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    • 7. 发明专利
    • 檢測試片製造裝置及製造方法
    • 检测试片制造设备及制造方法
    • TW201800741A
    • 2018-01-01
    • TW105119348
    • 2016-06-20
    • 國立清華大學NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
    • 鄭兆珉CHENG, CHAO-MIN
    • G01N21/78G01N33/02G01N33/48
    • 本發明提供一種包括一試劑容置單元、一加壓單元、一致動單元以及一輸送單元的檢測試片製造裝置。試劑容置單元具有一殼體,且殼體具有一容置空間以及複數個試劑出口,容置空間容置一試劑,且複數個試劑出口開設於殼體一側上並與容置空間連通。加壓單元設置於試劑容置單元相對於複數個試劑出口的另一側。致動單元連接加壓單元。輸送單元設置於試劑容置單元相對於複數個試劑出口的一側。其中,檢測試片製造裝置運作時,輸送單元輸送一試片基材至複數個試劑出口外,致動單元驅動加壓單元,加壓單元壓縮容置空間使試劑外露於複數個試劑出口一高度,複數個試劑出口與輸送單元間之一距離縮小,使試劑與試片基材接觸。
    • 本发明提供一种包括一试剂容置单元、一加压单元、一致动单元以及一输送单元的检测试片制造设备。试剂容置单元具有一壳体,且壳体具有一容置空间以及复数个试剂出口,容置空间容置一试剂,且复数个试剂出口开设于壳体一侧上并与容置空间连通。加压单元设置于试剂容置单元相对于复数个试剂出口的另一侧。致动单元连接加压单元。输送单元设置于试剂容置单元相对于复数个试剂出口的一侧。其中,检测试片制造设备运作时,输送单元输送一试片基材至复数个试剂出口外,致动单元驱动加压单元,加压单元压缩容置空间使试剂外露于复数个试剂出口一高度,复数个试剂出口与输送单元间之一距离缩小,使试剂与试片基材接触。