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    • 3. 发明专利
    • 陣列基板及其製造方法
    • 数组基板及其制造方法
    • TW202022464A
    • 2020-06-16
    • TW107143417
    • 2018-12-04
    • 友達光電股份有限公司AU OPTRONICS CORPORATION
    • 陳培銘CHEN, PEI-MING
    • G02F1/1345G02F1/1343
    • 一種陣列基板的製造方法包括以下步驟。藉由第一光罩形成第一圖案化導電層於基板上。基板包括元件區及扇出區。形成閘極絕緣層於第一圖案化導電層上。藉由第二光罩形成圖案化半導體層及第二圖案化導電層於閘極絕緣層上。第二圖案化導電層覆蓋於圖案化半導體層上。形成第一絕緣層於圖案化半導體層及第二圖案化導電層上。藉由第三光罩形成第一圖案化透明導電層及第三圖案化導電層於第一絕緣層上。第三圖案化導電層覆蓋於第一圖案化透明導電層上,且第三圖案化導電層至少位於扇出區。另提出一種陣列基板。
    • 一种数组基板的制造方法包括以下步骤。借由第一光罩形成第一图案化导电层于基板上。基板包括组件区及扇出区。形成闸极绝缘层于第一图案化导电层上。借由第二光罩形成图案化半导体层及第二图案化导电层于闸极绝缘层上。第二图案化导电层覆盖于图案化半导体层上。形成第一绝缘层于图案化半导体层及第二图案化导电层上。借由第三光罩形成第一图案化透明导电层及第三图案化导电层于第一绝缘层上。第三图案化导电层覆盖于第一图案化透明导电层上,且第三图案化导电层至少位于扇出区。另提出一种数组基板。
    • 6. 发明专利
    • 主動元件
    • 主动组件
    • TW201737465A
    • 2017-10-16
    • TW105111946
    • 2016-04-15
    • 友達光電股份有限公司AU OPTRONICS CORP.
    • 陳培銘CHEN, PEI-MING
    • H01L27/06
    • H01L27/1251H01L27/1225H01L29/78675H01L29/7869H01L29/78696
    • 一種主動元件,適於設置於基板上,其包括多晶矽半導體層、第一絕緣層、閘極、第二絕緣層、第一接觸窗、氧化物半導體層、第一電極及一第二電極。多晶矽半導體層設置於基板上,具有第一摻雜區、通道區及第二摻雜區,通道區設置於第一摻雜區及第二摻雜區之間。第一絕緣層覆蓋多晶矽半導體層及基板。 閘極對應通道區設置於第一絕緣層上。第二絕緣層覆蓋閘極及第一絕緣層,第一絕緣層及第二絕緣層具有一第一接觸窗。氧化物半導體層對應閘極設置於第二絕緣層上。第一電極及一第二電極分別相對設置於氧化物半導體層上,氧化物半導體層電性連接第二電極,並經第一接觸窗與第二摻雜區電性連接。
    • 一种主动组件,适于设置于基板上,其包括多晶硅半导体层、第一绝缘层、闸极、第二绝缘层、第一接触窗、氧化物半导体层、第一电极及一第二电极。多晶硅半导体层设置于基板上,具有第一掺杂区、信道区及第二掺杂区,信道区设置于第一掺杂区及第二掺杂区之间。第一绝缘层覆盖多晶硅半导体层及基板。 闸极对应信道区设置于第一绝缘层上。第二绝缘层覆盖闸极及第一绝缘层,第一绝缘层及第二绝缘层具有一第一接触窗。氧化物半导体层对应闸极设置于第二绝缘层上。第一电极及一第二电极分别相对设置于氧化物半导体层上,氧化物半导体层电性连接第二电极,并经第一接触窗与第二掺杂区电性连接。