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    • 4. 发明专利
    • 薄膜電晶體陣列
    • 薄膜晶体管数组
    • TW201421698A
    • 2014-06-01
    • TW102134588
    • 2013-09-25
    • 凸版印刷股份有限公司TOPPAN PRINTING CO., LTD.
    • 松原亮平MATSUBARA, RYOHEI
    • H01L29/786
    • H01L27/283H01L51/0005H01L51/0022H01L51/0545
    • 本發明提供一種薄膜電晶體陣列,其於半導體層的形成中,適用印刷法,而且產出量高、對準精度好、具有較高的開關比、且元件間的不均較小。本發明的薄膜電晶體陣列,其薄膜電晶體與電容器的組合,於第1方向和第2方向上配置複數個並呈矩陣狀,且具有:複數條源配線(28),其連接已配置於第1方向上之薄膜電晶體的源極(27)彼此;複數條閘配線(22),其連接已配置於第2方向上之薄膜電晶體的閘極(21)彼此;複數條電容器配線(24),其連接已配置於第2方向上之電容器的電容器電極(23)彼此;及,複數條半導體層連接線(12),其連接已配置於第1方向上之薄膜電晶體的半導體層(13)彼此;並且,半導體層連接線(12)的寬度比薄膜電晶體的半導體層(13)的寬度窄。
    • 本发明提供一种薄膜晶体管数组,其于半导体层的形成中,适用印刷法,而且产出量高、对准精度好、具有较高的开关比、且组件间的不均较小。本发明的薄膜晶体管数组,其薄膜晶体管与电容器的组合,于第1方向和第2方向上配置复数个并呈矩阵状,且具有:复数条源配线(28),其连接已配置于第1方向上之薄膜晶体管的源极(27)彼此;复数条闸配线(22),其连接已配置于第2方向上之薄膜晶体管的闸极(21)彼此;复数条电容器配线(24),其连接已配置于第2方向上之电容器的电容器电极(23)彼此;及,复数条半导体层连接线(12),其连接已配置于第1方向上之薄膜晶体管的半导体层(13)彼此;并且,半导体层连接线(12)的宽度比薄膜晶体管的半导体层(13)的宽度窄。
    • 7. 发明专利
    • 薄膜電晶體陣列及其製造方法
    • 薄膜晶体管数组及其制造方法
    • TW201519417A
    • 2015-05-16
    • TW103133405
    • 2014-09-26
    • 凸版印刷股份有限公司TOPPAN PRINTING CO., LTD.
    • 松原亮平MATSUBARA, RYOHEI
    • H01L27/12
    • H01L51/0545G02F1/136227H01L27/1288H01L27/1292H01L27/3258H01L51/105H01L2227/323
    • 提供在使用凹平版印刷(gravure-offset-printing)形成如層間絕緣膜圖案的通路開孔圖案的情況下,能不發生刮刀(blade)的彎曲或版的缺口地形成圖案的薄膜電晶體陣列。薄膜電晶體陣列係將薄膜電晶體配置成矩陣狀,該薄膜電晶體具有:形成在基板上的閘極電極;形成在閘極電極上的閘極絕緣層;形成在閘極絕緣層上的源極電極及連接於畫素電極的汲極電極;形成在源極電極及汲極電極之間的半導體層;以覆蓋源極電極、汲極電極、半導體層及畫素電極的一部分的方式所形成的層間絕緣膜;以及形成在層間絕緣膜上,連接於畫素電極的上部畫素電極,將閘極電極、源極電極分別連接於閘極配線、源極配線,層間絕緣膜具有凹部。
    • 提供在使用凹平版印刷(gravure-offset-printing)形成如层间绝缘膜图案的通路开孔图案的情况下,能不发生刮刀(blade)的弯曲或版的缺口地形成图案的薄膜晶体管数组。薄膜晶体管数组系将薄膜晶体管配置成矩阵状,该薄膜晶体管具有:形成在基板上的闸极电极;形成在闸极电极上的闸极绝缘层;形成在闸极绝缘层上的源极电极及连接于像素电极的汲极电极;形成在源极电极及汲极电极之间的半导体层;以覆盖源极电极、汲极电极、半导体层及像素电极的一部分的方式所形成的层间绝缘膜;以及形成在层间绝缘膜上,连接于像素电极的上部像素电极,将闸极电极、源极电极分别连接于闸极配线、源极配线,层间绝缘膜具有凹部。