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1. 发明专利

TW201839850A 電容耦合電漿基板處理裝置审中-公开
简体标题：电容耦合等离子基板处理设备
公开(公告)号：TW201839850A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107113860
申请日：2018-04-24
申请人：南韓商周星工程股份有限公司 , JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
发明人：劉光洙 , YOO, KWANG SU , 朴特齊 , PARK, TEUGKI , 李龍炫 , LEE, YONG-HYUN , 鄭喆羽 , CHONG, CHEOL-WOO
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205 , H05H1/46
摘要：一種電容耦合電漿基板處理裝置包含：製程腔室，可被抽真空並提供密封的內部空間；氣體流入管道，與製程腔室連接，氣體流入管道用以為製程腔室提供製程氣體；氣體分配單元，與氣體流入管道連接，氣體分配單元用以將氣體流入管道內的製程氣體注入內部空間；阻抗匹配網路，設置於製程腔室的外面，阻抗匹配網路用以將射頻電源的射頻功率傳輸給氣體分配單元；射頻連接線，將阻抗匹配網路的輸出端連接至氣體流入管道或氣體分配單元；以及遮蔽板，射頻連接線和氣體流入管道中的至少其中之一者穿過遮蔽板，並且遮蔽板包含一鐵磁材料。
简体摘要：一种电容耦合等离子基板处理设备包含：制程腔室，可被抽真空并提供密封的内部空间；气体流入管道，与制程腔室连接，气体流入管道用以为制程腔室提供制程气体；气体分配单元，与气体流入管道连接，气体分配单元用以将气体流入管道内的制程气体注入内部空间；阻抗匹配网络，设置于制程腔室的外面，阻抗匹配网络用以将射频电源的射频功率传输给气体分配单元；射频连接线，将阻抗匹配网络的输出端连接至气体流入管道或气体分配单元；以及屏蔽板，射频连接线和气体流入管道中的至少其中之一者穿过屏蔽板，并且屏蔽板包含一铁磁材料。

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