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    • 3. 发明专利
    • 感光性樹脂組成物、感光性乾薄膜及圖型形成方法
    • 感光性树脂组成物、感光性干薄膜及图型形成方法
    • TW201947325A
    • 2019-12-16
    • TW108116851
    • 2019-05-16
    • 日商信越化學工業股份有限公司SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
    • 丸山仁MARUYAMA, HITOSHI加藤英人KATO, HIDETO菅生道博SUGO, MICHIHIRO
    • G03F7/075H01L21/027
    • 本發明之課題在於提供能容易進行厚膜且微細的圖型形成,且可形成耐龜裂性或對於基板、電子零件或半導體元件等,尤其電路基板所使用的基材之密著性等各種薄膜特性優異,作為電氣、電子零件保護用皮膜的可靠性優異之硬化皮膜(硬化物層)的包含矽伸苯基骨架之聚合物、包含該聚合物之感光性樹脂組成物、其感光性乾薄膜及圖型形成方法。 本發明之解決手段為一種感光性樹脂組成物,其係包含:(A)含有包含以下述式(1)~(4)所示的重複單元之矽伸苯基骨架及聚醚骨架之聚合物,及(B)光酸產生劑; [式中,X1~X4各自為以下述式(X1)~(X4)所示的2價之基;p、q、r及s為滿足0<p<1、0≦q<1、0≦r<1、0≦s<1、0<q+r+s<1及p+q+r+s=1之數]。
    • 本发明之课题在于提供能容易进行厚膜且微细的图型形成,且可形成耐龟裂性或对于基板、电子零件或半导体组件等,尤其电路基板所使用的基材之密着性等各种薄膜特性优异,作为电气、电子零件保护用皮膜的可靠性优异之硬化皮膜(硬化物层)的包含硅伸苯基骨架之聚合物、包含该聚合物之感光性树脂组成物、其感光性干薄膜及图型形成方法。 本发明之解决手段为一种感光性树脂组成物,其系包含:(A)含有包含以下述式(1)~(4)所示的重复单元之硅伸苯基骨架及聚醚骨架之聚合物,及(B)光酸产生剂; [式中,X1~X4各自为以下述式(X1)~(X4)所示的2价之基;p、q、r及s为满足0<p<1、0≦q<1、0≦r<1、0≦s<1、0<q+r+s<1及p+q+r+s=1之数]。