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1. 发明专利

TWI495605B 基板收納容器有权
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TWI495605B
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：TW097142867
申请日：2008-11-06
申请人：信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU
IPC分类号： B65D85/90 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67369

2. 发明专利

TW201906775A 基板收納容器审中-公开
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TW201906775A
公开(公告)日：2019-02-16
申请号：TW107123260
申请日：2018-07-05
申请人：日商信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU
IPC分类号： B65D85/86 , B65D55/02 , B65D53/02 , H01L21/683
摘要：本發明係一種基板收納容器(1)，其具備：容器本體(10)，其收納基板(W)；蓋體(20)，其閉合容器本體(10)之開口(11)；上鎖機構，其設置於蓋體(20)，且扣止於容器本體(10)之被扣止部；及襯墊(P)，其介置於容器本體(10)及蓋體(20)之間；且襯墊(P)包含安裝於容器本體(10)之第1襯墊(30)、與安裝於蓋體(20)之第2襯墊(40)，第1襯墊(30)及第2襯墊(40)於自與蓋體(20)之閉合方向(H)正交之方向觀察時，位於較被扣止部之位置更靠容器本體(10)之內側。藉此，可提供一種提高對於內部之負壓及正壓之密封性且提高內部之潔淨性之基板收納容器。
简体摘要：本发明系一种基板收纳容器(1)，其具备：容器本体(10)，其收纳基板(W)；盖体(20)，其闭合容器本体(10)之开口(11)；上锁机构，其设置于盖体(20)，且扣止于容器本体(10)之被扣止部；及衬垫(P)，其介置于容器本体(10)及盖体(20)之间；且衬垫(P)包含安装于容器本体(10)之第1衬垫(30)、与安装于盖体(20)之第2衬垫(40)，第1衬垫(30)及第2衬垫(40)于自与盖体(20)之闭合方向(H)正交之方向观察时，位于较被扣止部之位置更靠容器本体(10)之内侧。借此，可提供一种提高对于内部之负压及正压之密封性且提高内部之洁净性之基板收纳容器。

3. 发明专利

TWI522291B 基板收納容器有权
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TWI522291B
公开(公告)日：2016-02-21
申请号：TW100105408
申请日：2011-02-18
申请人：信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：藤森義昭 , FUJIMORI, YOSHIAKI , 小川統 , OGAWA, OSAMU
IPC分类号： B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67396

4. 发明专利

TW201823119A 基板收納容器及氣體置換單元审中-公开
简体标题：基板收纳容器及气体置换单元
公开(公告)号：TW201823119A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW106130078
申请日：2017-09-04
申请人：日商信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU
IPC分类号： B65D85/90
摘要：本發明係提供一種即使基板之收納狀態變化，於內部空間濕度或濃度之不均仍小之基板收納容器及氣體置換單元。基板收納容器1具備：容器本體2，其可收納基板W；供氣閥50，其自容器本體2之外部對內部空間供給氣體G；及氣體置換單元3R、3L，其等將自供氣閥50供給之氣體G朝容器本體2之內部空間吹出；將容器本體2形成為前開盒，於底面2f之後方B安裝有供氣閥50；氣體置換單元3R、3L包含殼體構件31，及覆蓋殼體構件31之開口的罩蓋構件32；殼體構件31具有將貯存之氣體G朝容器本體2之正面F方向吹出之複數個第1吹出孔31a…31z，罩蓋構件32具有朝與第1吹出孔31a…31z之吹出方向相反之後方方向吹出之第2吹出孔32a…32f。
简体摘要：本发明系提供一种即使基板之收纳状态变化，于内部空间湿度或浓度之不均仍小之基板收纳容器及气体置换单元。基板收纳容器1具备：容器本体2，其可收纳基板W；供气阀50，其自容器本体2之外部对内部空间供给气体G；及气体置换单元3R、3L，其等将自供气阀50供给之气体G朝容器本体2之内部空间吹出；将容器本体2形成为前开盒，于底面2f之后方B安装有供气阀50；气体置换单元3R、3L包含壳体构件31，及覆盖壳体构件31之开口的罩盖构件32；壳体构件31具有将贮存之气体G朝容器本体2之正面F方向吹出之复数个第1吹出孔31a…31z，罩盖构件32具有朝与第1吹出孔31a…31z之吹出方向相反之后方方向吹出之第2吹出孔32a…32f。

