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1. 发明专利

TW201622047A 基板收納容器审中-公开
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TW201622047A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：TW104124072
申请日：2015-07-24
申请人：信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU , 冨永公徳 , TOMINAGA, KIMINORI , 藤本康大 , FUJIMOTO, YASUHIRO
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67386 , H01L21/67389 , H01L21/67393
摘要：提供一種基板收納容器，其能夠效率良好地將容器本體內的空氣置換成基板用保護氣體。係具備：能夠收納複數片半導體晶圓(W)的容器本體(1)、將淨化氣體供給至容器本體(1)內的供氣閥、將來自供氣閥的淨化氣體吹出至容器本體(1)內的氣體置換單元(40)，將容器本體(1)形成為前開箱並且在其底板(6)的後方安裝供氣閥，氣體置換單元(40)係由：用以貯留來自供氣閥的淨化氣體之殼體(41)、以及用以被覆殼體(41)的呈開口之正面(42)的外罩(52)所構成，其與供氣閥連接使得淨化氣體會流通在殼體(41)的下部，並且使殼體(41)的上部支承在容器本體(1)的背面壁(18)，而在殼體(4)與外罩(52)的任一方穿孔有：複數個吹出孔(55)，用以將淨化氣體朝容器本體(1)的正面(2)的方向吹出。
简体摘要：提供一种基板收纳容器，其能够效率良好地将容器本体内的空气置换成基板用保护气体。系具备：能够收纳复数片半导体晶圆(W)的容器本体(1)、将净化气体供给至容器本体(1)内的供气阀、将来自供气阀的净化气体吹出至容器本体(1)内的气体置换单元(40)，将容器本体(1)形成为前开箱并且在其底板(6)的后方安装供气阀，气体置换单元(40)系由：用以贮留来自供气阀的净化气体之壳体(41)、以及用以被覆壳体(41)的呈开口之正面(42)的外罩(52)所构成，其与供气阀连接使得净化气体会流通在壳体(41)的下部，并且使壳体(41)的上部支承在容器本体(1)的背面壁(18)，而在壳体(4)与外罩(52)的任一方穿孔有：复数个吹出孔(55)，用以将净化气体朝容器本体(1)的正面(2)的方向吹出。

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