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2. 发明专利

TW201339742A 用於標線的時變強度圖之產生审中-公开
简体标题：用于标线的时变强度图之产生
公开(公告)号：TW201339742A
公开(公告)日：2013-10-01
申请号：TW102105191
申请日：2013-02-08
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：海斯卡爾E , HESS, CARL E. , 許如芳 , SHI, RUI-FANG , 法渥湯瑪士 , VAVUL, THOMAS
IPC分类号： G03F1/66 , G03F1/38
CPC分类号： G01N21/95 , G01N21/95607 , G01N2021/95676 , G03F1/84 , G03F7/7065
摘要：本發明揭示用於檢驗一光微影標線之方法及設備。界定一標線之複數個貼片區。在於任何光微影程序中使用一標線之前，在一第一檢驗期間使用一光學標線檢驗工具以針對複數組一或多個貼片區中之每一者獲得對應於自該標線之每一貼片區之複數個子區量測之光之多個參考強度值之一參考平均值。在於複數個光微影程序中使用該標線之後，在一第二檢驗期間使用該光學標線檢驗工具以針對該等組一或多個貼片區中之每一者獲得對應於自該標線之每一貼片區之該複數個子區量測之光之多個測試強度值之一平均值。將該光學標線檢驗工具之同一設置配方用於該第一檢驗及該第二檢驗兩者。產生一差強度圖，且此圖包含各自對應於該等組一或多個貼片中之每一者之該等測試強度值之每一平均值與該等參考強度值之每一平均值之間的一差之複數個圖值。該差強度圖指示該標線是否已隨著時間降級超過一預定義位準。
简体摘要：本发明揭示用于检验一光微影标线之方法及设备。界定一标线之复数个贴片区。在于任何光微影进程中使用一标线之前，在一第一检验期间使用一光学标线检验工具以针对复数组一或多个贴片区中之每一者获得对应于自该标线之每一贴片区之复数个子区量测之光之多个参考强度值之一参考平均值。在于复数个光微影进程中使用该标线之后，在一第二检验期间使用该光学标线检验工具以针对该等组一或多个贴片区中之每一者获得对应于自该标线之每一贴片区之该复数个子区量测之光之多个测试强度值之一平均值。将该光学标线检验工具之同一设置配方用于该第一检验及该第二检验两者。产生一差强度图，且此图包含各自对应于该等组一或多个贴片中之每一者之该等测试强度值之每一平均值与该等参考强度值之每一平均值之间的一差之复数个图值。该差强度图指示该标线是否已随着时间降级超过一预定义位准。

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