5. 发明专利

TW201902796A 基板收納容器审中-公开
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TW201902796A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW107118902
申请日：2018-06-01
申请人：日商信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU
IPC分类号： B65D85/86 , B65D53/02
摘要：本發明係具備設置於收納基板之容器本體(10)與蓋體(20)之間的環狀之襯墊(30)之基板收納容器(1)，容器本體(10)形成有供襯墊(30)接觸之密封面(12)，蓋體(20)形成有安裝襯墊(30)之安裝槽(21)，襯墊(30)係由嵌於安裝槽(21)之本體部(31)與自本體部(31)延伸出之延伸片(32)形成，延伸片(32)具有在蓋體(20)之閉合方向(H)上朝蓋體(20)側突出之突起部(320)、及位於較突起部(320)更前端之密封部(321)，密封部(321)朝密封面(12)側且本體部(31)側反轉，且接觸於密封面(12)。藉此，可提供一種提高相對於內部之正壓之密封性的基板收納容器。
简体摘要：本发明系具备设置于收纳基板之容器本体(10)与盖体(20)之间的环状之衬垫(30)之基板收纳容器(1)，容器本体(10)形成有供衬垫(30)接触之密封面(12)，盖体(20)形成有安装衬垫(30)之安装槽(21)，衬垫(30)系由嵌于安装槽(21)之本体部(31)与自本体部(31)延伸出之延伸片(32)形成，延伸片(32)具有在盖体(20)之闭合方向(H)上朝盖体(20)侧突出之突起部(320)、及位于较突起部(320)更前端之密封部(321)，密封部(321)朝密封面(12)侧且本体部(31)侧反转，且接触于密封面(12)。借此，可提供一种提高相对于内部之正压之密封性的基板收纳容器。

6. 发明专利

TWI579210B 基板收納容器有权
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TWI579210B
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：TW102112232
申请日：2013-04-03
申请人：信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：鈴木勤 , SUZUKI, TSUTOMU , 小田島智 , ODASHIMA, SATOSHI , 三村博 , MIMURA, HIROSHI , 小川統 , OGAWA, OSAMU
IPC分类号： B65D81/24 , B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67393 , H01L21/67366

7. 发明专利

TW201622047A 基板收納容器审中-公开
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TW201622047A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：TW104124072
申请日：2015-07-24
申请人：信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU , 冨永公徳 , TOMINAGA, KIMINORI , 藤本康大 , FUJIMOTO, YASUHIRO
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67386 , H01L21/67389 , H01L21/67393
摘要：提供一種基板收納容器，其能夠效率良好地將容器本體內的空氣置換成基板用保護氣體。係具備：能夠收納複數片半導體晶圓(W)的容器本體(1)、將淨化氣體供給至容器本體(1)內的供氣閥、將來自供氣閥的淨化氣體吹出至容器本體(1)內的氣體置換單元(40)，將容器本體(1)形成為前開箱並且在其底板(6)的後方安裝供氣閥，氣體置換單元(40)係由：用以貯留來自供氣閥的淨化氣體之殼體(41)、以及用以被覆殼體(41)的呈開口之正面(42)的外罩(52)所構成，其與供氣閥連接使得淨化氣體會流通在殼體(41)的下部，並且使殼體(41)的上部支承在容器本體(1)的背面壁(18)，而在殼體(4)與外罩(52)的任一方穿孔有：複數個吹出孔(55)，用以將淨化氣體朝容器本體(1)的正面(2)的方向吹出。
简体摘要：提供一种基板收纳容器，其能够效率良好地将容器本体内的空气置换成基板用保护气体。系具备：能够收纳复数片半导体晶圆(W)的容器本体(1)、将净化气体供给至容器本体(1)内的供气阀、将来自供气阀的净化气体吹出至容器本体(1)内的气体置换单元(40)，将容器本体(1)形成为前开箱并且在其底板(6)的后方安装供气阀，气体置换单元(40)系由：用以贮留来自供气阀的净化气体之壳体(41)、以及用以被覆壳体(41)的呈开口之正面(42)的外罩(52)所构成，其与供气阀连接使得净化气体会流通在壳体(41)的下部，并且使壳体(41)的上部支承在容器本体(1)的背面壁(18)，而在壳体(4)与外罩(52)的任一方穿孔有：复数个吹出孔(55)，用以将净化气体朝容器本体(1)的正面(2)的方向吹出。

