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    • 2. 发明专利
    • 光感測元件及其製備方法
    • 光传感组件及其制备方法
    • TW201304173A
    • 2013-01-16
    • TW100124002
    • 2011-07-07
    • 國立交通大學NATIONAL CHIAO TUNG UNIVERSITY
    • 陳智CHEN, CHIH劉健民LIU, CHIEN MIN曾院介TSENG, YUAN CHIEH
    • H01L31/07
    • H01L31/035227H01L31/108
    • 本發明係有關於一種光感測元件及其製備方法,本發明之光感測元件具有極大蕭特基接面且其包括:一第一導電層;複數金屬奈米線,該每一金屬奈米線之一端係與該第一導電層連接,且該每一金屬奈米線之表面係覆有一半導體層,該半導體層之厚度係為1nm-20nm;以及一第二導電層,係對應該第一導電層而配置,該複數金屬奈米線係配置於該第一導電層與該第二導電層之間,且該第二導電層與該複數金屬奈米線表面之半導體層接觸;其中,該光感測元件係用於感測波長10nm-400nm之紫外光。
    • 本发明系有关于一种光传感组件及其制备方法,本发明之光传感组件具有极大萧特基接面且其包括:一第一导电层;复数金属奈米线,该每一金属奈米线之一端系与该第一导电层连接,且该每一金属奈米线之表面系覆有一半导体层,该半导体层之厚度系为1nm-20nm;以及一第二导电层,系对应该第一导电层而配置,该复数金属奈米线系配置于该第一导电层与该第二导电层之间,且该第二导电层与该复数金属奈米线表面之半导体层接触;其中,该光传感组件系用于传感波长10nm-400nm之紫外光。