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1. 发明专利

TW201801574A 用於在ＲＦ產生器中進行頻率調諧的設備审中-公开
简体标题：用于在ＲＦ产生器中进行频率调谐的设备
公开(公告)号：TW201801574A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106112173
申请日：2017-04-12
申请人：先驅能源工業公司 , ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人：崔旻烈 , CHOI, MYEONG YEOL , 尙丹尼 , SHAW, DENNIS , 穆勒麥可 , MUELLER, MIKE , 羅柏格傑夫 , ROBERG, JEFFREY , 喬登史帝夫 , JORDAN, STEVE
IPC分类号： H05H7/02 , H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32183 , H01J37/32155 , H01J37/32935 , H01J37/3299
摘要：提供了一種射頻(RF)產生器，其包括激發器、功率放大器、濾波器、感測器、以及頻率調諧子系統。所述頻率調諧子系統包括非暫時性、有形的機器可讀取媒體，其包含用以執行一方法的指令，所述方法包括接收電漿負載的阻抗軌跡；接收在複數反射係數平面中的參考點，所述參考點落於通過所述參考點和原點的參考向量上；從感測器接收所述電漿負載的經測量的阻抗；確定在參考向量與穿過所述參考點及所述經測量的阻抗所對應在所述複數反射係數平面中的一點的一線之間的測量角度；將所述測量角度以一預定常數來進行縮放，藉以產生一頻率步階；將所述頻率步階添加到初始頻率，藉以產生經調整的頻率；以及致使所述激發器產生一在所述經調整的頻率處振盪的信號。
简体摘要：提供了一种射频(RF)产生器，其包括激发器、功率放大器、滤波器、传感器、以及频率调谐子系统。所述频率调谐子系统包括非暂时性、有形的机器可读取媒体，其包含用以运行一方法的指令，所述方法包括接收等离子负载的阻抗轨迹；接收在复数反射系数平面中的参考点，所述参考点落于通过所述参考点和原点的参考矢量上；从传感器接收所述等离子负载的经测量的阻抗；确定在参考矢量与穿过所述参考点及所述经测量的阻抗所对应在所述复数反射系数平面中的一点的一线之间的测量角度；将所述测量角度以一预定常数来进行缩放，借以产生一频率步阶；将所述频率步阶添加到初始频率，借以产生经调整的频率；以及致使所述激发器产生一在所述经调整的频率处振荡的信号。

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