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    • 2. 发明专利
    • 太陽能電池之製造方法 METHOD FOR MANUFACTURING SOLAR CELL
    • 太阳能电池之制造方法 METHOD FOR MANUFACTURING SOLAR CELL
    • TW201003934A
    • 2010-01-16
    • TW097126792
    • 2008-07-15
    • 台灣茂矽電子股份有限公司
    • 沈昌宏羅珮婷
    • H01L
    • H01L31/1804Y02E10/547Y02P70/521
    • 本案係提供一種太陽能電池之製造方法,其包含下列步驟:(a)提供一半導體基板;(b)形成一具非晶矽結構之介電層於該半導體基板上;(c)選擇性地移除部分之該具非晶矽結構之介電層,並曝露出部分之該半導體基板;(d)以該具非晶矽結構之介電層為半通透層,同時於該曝露之半導體基板表層形成一高摻雜區域及於未曝露之半導體基板表層形成一低摻雜區域;(e)移除該具非晶矽結構之介電層;(f)形成一抗反射膜於該半導體基板上;以及(g)形成複數個第一電極於該抗反射膜上,且使該第一電極連接於對應之該高摻雜區域。
    • 本案系提供一种太阳能电池之制造方法,其包含下列步骤:(a)提供一半导体基板;(b)形成一具非晶硅结构之介电层于该半导体基板上;(c)选择性地移除部分之该具非晶硅结构之介电层,并曝露出部分之该半导体基板;(d)以该具非晶硅结构之介电层为半通透层,同时于该曝露之半导体基板表层形成一高掺杂区域及于未曝露之半导体基板表层形成一低掺杂区域;(e)移除该具非晶硅结构之介电层;(f)形成一抗反射膜于该半导体基板上;以及(g)形成复数个第一电极于该抗反射膜上,且使该第一电极连接于对应之该高掺杂区域。
    • 4. 发明专利
    • 太陽能電池之製造方法 METHOD FOR MANUFACTURING SOLAR CELL
    • 太阳能电池之制造方法 METHOD FOR MANUFACTURING SOLAR CELL
    • TWI368999B
    • 2012-07-21
    • TW097126792
    • 2008-07-15
    • 台灣茂矽電子股份有限公司
    • 沈昌宏羅珮婷
    • H01L
    • H01L31/1804Y02E10/547Y02P70/521
    • 本案係提供一種太陽能電池之製造方法,其包含下列步驟:(a)提供一半導體基板;(b)形成一具非晶矽結構之介電層於該半導體基板上;(c)選擇性地移除部分之該具非晶矽結構之介電層,並曝露出部分之該半導體基板;(d)以該具非晶矽結構之介電層為半通透層,同時於該曝露之半導體基板表層形成一高摻雜區域及於未曝露之半導體基板表層形成一低摻雜區域;(e)移除該具非晶矽結構之介電層;(f)形成一抗反射膜於該半導體基板上;以及(g)形成複數個第一電極於該抗反射膜上,且使該第一電極連接於對應之該高摻雜區域。
    • 本案系提供一种太阳能电池之制造方法,其包含下列步骤:(a)提供一半导体基板;(b)形成一具非晶硅结构之介电层于该半导体基板上;(c)选择性地移除部分之该具非晶硅结构之介电层,并曝露出部分之该半导体基板;(d)以该具非晶硅结构之介电层为半通透层,同时于该曝露之半导体基板表层形成一高掺杂区域及于未曝露之半导体基板表层形成一低掺杂区域;(e)移除该具非晶硅结构之介电层;(f)形成一抗反射膜于该半导体基板上;以及(g)形成复数个第一电极于该抗反射膜上,且使该第一电极连接于对应之该高掺杂区域。