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1. 发明专利

TW201401441A 微結構及其製造方法审中-公开
简体标题：微结构及其制造方法
公开(公告)号：TW201401441A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：TW102119764
申请日：2013-06-04
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：加藤貴久 , KATO, TAKAHISA
IPC分类号： H01L21/8238 , H01L21/306
CPC分类号： B81C1/00476 , B81C1/00801 , B81C2201/014 , H01J37/12 , H01J2237/0437 , H01J2237/1205
摘要：提供一種微結構製造方法，包括：準備具有第一表面及第二表面之矽基板的準備步驟；將洞形成在該第一表面中的第一步驟；將由對蝕刻劑具有選擇性之材料形成的膜形成在該洞中以形成蝕刻區域的第二步驟，該區域具有由該膜圍繞的側部分及底部分；將係多層膜之第一層形成在該第一表面上的第三步驟，該多層膜包括堆疊於其中的絕緣層及金屬層，在調整圖案的位置及該蝕刻區域之位置的狀態下將該絕緣層及該金屬層之至少一者圖案化；形成穿透該第一層之第一開口的第四步驟；及經由該第一開口導入該蝕刻劑以移除該蝕刻區域的第五步驟。
简体摘要：提供一种微结构制造方法，包括：准备具有第一表面及第二表面之硅基板的准备步骤；将洞形成在该第一表面中的第一步骤；将由对蚀刻剂具有选择性之材料形成的膜形成在该洞中以形成蚀刻区域的第二步骤，该区域具有由该膜围绕的侧部分及底部分；将系多层膜之第一层形成在该第一表面上的第三步骤，该多层膜包括堆栈于其中的绝缘层及金属层，在调整图案的位置及该蚀刻区域之位置的状态下将该绝缘层及该金属层之至少一者图案化；形成穿透该第一层之第一开口的第四步骤；及经由该第一开口导入该蚀刻剂以移除该蚀刻区域的第五步骤。

2. 发明专利

TWI455168B 製造帶電粒子束透鏡的方法有权
简体标题：制造带电粒子束透镜的方法
公开(公告)号：TWI455168B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW101108449
申请日：2012-03-13
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：瀨戶本豐 , SETOMOTO, YUTAKA , 加藤貴久 , KATO, TAKAHISA
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/317
CPC分类号： H05K3/4679 , H01J37/12 , H01J2237/0437 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , Y10T29/49165

3. 发明专利

TW201243898A 製造帶電粒子束透鏡的方法 METHOD FOR MANUFACTURING CHARGED PARTICLE BEAM LENS 审中-公开
简体标题：制造带电粒子束透镜的方法 METHOD FOR MANUFACTURING CHARGED PARTICLE BEAM LENS
公开(公告)号：TW201243898A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW101108449
申请日：2012-03-13
申请人：佳能股份有限公司
发明人：瀨戶本豐 , 加藤貴久
IPC分类号： H01J
CPC分类号： H05K3/4679 , H01J37/12 , H01J2237/0437 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , Y10T29/49165
摘要：提供有製造帶電粒子束透鏡的方法,該帶電粒子束透鏡具有接合電極,該接合電極係藉由接合至少具有第一通孔之第一導電基板和具有第二通孔之第二導電基板所獲得。該上述方法包括:將該第一通孔形成於該第一導電基板中;將該第二通孔形成於該第二導電基板中;以及將該第一導電基板和該第二導電基板接合,以便該第一通孔和該第二通孔彼此相通。
简体摘要：提供有制造带电粒子束透镜的方法,该带电粒子束透镜具有接合电极,该接合电极系借由接合至少具有第一通孔之第一导电基板和具有第二通孔之第二导电基板所获得。该上述方法包括:将该第一通孔形成于该第一导电基板中;将该第二通孔形成于该第二导电基板中;以及将该第一导电基板和该第二导电基板接合,以便该第一通孔和该第二通孔彼此相通。

4. 发明专利

TW200946957A 振盪器裝置的製造方法，及光學偏向器，及影像形成設備 METHOD OF MANUFACTURING OSCILLATOR DEVICE, AND OPTICAL DEFLECTOR AND IMAGE FORMING APPARATUS 审中-公开
简体标题：振荡器设备的制造方法，及光学偏向器，及影像形成设备 METHOD OF MANUFACTURING OSCILLATOR DEVICE, AND OPTICAL DEFLECTOR AND IMAGE FORMING APPARATUS
公开(公告)号：TW200946957A
公开(公告)日：2009-11-16
申请号：TW097148030
申请日：2008-12-10
申请人：佳能股份有限公司
发明人：宮川卓 , 藤井一成 , 加藤貴久 , 虎島和敏 , 秋山貴弘
IPC分类号： G02B , H04N
CPC分类号： G02B26/085 , G02B26/101 , Y10T29/49826
摘要：本發明揭示了一種製造振盪器裝置之方法，該振盪器裝置具有一固定構件、以及經由一支承構件而被該固定構件支承以便繞著一扭轉軸而振盪之一振盪板，該振盪板係在一共振頻率下繞著該扭轉軸而被驅動，該方法包含下列步驟：基於用來調整該振盪板的質量的一延伸構件之一頻率調整步驟，用以在該振盪板上形成該延伸構件，並將一雷射光束的照射用來切割該延伸構件的一部分，而調整該振盪板之質量；一振盪器組裝步驟，用以將該固定構件固定到一固定基座；以及一驅動構件組裝步驟，用以將驅動該振盪板的一驅動構件固定到該固定基座；其中在執行了基於該延伸構件的該頻率調整步驟之後，至少執行該驅動構件組裝步驟。
简体摘要：本发明揭示了一种制造振荡器设备之方法，该振荡器设备具有一固定构件、以及经由一支承构件而被该固定构件支承以便绕着一扭转轴而振荡之一振荡板，该振荡板系在一共振频率下绕着该扭转轴而被驱动，该方法包含下列步骤：基于用来调整该振荡板的质量的一延伸构件之一频率调整步骤，用以在该振荡板上形成该延伸构件，并将一激光光束的照射用来切割该延伸构件的一部分，而调整该振荡板之质量；一振荡器组装步骤，用以将该固定构件固定到一固定基座；以及一驱动构件组装步骤，用以将驱动该振荡板的一驱动构件固定到该固定基座；其中在运行了基于该延伸构件的该频率调整步骤之后，至少运行该驱动构件组装步骤。

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