆截取手臂吹气设备
公开(公告)号：TW200503141A
公开(公告)日：2005-01-16
申请号：TW092118703
申请日：2003-07-09
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 嘉晶電子股份有限公司
发明人：王偉正 , 黃耀明 , 洪建中 , 游欽宏 , 練福人 , 李玉麟 , 林榮延 , 汪培昇 , 范鈞淵 , 潘泰甫
IPC分类号： H01L
摘要：一種正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置，其適用於半導體晶圓輸送設備，以短暫之高速氣流吹向晶圓邊緣、晶圓與擷取臂之間之區域，以使緊貼機台表面之晶圓予以分離，並提供足夠之升力使擷取手臂得以吸附晶圓。如此，擷取手臂吸附晶圓之間隙可大幅增加，可避免因吸附間隙不夠，可能產生擷取手臂吸住機台之問題。
简体摘要：一种正面吸附式晶圆截取手臂吹气设备，其适用于半导体晶圆输送设备，以短暂之高速气流吹向晶圆边缘、晶圆与截取臂之间之区域，以使紧贴机台表面之晶圆予以分离，并提供足够之升力使截取手臂得以吸附晶圆。如此，截取手臂吸附晶圆之间隙可大幅增加，可避免因吸附间隙不够，可能产生截取手臂吸住机台之问题。

4. 发明专利

TWI223372B 晶圓偏心矯正卡匣有权
简体标题：晶圆偏心矫正卡匣
公开(公告)号：TWI223372B
公开(公告)日：2004-11-01
申请号：TW092120372
申请日：2003-07-25
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 嘉晶電子股份有限公司
发明人：王偉正 , 黃耀明 , 洪建中 , 游欽宏 , 練福人 , 李玉麟 , 林榮延 , 汪培昇 , 范鈞淵 , 潘泰甫
IPC分类号： H01L
摘要：一種晶圓偏心矯正卡匣，係用於晶圓輸送之設備中，以提供晶圓置放的中心位置偏移之矯正的功能，該晶圓偏心矯正卡匣包括一蓋板、複數個第一晶圓矯正板、複數個第二晶圓矯正板、複數個間隔環、一底桿與一底板以及第一卡匣底座與第二卡匣底座。該晶圓偏心矯正卡匣，係將真空吸附裝置吸放晶圓過程中，所產生之晶圓置放的中心位置偏移予以矯正，一方面可提供機械手臂間轉接之功能，使真空吸附裝置與晶圓底部之接觸式之大氣機械手臂作雙向之傳輸，另一方面可使卡匣承載室(Load Lock Chamber)具有儲放大量處理前及處理後之晶圓的功能，俾機械手臂於適當之時機再行存取晶圓。
简体摘要：一种晶圆偏心矫正卡匣，系用于晶圆输送之设备中，以提供晶圆置放的中心位置偏移之矫正的功能，该晶圆偏心矫正卡匣包括一盖板、复数个第一晶圆矫正板、复数个第二晶圆矫正板、复数个间隔环、一底杆与一底板以及第一卡匣底座与第二卡匣底座。该晶圆偏心矫正卡匣，系将真空吸附设备吸放晶圆过程中，所产生之晶圆置放的中心位置偏移予以矫正，一方面可提供机械手臂间转接之功能，使真空吸附设备与晶圆底部之接触式之大气机械手臂作双向之传输，另一方面可使卡匣承载室(Load Lock Chamber)具有储放大量处理前及处理后之晶圆的功能，俾机械手臂于适当之时机再行存取晶圆。

5. 发明专利

TWI238486B 正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置有权
简体标题：正面吸附式晶圆截取手臂吹气设备
公开(公告)号：TWI238486B
公开(公告)日：2005-08-21
申请号：TW092118703
申请日：2003-07-09
申请人：國防部軍備局中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 嘉晶電子股份有限公司
发明人：王偉正 , 黃耀明 , 洪建中 , 游欽宏 , 練福人 LIANN, FWU REN , 李玉麟 , 林榮延 , 汪培昇 , 范鈞淵 , 潘泰甫
IPC分类号： H01L
摘要：一種正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置，其適用於半導體晶圓輸送設備，以短暫之高速氣流吹向晶圓邊緣、晶圓與擷取臂之間之區域，以使緊貼機台表面之晶圓予以分離，並提供足夠之升力使擷取手臂得以吸附晶圓。如此，擷取手臂吸附晶圓之間隙可大幅增加，可避免因吸附間隙不夠，可能產生擷取手臂吸住機台之問題。
简体摘要：一种正面吸附式晶圆截取手臂吹气设备，其适用于半导体晶圆输送设备，以短暂之高速气流吹向晶圆边缘、晶圆与截取臂之间之区域，以使紧贴机台表面之晶圆予以分离，并提供足够之升力使截取手臂得以吸附晶圆。如此，截取手臂吸附晶圆之间隙可大幅增加，可避免因吸附间隙不够，可能产生截取手臂吸住机台之问题。

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