8. 发明专利

TW201836949A 基板收納容器审中-公开
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TW201836949A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107107251
申请日：2018-03-05
申请人：日商信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU , 冨永公徳 , TOMINAGA, KIMINORI
IPC分类号： B65D85/86 , B65D85/90 , H01L21/67
摘要：本發明係一種基板收納容器(1)，其具備可收納基板(W)之容器本體(2)、及可自容器本體(2)之外部向內部空間供給氣體(G)之供氣構件(50)，且係將容器本體(2)形成為前開式箱，於底面(2f)安裝供氣構件(50)者；且供氣構件(50)藉由嵌合而可更換地連接有將內部空間之環境變更為不同狀態之功能單元(U；3R、3L、U1、U2、U3、U4)。藉此，可提供一種能夠簡單地更換使內部空間之環境變化之功能單元的基板收納容器。
简体摘要：本发明系一种基板收纳容器(1)，其具备可收纳基板(W)之容器本体(2)、及可自容器本体(2)之外部向内部空间供给气体(G)之供气构件(50)，且系将容器本体(2)形成为前开式箱，于底面(2f)安装供气构件(50)者；且供气构件(50)借由嵌合而可更换地连接有将内部空间之环境变更为不同状态之功能单元(U；3R、3L、U1、U2、U3、U4)。借此，可提供一种能够简单地更换使内部空间之环境变化之功能单元的基板收纳容器。

9. 发明专利

TW201829266A 基板收納容器及氣體置換單元审中-公开
简体标题：基板收纳容器及气体置换单元
公开(公告)号：TW201829266A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：TW107100451
申请日：2018-01-05
申请人：日商信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU , 富永公德 , TOMINAGA, KIMINORI
IPC分类号： B65D85/90 , H01L21/673
摘要：本發明提供一種可減小基板上方空間之氣體之濕度或濃度之不均的基板收納容器及氣體置換單元。本發明係一種基板收納容器，其具備：容器本體，其於前面具有開口部，可收納複數片基板；蓋體，其封閉開口部；供氣閥，其自容器本體之外部向內部空間供給氣體；及氣體置換單元(3R)，其將自供氣閥供給之氣體吹出至容器本體之內部空間；且於容器本體之底面之後方安裝供氣閥；且氣體置換單元(3R)包含：殼體構件(31)；及外罩構件(32)，其覆蓋殼體構件(31)之開口；且殼體構件(31)於上下方向具有將儲存之氣體吹出之複數個第1吹出孔(31a･･･31z)，最上層之第1吹出孔(31a)之開口面積大於第2層之第1吹出孔(31b)之開口面積。
简体摘要：本发明提供一种可减小基板上方空间之气体之湿度或浓度之不均的基板收纳容器及气体置换单元。本发明系一种基板收纳容器，其具备：容器本体，其于前面具有开口部，可收纳复数片基板；盖体，其封闭开口部；供气阀，其自容器本体之外部向内部空间供给气体；及气体置换单元(3R)，其将自供气阀供给之气体吹出至容器本体之内部空间；且于容器本体之底面之后方安装供气阀；且气体置换单元(3R)包含：壳体构件(31)；及外罩构件(32)，其覆盖壳体构件(31)之开口；且壳体构件(31)于上下方向具有将存储之气体吹出之复数个第1吹出孔(31a･･･31z)，最上层之第1吹出孔(31a)之开口面积大于第2层之第1吹出孔(31b)之开口面积。

10. 发明专利

TWI519455B 基板收納容器有权
简体标题：基板收纳容器
公开(公告)号：TWI519455B
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW100107326
申请日：2011-03-04
申请人：信越聚合物股份有限公司 , SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
发明人：小川統 , OGAWA, OSAMU
IPC分类号： B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67379

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