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    • 5. 发明专利
    • 晶圓加工用膠帶
    • 晶圆加工用胶带
    • TW201632599A
    • 2016-09-16
    • TW104140172
    • 2015-12-01
    • 古河電氣工業股份有限公司FURUKAWA ELECTRIC CO., LTD.
    • 杉山二朗SUGIYAMA, JIROU青山真沙美AOYAMA, MASAMI佐久間登SAKUMA, NOBORU大田郷史OTA, SATOSHI木村和寛KIMURA, KAZUHIRO
    • C09J7/02H01L21/683H01L21/301
    • 本發明的課題在於提供一種晶圓加工用膠帶,其可以減少標籤痕跡的產生、且可以減少在接著劑層與粘合膜之間捲入空氣。其特徵在於,具有:長的脫模膜(11);接著劑層(12),設置在脫模膜(11)的第1面上、且具有既定的平面形狀;粘合膜(13),具有標籤部(13a)和包圍標籤部(13a)的外側的周邊部(13b),標籤部(13a)以覆蓋接著劑層(12)、且在接著劑層(12)的周圍與脫模膜(11)接觸的方式設置,並且具有既定的平面形狀;以及支承構件(14),設置在脫模膜(11)的與第1面相反的第2面上,且設置於脫模膜(12)的短邊方向的任意一個端部、並且設置在與第1面中的標籤部(13a)的接觸於脫模膜(12)的區域所達到的區域對應的區域。
    • 本发明的课题在于提供一种晶圆加工用胶带,其可以减少标签痕迹的产生、且可以减少在接着剂层与粘合膜之间卷入空气。其特征在于,具有:长的脱模膜(11);接着剂层(12),设置在脱模膜(11)的第1面上、且具有既定的平面形状;粘合膜(13),具有标签部(13a)和包围标签部(13a)的外侧的周边部(13b),标签部(13a)以覆盖接着剂层(12)、且在接着剂层(12)的周围与脱模膜(11)接触的方式设置,并且具有既定的平面形状;以及支承构件(14),设置在脱模膜(11)的与第1面相反的第2面上,且设置于脱模膜(12)的短边方向的任意一个端部、并且设置在与第1面中的标签部(13a)的接触于脱模膜(12)的区域所达到的区域对应的区域。